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PECVD工作原理是什么?PECVD技術(shù)是在低氣壓下,利用低bai溫等離子體在工藝腔體的陰極du上(即zhi樣品放置的托盤)產(chǎn)生輝光放電,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),陜西管式爐價格,較終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。 在反應(yīng)過程中,反應(yīng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入爐腔,逐漸擴散至樣品表面,在射頻源激發(fā)的電場作用下,反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團(tuán)等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物,這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,陜西管式爐價格,島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出,陜西管式爐價格。箱式爐采用多晶陶瓷纖維精制爐膛,爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層,有效提高加熱效率。陜西管式爐價格
箱式爐采用多晶陶瓷纖維精制爐膛,爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層,有效提高加熱效率,延長使用壽命;以含鉬電阻絲為加熱元件,.高溫度可達(dá)1200℃;雙層殼體結(jié)構(gòu),先進(jìn)的真空隔熱技術(shù),箱式爐爐膛,較大降低箱體表面溫度;K型熱電偶配以PID智能30段溫控系統(tǒng),箱式爐,并配有過溫、斷偶、過流保護(hù)等功能該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。主要供合金鋼制品、各種金屬機件正火、淬火、退火等熱處理之用,或金剛石等切割刀片進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)用途。普遍用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發(fā)、特種材料、建材等領(lǐng)域的生產(chǎn)及實驗。寧夏真空管式爐特價蒸汽鍋爐的水位表是直觀表現(xiàn)鍋爐內(nèi)水位位置的裝置,高于或低于水位表正常水位都是嚴(yán)重的操作錯誤。
多溫區(qū)管式爐簡介 多溫區(qū)管式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和40段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,雙(多)溫區(qū)管式爐爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,雙(多)溫區(qū)管式爐雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速升降溫,采用99高純剛玉管、兩端用不銹鋼法蘭密封,用浮子流量計控制進(jìn)氣流量、該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。
CVD管式爐1.按溫度高低的來分可分為:RGF1800型,RGF1700型,RGF1600型,RGF1500型,RGF1400型,RGF1300型,RGF1200型,RGF1100型,RGF1000型,RGF900型,RGF800型等。 2.按爐型大小來分可分為:RGF大型管式氣氛爐,RGF中型管式氣氛爐,RGF小型管式氣氛爐,RGF微型管式氣氛爐等。 3.按控溫精度來分可分為:RGF精細(xì)智能一體式管式氣氛爐,RGF精細(xì)式管式氣氛爐,RGF標(biāo)準(zhǔn)式管式氣氛爐等。 4.按管式氣氛爐材質(zhì)分為:RGF氧化鋁管式氣氛爐,RGF剛玉管式氣氛爐,RGF石英管式氣氛爐,RGF氮化硅管式氣氛爐,RGF氮化硼管式氣氛爐等。PECVD管式爐對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。
多溫區(qū)管式爐用途:耐火材料、電子、陶瓷、冶金、機器、建材、特種材料、新材料開發(fā)等領(lǐng)域的試驗和生產(chǎn)。 特性: 1.外觀新穎 2.爐膛材料全部采用高純氧化鋁纖維制作而成(節(jié)能效果是老式電爐的80%以上) 3.精度(控溫精度:±1℃ 恒溫精度:±1℃) 5.保溫性能(在保溫時功率不到總功率的30%) 6.控制(微電腦控制,可編程序40段曲線,全自動升溫/降溫) 7.工作環(huán)境(抗干擾、1400℃時外殼溫度≤45℃提高了工作環(huán)境) 8.高溫管兩側(cè) 9.多區(qū)溫度**控制,可實現(xiàn)在同一爐管內(nèi),得到不同的溫度熱場,實現(xiàn)多種溫度梯度,應(yīng)對特殊實驗需求 10.多控溫儀表**控制 11.多熱電偶溫度感測 12.爐管內(nèi)可加多種氣體 13.爐管可抽真空,真空度:0.01至-0.1(MPa) 14.爐管兩側(cè)用不銹鋼金屬封頭、石英封頭密封,操作簡單(手動調(diào)節(jié)),效果管式爐具有抗干擾能力強,控制精度高,沖溫值小。陜西管式爐價格
真空管式爐在使用離心機之前,將其放置在穩(wěn)固,堅固的地面上。陜西管式爐價格
電爐使用時應(yīng)注意以下哪些問題1、測爐溫均勻性時,應(yīng)注意測溫觸點的定位捆綁方式,以及離加熱元件的遠(yuǎn)近。爐內(nèi)經(jīng)常(至少每月)用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛和擱磚,要防止?fàn)t內(nèi)氧化皮等雜質(zhì)掉在電熱元件上,發(fā)生短路,甚至燒壞擱磚。底板、坩堝、爐罐等耐熱鋼構(gòu)件每使用一段時間,較好吊起敲擊,清理其氧化皮。氧化鐵皮等雜質(zhì)如不及時清理,就會熔融與耐火磚發(fā)生反應(yīng),使?fàn)t絲熔化。 2、爐子升溫后,不能長時間開啟爐門。當(dāng)溫度高于400℃時,不得急劇冷卻。對于電熱元件在溫度高、冷熱變化大情況下,容易引起氧化掉皮。對于鉬加熱爐,EI常使用維護(hù)中注意應(yīng)冷卻至200℃以下方可停送保護(hù)氣。 3、引出棒與線夾子應(yīng)接觸良好,引出棒與夾子接觸而應(yīng)光滑。引出棒不能有發(fā)紅現(xiàn)象,供電時線夾子的升溫較高不超過60℃。注意由于升溫停爐時的熱脹冷縮以及蠕變伸長等,引出棒接線夾子的螺栓容易發(fā)生氧化松動,形成虛接短路,要定期檢查擰緊。陜西管式爐價格
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司是一家鋰電池試驗設(shè)備的研發(fā),生產(chǎn),銷售;給學(xué)校研究院(所)提供設(shè)備和工具及材料研究開發(fā)的手段;鋰電池測試數(shù)據(jù)的整理收集和鋰電池材料的性能改進(jìn)提升優(yōu)化;鋰電池安全性能的評估測試;進(jìn)出口業(yè)務(wù)和非標(biāo)設(shè)備的加工制造等!的公司,是一家集研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司。迪斯普設(shè)備深耕行業(yè)多年,始終以客戶的需求為向?qū)?,為客戶提?**的鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機。迪斯普設(shè)備不斷開拓創(chuàng)新,追求出色,以技術(shù)為先導(dǎo),以產(chǎn)品為平臺,以應(yīng)用為重點,以服務(wù)為保證,不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,提供更優(yōu)服務(wù)。迪斯普設(shè)備始終關(guān)注自身,在風(fēng)云變化的時代,對自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使迪斯普設(shè)備在行業(yè)的從容而自信。
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/1497993.html
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