PECVD管式爐的具體工藝流程？硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜。 　　利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在，促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離，促進反應(yīng)活性基團的生成，從而降低沉積溫度。PECVD在200℃～500℃范圍內(nèi)成膜，黑龍江立式爐廠家**，遠小于其它CVD在700℃～950℃范圍內(nèi)成膜。 　　反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中，使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性，黑龍江立式爐廠家**，達到表面鈍化和體鈍化的目的，黑龍江立式爐廠家**。真空管式爐主要運用于冶金，玻璃，熱處理，鋰電正負極材料，新能源，磨具等行業(yè)。黑龍江立式爐廠家**

管式爐均系采用國際先進技術(shù)，自行研制開發(fā)的高性能高節(jié)能的新型電爐，有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。主要應(yīng)用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等實驗和小批量生產(chǎn)之用。具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區(qū)多、可選配氣氛、抽真空爐型等。管式爐的特點 1、外觀采用耐高溫、耐腐蝕油漆處理。 2、控制臺采用智能PID數(shù)顯控制器、穩(wěn)定性好、精度高，配有電流表、結(jié)構(gòu)新穎。 3、爐門采用加厚、加固處理，防止變形4、爐襯采用高純氧化鋁和保溫棉,保溫效果好 5、爐膛溫度時時檢測功能(不加熱情況下同樣顯示爐膛實際溫度,便于隨時觀察爐膛溫度情況)。具有過載保護和短路保護6、爐殼選用不錯鋼板折邊焊接制成，工作室為耐火材料制成的爐膛，加熱元件置于其中，爐與殼間用保溫材料砌筑。寧夏真空管式爐操作規(guī)程箱式爐為保證爐溫，不能隨便打開箱式爐爐門，檢查爐內(nèi)情況應(yīng)從爐門孔中觀察。

多溫區(qū)管式爐使用方法 使用惰性氣體作為工作氣體時 1. 接通工作氣體氣路，將旋轉(zhuǎn)管式爐氣體出口端連接機械泵。 2. 打開旋轉(zhuǎn)管式爐進氣閥，合上真空泵電源，打開出氣閥（注意把住法蘭，避免爐管受力過大），抽空剛玉管和氣體管路。 3. 當(dāng)旋轉(zhuǎn)管式爐真空表到-0.1（指針到盡頭時），關(guān)閉出氣閥，關(guān)閉進氣閥。 4. 逆時針旋動旋鈕開氣瓶主閥，順時針旋動旋鈕，緩慢打開出口減壓閥，使出口氣壓在0.004MPa（2小格）。 5. 逆時針旋動旋鈕，緩慢打開旋轉(zhuǎn)管式爐進氣閥；密切注意旋轉(zhuǎn)管式爐氣壓表，確認氣壓在0.08MPa以下（如氣壓高于0.08MPa，打開旋轉(zhuǎn)管式爐出氣閥放氣）。 6. 旋轉(zhuǎn)管式爐氣壓表當(dāng)氣壓穩(wěn)定時，關(guān)閉旋轉(zhuǎn)管式爐進氣閥，打開出氣閥，抽真空到-0.1，關(guān)旋轉(zhuǎn)管式爐出氣閥。 7. 重復(fù)4、5步兩次。 8. 關(guān)機械泵，打開旋轉(zhuǎn)管式爐進氣閥。

鍋爐操作的注意事項：1、 鍋爐安全閥：安全閥室鍋爐的較重要安全裝置之一，能起到在超壓時及時泄放降壓的作用。安全閥應(yīng)該定期進行整定才能投入使用，使用過程中要定期手動排放或定期進行功能試驗，以保證不出現(xiàn)銹死卡住等導(dǎo)致安全閥失靈的問題出現(xiàn)。 2、 鍋爐水位表：蒸汽鍋爐的水位表是直觀表現(xiàn)鍋爐內(nèi)水位位置的裝置，高于或低于水位表正常水位都是嚴重的操作錯誤，極容易導(dǎo)致事故的發(fā)生，因此要定期進行水位表沖洗并在使用過程中密切觀察水位位置。 3、 鍋爐壓力表：壓力表直觀反映鍋爐運行壓力值，指示操作人員決不能超壓運行。因此壓力表要求每半年校驗一次，確保靈敏可靠。 4、 鍋爐排污裝置：排污裝置是排出鍋爐內(nèi)水垢雜質(zhì)的設(shè)備，能有效控制鍋爐不結(jié)垢不堆渣，同時經(jīng)常觸摸排污閥的后部管道還可以檢查是否存在泄漏問題。 5、 鍋爐的定壓膨脹裝置：熱水鍋爐的定壓膨脹裝置是防止鍋爐汽化超壓的有效設(shè)備，也是保證熱水系統(tǒng)順暢流通不積氣的有效設(shè)備，用戶要確保其好用。 6、 常壓鍋爐：常壓鍋爐如果安裝正確不會出現(xiàn)超壓問題，但常壓鍋爐冬季一定要注意防凍，如果管路凍死必須人工解凍方可使用，否則就會發(fā)生管路堵死超壓，這一點至關(guān)重要。馬弗爐熱加工、工業(yè)工件處理、水泥、建材行業(yè),進行小型工件的熱加工或處理。

箱式氣氛爐應(yīng)用于適合各類大專院校實驗室、工礦企業(yè)化驗室，供化學(xué)分析、物理測定，以及金屬、陶瓷的燒結(jié)和熔解、小型鋼件等加熱、焙燒、烘干、熱處理用。 箱式氣氛爐操作規(guī)程注意事項: 1.使用時切勿超過箱式氣氛爐的較高溫度； 2.裝取試樣時一定要切斷電源，以防觸電； 3.禁止向爐膛內(nèi)灌注任何液體； 4.不得將沾有水和油的試樣放入爐膛；不得用沾有水和油的夾子裝取試樣； 5.裝取試樣時要戴**手套，以防燙傷； 6.試樣應(yīng)放在爐膛中間，整齊放好，切勿亂放； 7.不得隨便觸摸電爐及周圍的試樣； 8.使用完畢后應(yīng)切斷電源、水源； 9.未經(jīng)管理人員許可，不得操作箱式氣氛爐，嚴格按照設(shè)備的操作規(guī)程進行操作。馬弗爐按加熱元件區(qū)分有：電爐絲馬弗爐、硅碳棒馬弗爐、硅鉬棒馬弗爐。江門真空箱式爐廠家

真空管式爐在使用離心機之前，將其放置在穩(wěn)固，堅固的地面上。黑龍江立式爐廠家**

箱式爐注意事項： 1． 送排氣時，不得在爐門正面操作，以防噴火孔突然噴火傷人 2． 應(yīng)經(jīng)常用火把檢驗爐體各部位的泄漏情況 3． 原料氣罐、氣瓶周圍嚴禁明火，應(yīng)有防火、防爆、防觸電等裝置或滅火器材 4． 管路應(yīng)該用濃肥皂試漏，嚴禁用火把、丙烷氣在壓力小于200kPa時使用，丁烷氣壓力在5kPa禁用 零件的清理、檢驗、裝夾要求同井式爐滲碳基本相同，但還應(yīng)注意下列幾點： 1． 該種爐型滲碳無中間試棒，用控制爐氣碳勢和滲碳時間的長短來確定滲碳層深，終檢試樣同零件裝在同一筐夾具中 2． 檢查爐內(nèi)電阻板，輻射管是否開裂變形，是否水平，爐內(nèi)抗?jié)B碳磚的完好情況，磚縫漏氣情況 3． 淬火升降機構(gòu)升降平穩(wěn)、制動可靠，工件進出爐軌道暢通 4． 淬火油槽的油加熱系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)正常。油量充足，油中不得有水和碳黑，油循環(huán)定向?qū)О鍛?yīng)將油流向料管 5． 吸熱式氣氛碳勢（組分體積分數(shù)）應(yīng)在0.8%以上（**0~-5oC），氮基氣氛中氮氣體積分數(shù)大于98%，用凈化后氮基氣氛中氮氣體積分數(shù)大于99.99%黑龍江立式爐廠家**

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