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馬弗爐(Muffle furnace),Muffle是包裹的意思,furnace是爐子,熔爐的意思。馬弗爐在中國(guó)的通用叫法有以下幾種:電爐、電阻爐、茂福爐、馬福爐。馬弗爐是一種通用的加熱設(shè)備,依據(jù)外觀形狀可分為箱式爐、管式爐、坩堝爐。應(yīng)用范圍編輯 (1)熱加工、工業(yè)工件處理、水泥、建材行業(yè),進(jìn)行小型工件的熱加工或處理。 (2)醫(yī)藥行業(yè):用于藥品的檢驗(yàn)、醫(yī)學(xué)樣品的預(yù)處理等,安徽PECVD管式爐廠家**。 (3)分析化學(xué)行業(yè):作為水質(zhì)分析、環(huán)境分析等領(lǐng)域的樣品處理。也可以用來(lái)進(jìn)行石油及其分析。 (4)煤質(zhì)分析:用于測(cè)定水分、灰分,安徽PECVD管式爐廠家**,安徽PECVD管式爐廠家**、揮發(fā)分、灰熔點(diǎn)分析、灰成分分析、元素分析。也可以作為通用灰化爐使用。馬弗爐使用時(shí)爐膛溫度不得超過(guò)較高爐溫,也不得在額定溫度下長(zhǎng)時(shí)間工作。安徽PECVD管式爐廠家**
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜。 利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對(duì)化學(xué)氣相沉積過(guò)程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。 反應(yīng)過(guò)程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。安徽PECVD管式爐廠家**真空管式爐使用后,速度調(diào)節(jié)旋鈕應(yīng)旋轉(zhuǎn)回“0”,然后停止。
CVD管式爐1.按溫度高低的來(lái)分可分為:RGF1800型,RGF1700型,RGF1600型,RGF1500型,RGF1400型,RGF1300型,RGF1200型,RGF1100型,RGF1000型,RGF900型,RGF800型等。 2.按爐型大小來(lái)分可分為:RGF大型管式氣氛爐,RGF中型管式氣氛爐,RGF小型管式氣氛爐,RGF微型管式氣氛爐等。 3.按控溫精度來(lái)分可分為:RGF精細(xì)智能一體式管式氣氛爐,RGF精細(xì)式管式氣氛爐,RGF標(biāo)準(zhǔn)式管式氣氛爐等。 4.按管式氣氛爐材質(zhì)分為:RGF氧化鋁管式氣氛爐,RGF剛玉管式氣氛爐,RGF石英管式氣氛爐,RGF氮化硅管式氣氛爐,RGF氮化硼管式氣氛爐等。
箱式氣氛爐應(yīng)用于適合各類(lèi)大專(zhuān)院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)化驗(yàn)室,供化學(xué)分析、物理測(cè)定,以及金屬、陶瓷的燒結(jié)和熔解、小型鋼件等加熱、焙燒、烘干、熱處理用。 箱式氣氛爐操作規(guī)程注意事項(xiàng): 1.使用時(shí)切勿超過(guò)箱式氣氛爐的較高溫度; 2.裝取試樣時(shí)一定要切斷電源,以防觸電; 3.禁止向爐膛內(nèi)灌注任何液體; 4.不得將沾有水和油的試樣放入爐膛;不得用沾有水和油的夾子裝取試樣; 5.裝取試樣時(shí)要戴**手套,以防燙傷; 6.試樣應(yīng)放在爐膛中間,整齊放好,切勿亂放; 7.不得隨便觸摸電爐及周?chē)脑嚇樱?8.使用完畢后應(yīng)切斷電源、水源; 9.未經(jīng)管理人員許可,不得操作箱式氣氛爐,嚴(yán)格按照設(shè)備的操作規(guī)程進(jìn)行操作。多溫區(qū)管式爐爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì),各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過(guò)快(≤5℃)。
雙室真空箱式爐是根據(jù)處理石墨板燒結(jié)而制作,同時(shí)根據(jù)用戶(hù)需要可制作成爐體移動(dòng)式,與兩只爐座配合使用,以節(jié)約能源,達(dá)到大的使用效果。主要特點(diǎn):1、采用全纖維爐狀結(jié)構(gòu),具有優(yōu)良的節(jié)能性能,比同規(guī)格的磚體電阻爐節(jié)能30~38%,升溫速度提高1倍;2、爐體輕巧通過(guò)電動(dòng)裝置可輕便的移開(kāi)爐體,露出爐臺(tái)內(nèi)膽,冷卻迅速。3、采用爐體移動(dòng),便于設(shè)備保養(yǎng)與維修,提高爐子壽命。4、鐘罩式電阻爐可以一罩多爐位使用,提高生產(chǎn)率,節(jié)約投資。5、爐膽制作成波紋狀,有效保證使用壽命和強(qiáng)度。 1、 移動(dòng)爐體分爐襯、加熱元件: A、 移動(dòng)爐體由鋼板及型鋼焊接成外殼,材料有槽鋼、角鋼、鋼板等。 B、 爐襯采用全纖維棉壓筑成模塊,通過(guò)不銹鋼元固定于爐殼支架上。 C、 加熱元件采用波狀電阻帶通過(guò)高鋁瓷釘懸掛固定于兩側(cè)和后墻爐襯上。 2、 固定爐臺(tái)分中間爐襯、底爐襯、加熱元件、不銹鋼內(nèi)膽: A、 固定爐臺(tái)爐體采用槽鋼做機(jī)架,鋼板焊接成圍板。 B、 中間爐襯采用硅酸鋁纖維通過(guò)不銹鋼元固定于兩爐膽中間,有效減小磚式爐襯熱漲冷縮的缺點(diǎn),保證使用壽命。底爐襯是有保溫磚、輕質(zhì)粘土磚、重質(zhì)粘土磚等砌筑而成。 爐子初次使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在 120℃左右烘烤 1 小時(shí),在 300℃左右烘烤 2 小時(shí)后使用。湖南馬氟爐廠家**
箱式氣氛爐可選擇進(jìn)口單設(shè)定點(diǎn)或40段可編程控制器。安徽PECVD管式爐廠家**
真空管式爐使用時(shí)應(yīng)注意以下事項(xiàng): 1、使用外殼時(shí),接地線應(yīng)接地。 2、在使用離心機(jī)之前,將其放置在穩(wěn)固,堅(jiān)固的地面上。 3、使用大氣爐時(shí),如果聲音不正常,應(yīng)立即關(guān)閉并檢查和維修。 4、使用后,速度調(diào)節(jié)旋鈕應(yīng)旋轉(zhuǎn)回“0”,然后停止。嚴(yán)禁在不停止和打開(kāi)的情況下打開(kāi)蓋子。 5、電源打開(kāi)后,電機(jī)不會(huì)轉(zhuǎn)動(dòng):首先檢查電源線,插頭和插座。如果有任何損壞,應(yīng)予以更換。如果沒(méi)有問(wèn)題,請(qǐng)檢查波段開(kāi)關(guān)或壓敏電阻是否損壞或電纜是否斷開(kāi)。 6、振動(dòng)嚴(yán)重,噪音大:檢查是否存在不平衡問(wèn)題,固定機(jī)的螺母是否松動(dòng)。如果是緊的,檢查軸承是否損壞或彎曲。如果有,更換軸承,機(jī)器蓋板變形或位置不正確,如有必要,進(jìn)行調(diào)整。安徽PECVD管式爐廠家**
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