CVD管式爐使用注意事項： 　　1. 冷爐使用時，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，惠州箱式爐參考價，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。 　　2. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。 　　3.CVD管式爐使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件 及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。 　　4. 爐膛若采用石英管，惠州箱式爐參考價，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象，惠州箱式爐參考價。爐子的爐溫不得超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。惠州箱式爐參考價

當馬弗爐一次使用或長期停用后再次使用時，必須進行烘爐干燥：在20～200℃打開爐門烘2-3h，200～600℃關門烘2-3h。 實驗前，溫控器應避免震動，放置位置與電爐不宜太近，防止過熱使電子元件不能正常工作。搬動溫控器時應將電源開關置“關”。 使用前，將溫控器調至所需工作溫度，打開啟動編碼使馬弗爐通電，此時電流表有讀數(shù)產生，溫控表實測溫度值逐漸上升，表示馬弗爐、溫控器均在正常工作。 (一)工作環(huán)境要求無易燃易爆物品和腐蝕性氣體，禁止向爐膛內直接灌注各種液體及熔解金屬，經常保持爐膛內的清潔。 (二)使用時爐膛溫度不得超過較高爐溫，也不得在額定溫度下長時間工作。實驗過程中，使用人不得離開，隨時注意溫度的變化，如發(fā)現(xiàn)異常情況，應立即斷電，并由專業(yè)維修人員檢修。湖北管式爐零售價格CVD管式爐使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時。

多溫區(qū)管式爐使用方法 使用惰性氣體作為工作氣體時 1. 接通工作氣體氣路，將旋轉管式爐氣體出口端連接機械泵。 2. 打開旋轉管式爐進氣閥，合上真空泵電源，打開出氣閥（注意把住法蘭，避免爐管受力過大），抽空剛玉管和氣體管路。 3. 當旋轉管式爐真空表到-0.1（指針到盡頭時），關閉出氣閥，關閉進氣閥。 4. 逆時針旋動旋鈕開氣瓶主閥，順時針旋動旋鈕，緩慢打開出口減壓閥，使出口氣壓在0.004MPa（2小格）。 5. 逆時針旋動旋鈕，緩慢打開旋轉管式爐進氣閥；密切注意旋轉管式爐氣壓表，確認氣壓在0.08MPa以下（如氣壓高于0.08MPa，打開旋轉管式爐出氣閥放氣）。 6. 旋轉管式爐氣壓表當氣壓穩(wěn)定時，關閉旋轉管式爐進氣閥，打開出氣閥，抽真空到-0.1，關旋轉管式爐出氣閥。 7. 重復4、5步兩次。 8. 關機械泵，打開旋轉管式爐進氣閥。

箱式氣氛爐產品特點：可選擇進口單設定點或40段可編程控制器。安全功能包括可調過溫保護及開門切斷加 熱的安全鎖系統(tǒng)。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層外殼結構，具有升降溫速度快，能耗低?？蓪⑼獗?溫度降到常溫并使得內腔溫度分布均勻。***的加熱元件，使用壽命長。選配：帶排氣口和惰 性氣體通入口。實現(xiàn)計算機通訊。 電氣部分 電氣部分采用與爐體一體化結構，整個電氣元件安裝在爐體底部的一側，結構緊湊、占用空間小。溫控安裝在爐體側面板上，觀察直觀，調節(jié)方便，溫控儀具有**pid調節(jié)功能，可自動追蹤設定佳pid值，可任意設定測量分度密碼，同時具備補償功能，可使爐膛溫度與顯示值一致，控溫方式：采用德國西門子技術，具有軟啟動、軟關斷、可控硅移相調壓控制，0~98%輸出可調節(jié)，面板上各種儀表開關等有相應的中文標牌。CVD管式爐要定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好。

真空管式爐均系周期作業(yè)式。供實驗室、工礦企業(yè)、科研單位作元素分析測定和般小型鋼件的淬火、退火、回火和電子陶瓷等新材料的加熱用。其特點是安全可靠、節(jié)能、升降溫度速度快、耗能低、使用壽命。真空管式爐在初次使用的時候，為了保證其使用壽命，需要注意以下細節(jié)，起來看看吧！ 1、爐子初次使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。 爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。 2、產生失透缺陷屬于正?，F(xiàn)象 爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的個固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。 3、冷爐使用時，低溫段升溫速率不易過快 冷爐使用時，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。箱式爐爐體經精致噴塑耐腐蝕耐酸堿，爐體與爐膛隔離采用風冷爐壁溫度接近室溫。中山真空管式爐高校**

箱式氣氛爐爐門采用循環(huán)式水冷。設有進出水接頭?；葜菹涫綘t參考價

PECVD工作原理是什么？PECVD技術是在低氣壓下，利用低bai溫等離子體在工藝腔體的陰極du上（即zhi樣品放置的托盤）產生輝光放電，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預定的溫度，然后通入適量的工藝氣體，這些氣體經一系列化學反應和等離子體反應，較終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。 在反應過程中，反應氣體從進氣口進入爐腔，逐漸擴散至樣品表面，在射頻源激發(fā)的電場作用下，反應氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發(fā)生化學反應，生成形成膜的初始成分和副反應物，這些生成物以化學鍵的形式吸附到樣品表面，生成固態(tài)膜的晶核，晶核逐漸生長成島狀物，島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中，各種副產物從膜的表面逐漸脫離，在真空泵的作用下從出口排出?；葜菹涫綘t參考價

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