多溫區(qū)管式爐的保養(yǎng)： 一、爐子使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，江西PECVD管式爐零售價(jià)格，保持爐內(nèi)的清潔。 二、爐膛若采用剛玉爐管，依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì)，各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快（≤5℃），嚴(yán)禁在爐管100℃以上取送物料。有利于爐管的熱應(yīng)力的均勻釋放，以延長(zhǎng)爐管的使用壽命。爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透（又叫析晶性）是石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象，江西PECVD管式爐零售價(jià)格。 三，江西PECVD管式爐零售價(jià)格、管式爐在氣氛條件下使用，氣體在高溫下會(huì)膨脹，導(dǎo)致管內(nèi)壓力變大，使用者應(yīng)及時(shí)開啟針閥，排出氣體。管內(nèi)安全壓力建議值：-0.05MPa至真空管式爐使用后，速度調(diào)節(jié)旋鈕應(yīng)旋轉(zhuǎn)回“0”，然后停止。江西PECVD管式爐零售價(jià)格

多溫區(qū)管式爐注意事項(xiàng)： 1.多溫區(qū)管式爐操作注意事項(xiàng)爐子初次使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120度左右烘爐1小時(shí)，在300度左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫不得超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。 2.禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保護(hù)顱內(nèi)清潔。 3.爐體若采用硅鉬棒做加熱元件，依據(jù)硅鉬棒的物理特性，常溫下脆性很大，因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動(dòng)爐體， 4.冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不宜過快，各種溫度段的升溫速率差別不宜太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐膛， 5.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接是否緊固。 6.硅鉬棒作為加熱元件時(shí)不宜在400-700度溫度段長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。 7.硅鉬棒做加熱元件時(shí)，長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，阻值會(huì)逐漸增大，這種現(xiàn)象叫“老化”。真空箱式爐高校實(shí)驗(yàn)室**PECVD管式爐對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。

PECVD管式爐的具體工藝流程？硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜。 　　利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對(duì)化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在，促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離，促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成，從而降低沉積溫度。PECVD在200℃～500℃范圍內(nèi)成膜，遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃～950℃范圍內(nèi)成膜。 　　反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中，使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性，達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。

箱式氣氛爐應(yīng)用于適合各類大專院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)化驗(yàn)室，供化學(xué)分析、物理測(cè)定，以及金屬、陶瓷的燒結(jié)和熔解、小型鋼件等加熱、焙燒、烘干、熱處理用。 箱式氣氛爐操作規(guī)程注意事項(xiàng): 1.使用時(shí)切勿超過箱式氣氛爐的較高溫度； 2.裝取試樣時(shí)一定要切斷電源，以防觸電； 3.禁止向爐膛內(nèi)灌注任何液體； 4.不得將沾有水和油的試樣放入爐膛；不得用沾有水和油的夾子裝取試樣； 5.裝取試樣時(shí)要戴**手套，以防燙傷； 6.試樣應(yīng)放在爐膛中間，整齊放好，切勿亂放； 7.不得隨便觸摸電爐及周圍的試樣； 8.使用完畢后應(yīng)切斷電源、水源； 9.未經(jīng)管理人員許可，不得操作箱式氣氛爐，嚴(yán)格按照設(shè)備的操作規(guī)程進(jìn)行操作。真空管式爐爐膛材料采用的進(jìn)口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成，節(jié)能50%。

CVD管式爐的安全使用：在關(guān)鍵部位安裝有聲、光警報(bào)裝置和安全聯(lián)鎖保護(hù)裝置，確保安全，其設(shè)備安全設(shè)施達(dá)到國家規(guī)定的安全標(biāo)準(zhǔn)，包括： （1）超溫?cái)嗯紙?bào)警及保護(hù)；充氣異常；接地保護(hù)；短路保護(hù)等。 （2）爐蓋關(guān)緊、真空度滿足要求，方可啟動(dòng)加熱。針對(duì)實(shí)驗(yàn)室的使用要求，裝卸料采用間歇式手動(dòng)裝、卸料。裝料時(shí)將料盒放置在料盆支架上，打開并取出爐管一端的密封端蓋，放入帶料盒的料盒支架，再將密封端蓋安裝在爐管法蘭上并擰緊卡箍螺栓。 然后通人工藝氣氛，直到爐管內(nèi)氧含量達(dá)到工藝要求時(shí)進(jìn)行升溫?zé)Y(jié)。產(chǎn)品燒結(jié)工藝完成后，應(yīng)繼續(xù)通人小量的工藝氣氛并進(jìn)行降溫，直到爐內(nèi)溫度低于工藝要求時(shí)，方可打開爐管密封端蓋取出產(chǎn)品。爐子升溫后，不能長(zhǎng)時(shí)間開啟爐門。湖南真空管式爐特價(jià)

多溫區(qū)管式爐該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。江西PECVD管式爐零售價(jià)格

真空管式爐的具體使用情況： 　　1、把熱電偶通過偶孔插入，需要注意的是在熱電偶和偶孔之間的縫隙要用石棉繩填塞，防止熱量損失。 　　2、解開溫度控制器的外殼，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)連接電源線、熱電偶、電爐線以及安全開關(guān)線。因?yàn)榭刂破骱碗姞t的中線是共用的，所以中線和相線不能接反了，還要注意熱電偶連線的正反極也不能接反，否則的話儀表會(huì)不顯示。 　　3、把溫度指示儀的后端接線板上面的“短”和“短”直接的連線，調(diào)整到機(jī)械零點(diǎn)，如果使用補(bǔ)償導(dǎo)線以及冷端補(bǔ)償器的話，那么要把機(jī)械零位調(diào)整到基準(zhǔn)溫度點(diǎn)，在不能使用補(bǔ)償導(dǎo)線的時(shí)候，則需要把機(jī)械零位調(diào)整到刻度零位，并且所指示的溫度就是被測(cè)點(diǎn)和熱電偶冷端的溫度差。 　　4、在檢查接線正確之后，蓋上控制器的外殼，把溫度指示儀的指針調(diào)到所需要的工作溫度(也就是旋動(dòng)指示儀面板下方的螺釘)，然后把電源接通，打開控制電源的開關(guān)，這個(gè)時(shí)候綠燈就亮了。繼電器開始工作，電爐通電，電流表就有讀數(shù)出現(xiàn)，溫度指示儀指針也會(huì)慢慢的上升，這就說明電爐和溫度控制器都在正常的工作。 　　5、真空管式爐的升溫和定溫分別是以紅燈和綠燈表示的，紅燈表示恒溫，綠燈則表示升溫。江西PECVD管式爐零售價(jià)格

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