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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:河北PECVD管式爐實(shí)驗(yàn)室**,爐
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PECVD管式爐的主要特點(diǎn): 1.氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū),沉積速度更快,成膜效果更好; 2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控,協(xié)調(diào)控制——科探AIO控制系統(tǒng); 3.管內(nèi)壓力自動(dòng)平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測,河北PECVD管式爐實(shí)驗(yàn)室**,自動(dòng)平衡管內(nèi)壓力。 4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時(shí)通斷,省時(shí)省力; 5.射頻功率和開關(guān)定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時(shí)間,自動(dòng)運(yùn)行; 6.爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,用戶可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度可距離; 7,河北PECVD管式爐實(shí)驗(yàn)室**,河北PECVD管式爐實(shí)驗(yàn)室**.整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動(dòng)方便,避免分散組裝的困擾。PECVD管式爐對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。河北PECVD管式爐實(shí)驗(yàn)室**
箱式爐注意事項(xiàng): 1. 送排氣時(shí),不得在爐門正面操作,以防噴火孔突然噴火傷人 2. 應(yīng)經(jīng)常用火把檢驗(yàn)爐體各部位的泄漏情況 3. 原料氣罐、氣瓶周圍嚴(yán)禁明火,應(yīng)有防火、防爆、防觸電等裝置或滅火器材 4. 管路應(yīng)該用濃肥皂試漏,嚴(yán)禁用火把、丙烷氣在壓力小于200kPa時(shí)使用,丁烷氣壓力在5kPa禁用 零件的清理、檢驗(yàn)、裝夾要求同井式爐滲碳基本相同,但還應(yīng)注意下列幾點(diǎn): 1. 該種爐型滲碳無中間試棒,用控制爐氣碳勢和滲碳時(shí)間的長短來確定滲碳層深,終檢試樣同零件裝在同一筐夾具中 2. 檢查爐內(nèi)電阻板,輻射管是否開裂變形,是否水平,爐內(nèi)抗?jié)B碳磚的完好情況,磚縫漏氣情況 3. 淬火升降機(jī)構(gòu)升降平穩(wěn)、制動(dòng)可靠,工件進(jìn)出爐軌道暢通 4. 淬火油槽的油加熱系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)正常。油量充足,油中不得有水和碳黑,油循環(huán)定向?qū)О鍛?yīng)將油流向料管 5. 吸熱式氣氛碳勢(組分體積分?jǐn)?shù))應(yīng)在0.8%以上(**0~-5oC),氮基氣氛中氮?dú)怏w積分?jǐn)?shù)大于98%,用凈化后氮基氣氛中氮?dú)怏w積分?jǐn)?shù)大于99.99%重慶立式爐研究所**管式爐在超溫?cái)嗯紙?bào)警及保護(hù);充氣異常;接地保護(hù);短路保護(hù)等。
PECVD工作原理是什么?PECVD技術(shù)是在低氣壓下,利用低bai溫等離子體在工藝腔體的陰極du上(即zhi樣品放置的托盤)產(chǎn)生輝光放電,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),較終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。 在反應(yīng)過程中,反應(yīng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入爐腔,逐漸擴(kuò)散至樣品表面,在射頻源激發(fā)的電場作用下,反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團(tuán)等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物,這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。
馬弗爐(Muffle furnace),Muffle是包裹的意思,furnace是爐子,熔爐的意思。馬弗爐在中國的通用叫法有以下幾種:電爐、電阻爐、茂福爐、馬福爐。馬弗爐是一種通用的加熱設(shè)備,依據(jù)外觀形狀可分為箱式爐、管式爐、坩堝爐。應(yīng)用范圍編輯 (1)熱加工、工業(yè)工件處理、水泥、建材行業(yè),進(jìn)行小型工件的熱加工或處理。 (2)醫(yī)藥行業(yè):用于藥品的檢驗(yàn)、醫(yī)學(xué)樣品的預(yù)處理等。 (3)分析化學(xué)行業(yè):作為水質(zhì)分析、環(huán)境分析等領(lǐng)域的樣品處理。也可以用來進(jìn)行石油及其分析。 (4)煤質(zhì)分析:用于測定水分、灰分、揮發(fā)分、灰熔點(diǎn)分析、灰成分分析、元素分析。也可以作為通用灰化爐使用。爐子初次使用或長時(shí)間不用后,要在 120℃左右烘烤 1 小時(shí),在 300℃左右烘烤 2 小時(shí)后使用。
真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,真空電阻爐普遍應(yīng)用于金屬材料在低真空、還原性、保護(hù)性氣氛下的熱處理;也可以用于特殊材料的熱處理。 二、設(shè)備特點(diǎn) 1、設(shè)計(jì)理念 本系列陶瓷纖維爐襯熱處理爐引進(jìn)國外先進(jìn)技術(shù)、秉承歐洲工業(yè)爐高性能、自動(dòng)化程度高、操作界面簡單易學(xué)的特點(diǎn); 2、自動(dòng)化控制 1.控溫方式:控溫?zé)犭娕己椭悄軘?shù)顯溫控儀表、可控硅模塊和移相觸發(fā)系統(tǒng)、電加熱元件組成閉環(huán)控制系統(tǒng),自動(dòng)控制爐內(nèi)各區(qū)的溫度,并保持全爐膛內(nèi)溫度均勻一致; 2.負(fù)載恒流、恒壓、恒功控制技術(shù),根據(jù)不同負(fù)載特性,有效的保護(hù)斷電引起損壞負(fù)載問題; 3.可設(shè)置多條時(shí)間曲線,曲線總段數(shù)多達(dá)20段; 4.具有“給定值+時(shí)間值”和“升溫段+恒溫段”兩種程序設(shè)置模式可選; 5.所有參數(shù)可按鍵設(shè)定,數(shù)據(jù)自動(dòng)保存不丟失; 3、一體化結(jié)構(gòu) 電控系統(tǒng)與爐體一體化結(jié)構(gòu)、操作簡單,減少占位; 爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。天津多溫區(qū)管式爐實(shí)驗(yàn)室**
管式爐具有抗干擾能力強(qiáng),控制精度高,沖溫值小的特點(diǎn)。河北PECVD管式爐實(shí)驗(yàn)室**
真空箱式爐操作特別提示: (1)配上真空泵,抽取爐內(nèi)的空氣,較大不超過四格指針刻度,當(dāng)真空表指針下降接近四格時(shí)停頓抽氣,充入隋性氣體,使指針歸0位或稍大于0位,再抽氣,充氣,往復(fù)3-5次,確保爐腔內(nèi)的保護(hù)氣體有一定的濃度; (2) 如無真空泵需氣氛保護(hù)時(shí),接上進(jìn)氣管,充入惰性氣體,稍稍放開前面的出氣閥,當(dāng)充入氣體大于爐膛容積約1.5倍時(shí)關(guān)閉出氣口閥門,觀測壓力表大于“0”小于一格; (3)在完成以上內(nèi)容后再在操作面板上設(shè)置好需要溫度程序(升溫速度較高不得超過10℃/min) (4)實(shí)驗(yàn)結(jié)束提取試樣前需確保爐內(nèi)溫爐降在安全范圍內(nèi),打開氣閥后方可打開爐門。河北PECVD管式爐實(shí)驗(yàn)室**
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備,是一家生產(chǎn)型的公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機(jī)等,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競爭力,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí),遵守行業(yè)規(guī)范,植根于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。迪斯普設(shè)備立足于全國市場,依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,融合前沿的技術(shù)理念,飛快響應(yīng)客戶的變化需求。
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/1413512.html
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