五、等離子刻蝕

  由于在擴散過程中，即使采用背靠背擴散，硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地擴散上磷，黑龍江薄膜太陽能電池片好壞。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會沿著邊緣擴散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面，而造成短路。因此，必須對太陽能電池周邊的摻雜硅進行刻蝕，以去除電池邊緣的PN結(jié)。通常采用等離子刻蝕技術(shù)完成這一工藝。等離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下，反應氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，黑龍江薄膜太陽能電池片好壞，還能吸收能量并形成大量的活性基團?；钚苑磻鶊F由于擴散或者在電場作用下到達SiO2表面，黑龍江薄膜太陽能電池片好壞，在那里與被刻蝕材料表面發(fā)生化學反應，并形成揮發(fā)性的反應生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面，被真空系統(tǒng)抽出腔體。

九、**設備

  在電池片生產(chǎn)過程中，還需要供電、動力、給水、排水、暖通、真空、特汽等**設施。消防和環(huán)保設備對于保證安全和持續(xù)發(fā)展也顯得尤為重要。一條年產(chǎn)50MW能力的太陽能電池片生產(chǎn)線，*工藝和動力設備用電功率就在1800KW左右。工藝純水的用量在每小時15噸左右，水質(zhì)要求達到中國電子級水GB/T11446.1-1997中EW-1級技術(shù)標準。工藝冷卻水用量也在每小時15噸左右，水質(zhì)中微粒粒徑不宜大于10微米，供水溫度宜在15-20℃。真空排氣量在300M3/H左右。同時，還需要大約氮氣儲罐20立方米，氧氣儲罐10立方米?？紤]到特殊氣體如硅烷的安全因素，還需要單獨設置一個特氣間，以***保證生產(chǎn)安全。另外，硅烷燃燒塔、污水處理站等也是電池片生產(chǎn)的必備設施。

一般來說，單個的太陽能電池不能直接作為電源使用，在實際應用中，是將幾片或幾十片單個的太陽能電池串聯(lián)或并聯(lián)起來，組成太陽能方車，這樣才能得到較大的能力。在太陽能電池方陣中還裝有蓄電池，那是為了保證在夜晚或陰雨天太陽不露面時能連續(xù)供電的一種儲能裝置。當太陽光照射時，太陽能電池產(chǎn)生的電能不停地滿足當時的需要，而且還可多提供一些電能儲存于蓄電池內(nèi)。

太陽能電池首先是在空間飛行中得到應用的。1958年，美國發(fā)射了***顆太陽能電池供電的“先鋒”1號衛(wèi)星，從此，各式各樣的衛(wèi)星和宇宙飛船都安置了布滿太陽能電池的“翅膀”，使得它們能在太空中盡情遨游。由于衛(wèi)星和宇宙飛船上的電子儀器和設備都要使用大量的電能，但它們對電源的要求十分苛刻，既要重量輕，使用壽命長，能連續(xù)不斷地工作，又要能承受各種沖擊、碰撞和振動的影響，而太陽電池在這幾方面都有出色的表現(xiàn)，自然而然便成了合適的中選者。當衛(wèi)星向著太陽飛行時，電池方陣受陽光照射產(chǎn)生電能，供應衛(wèi)生用電，同時向衛(wèi)星上的蓄電池充電；當衛(wèi)星背著太陽飛行時，蓄電池就放電，使衛(wèi)星上的儀器保持連續(xù)工作。

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