馬弗爐（Muffle furnace），Muffle是包裹的意思，furnace是爐子，熔爐的意思。馬弗爐在中國(guó)的通用叫法有以下幾種：電爐、電阻爐，河南箱式爐用途、茂福爐、馬福爐，河南箱式爐用途。馬弗爐是一種通用的加熱設(shè)備，依據(jù)外觀形狀可分為箱式爐、管式爐，河南箱式爐用途、坩堝爐。應(yīng)用范圍編輯 （1）熱加工、工業(yè)工件處理、水泥、建材行業(yè),進(jìn)行小型工件的熱加工或處理。 （2）醫(yī)藥行業(yè)：用于藥品的檢驗(yàn)、醫(yī)學(xué)樣品的預(yù)處理等。 （3）分析化學(xué)行業(yè)：作為水質(zhì)分析、環(huán)境分析等領(lǐng)域的樣品處理。也可以用來(lái)進(jìn)行石油及其分析。 （4）煤質(zhì)分析：用于測(cè)定水分、灰分、揮發(fā)分、灰熔點(diǎn)分析、灰成分分析、元素分析。也可以作為通用灰化爐使用。馬弗爐溫度超過(guò)600度后不要打開(kāi)爐門(mén)。等爐膛內(nèi)溫度自然冷卻后再打開(kāi)爐門(mén)。河南箱式爐用途

馬弗爐注意事項(xiàng) 1、當(dāng)馬弗爐一次使用或長(zhǎng)期停用后再次使用時(shí)，必須進(jìn)行烘爐。烘爐的時(shí)間應(yīng)為室溫至200℃四小時(shí)，200℃至600℃四小時(shí)。使用時(shí)，爐溫較高不得超過(guò)額定溫度，以免燒毀電熱元件。禁止向爐內(nèi)灌注各種液體及易溶解的金屬，馬弗爐較好在低于較高溫度50℃以下工作，此時(shí)爐絲有較長(zhǎng)的壽命。 2、馬弗爐和控制器必須在相對(duì)濕度不超過(guò)85%、沒(méi)有導(dǎo)電塵埃、性氣體或腐蝕性氣體的場(chǎng)所工作。凡附有油脂之類(lèi)的金屬材料需進(jìn)行加熱時(shí)，有大量揮發(fā)性氣體將影響和腐蝕電熱元件表面，使之銷(xiāo)毀和縮短壽命。因此，加熱時(shí)應(yīng)及時(shí)預(yù)防和做好密封容器或適當(dāng)開(kāi)孔加以排除。 3、馬弗爐控制器應(yīng)限于在環(huán)境溫度0-40℃范圍內(nèi)使用。 4、根據(jù)技術(shù)要求，定期經(jīng)常檢查電爐、控制器的各接線(xiàn)的連線(xiàn)是否良好，指示儀指針運(yùn)動(dòng)時(shí)有無(wú)卡住滯留現(xiàn)象，并用電位差計(jì)校對(duì)儀表因磁鋼、退磁、漲絲、彈片的疲勞、平衡破壞等引起的誤差增大情況。 5、熱電偶不要在高溫時(shí)驟然拔出，以防外套炸裂。 6、經(jīng)常保持爐膛清潔，及時(shí)清理爐內(nèi)氧化物之類(lèi)東西。河南箱式爐用途CVD管式爐要定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好。

CVD管式爐使用注意事項(xiàng)： 　　1. 冷爐使用時(shí)，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。 　　2. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。 　　3.CVD管式爐使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件 及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。 　　4. 爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。

PECVD管式爐的具體工藝流程？硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜。 　　利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對(duì)化學(xué)氣相沉積過(guò)程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在，促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離，促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成，從而降低沉積溫度。PECVD在200℃～500℃范圍內(nèi)成膜，遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃～950℃范圍內(nèi)成膜。 　　反應(yīng)過(guò)程中有大量的氫離子注入到硅片中，使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性，達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。真空管式爐使用后，速度調(diào)節(jié)旋鈕應(yīng)旋轉(zhuǎn)回“0”，然后停止。

立式爐特點(diǎn) 1、控溫精度：±1℃ 爐溫均勻度：±1℃.　　 2、微電腦全自動(dòng)控制，可編制多段升、保、降溫曲線(xiàn)，全自動(dòng)升溫、保溫、降溫和超溫保護(hù)，程序運(yùn)行結(jié)束自動(dòng)停止，無(wú)須值守?！　?3、升溫快、高節(jié)能、高精度、高穩(wěn)定性、保溫性能好.　　 4.、爐體溫度接近室溫、 可通多種氣體（氧氣、氮?dú)?、氬氣、氫氣等?　　 5、爐膛全部采用進(jìn)口摩根纖維，保溫性能好，抗熱震、耐溫高、耐急冷急熱.　　 6、水冷系統(tǒng)：循環(huán)水冷(具有節(jié)能水源）.　　 7、溫度類(lèi)別：1000℃ 1200℃ 1400℃ 1600℃ 1700℃ 1800℃.管式爐具有抗干擾能力強(qiáng)，控制精度高，沖溫值小。河南箱式爐用途

管式爐具有抗干擾能力強(qiáng)，控制精度高，沖溫值小的特點(diǎn)。河南箱式爐用途

真空管式爐在使用過(guò)程中，應(yīng)該如何確保溫度的均勻？ 　　首先，要確保溫度的均勻之前，我們需要分析一下，馬弗爐發(fā)生溫度均勻性差的原因有哪些？然后再根據(jù)具體的原因來(lái)找出解決的措施和預(yù)防的措施。 　　溫度不均勻的原因還是比較多的，例如，功率的分配不合理，電熱元件分布不合理、發(fā)生斷路，馬弗爐的結(jié)構(gòu)不合理或者是密封性不好導(dǎo)致局部的散熱量過(guò)大，因此導(dǎo)致箱式馬弗爐的溫度不帶均勻。 　　因此，我們應(yīng)該檢查爐子的密封性，確保密封程度符合要求。然后確保電熱元件沒(méi)有發(fā)生斷路并對(duì)爐子的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改良。針對(duì)功率分配不合理的問(wèn)題，可以重新計(jì)算并改進(jìn)功率，讓功率分配更加合理。河南箱式爐用途

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