高溫爐的注意事項除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區(qū)。 實驗工作完畢時，若無人繼續(xù)使用，請關特殊氣體，保留N2流動，并查看是否有其它電源該關而沒有關、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關掉。 處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。 石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴重割傷。 避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。 **鉀(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。 一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時，請立即通知有關人員(技術員等)。 請節(jié)約純水用量，東莞馬氟爐廠家**。 破晶片、濾紙、棉花棒，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水，東莞馬氟爐廠家**。 長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染，東莞馬氟爐廠家**。 晶片進出爐口時，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。箱式爐爐體經(jīng)精致噴塑耐腐蝕耐酸堿，爐體與爐膛隔離采用風冷爐壁溫度接近室溫。東莞馬氟爐廠家**

真空箱式爐操作特別提示： （1）配上真空泵，抽取爐內(nèi)的空氣，較大不超過四格指針刻度，當真空表指針下降接近四格時停頓抽氣，充入隋性氣體，使指針歸0位或稍大于0位，再抽氣，充氣，往復3-5次，確保爐腔內(nèi)的保護氣體有一定的濃度； （2） 如無真空泵需氣氛保護時，接上進氣管，充入惰性氣體，稍稍放開前面的出氣閥，當充入氣體大于爐膛容積約1.5倍時關閉出氣口閥門，觀測壓力表大于“0”小于一格； （3）在完成以上內(nèi)容后再在操作面板上設置好需要溫度程序（升溫速度較高不得超過10℃/min） （4）實驗結束提取試樣前需確保爐內(nèi)溫爐降在安全范圍內(nèi)，打開氣閥后方可打開爐門。湖南真空箱式爐研究所**PECVD管式爐在使用時氣體預熱——增加前端氣體預熱區(qū)，沉積速度更快，成膜效果更好。

箱式氣氛爐應用于適合各類大專院校實驗室、工礦企業(yè)化驗室，供化學分析、物理測定，以及金屬、陶瓷的燒結和熔解、小型鋼件等加熱、焙燒、烘干、熱處理用。 箱式氣氛爐操作規(guī)程注意事項: 1.使用時切勿超過箱式氣氛爐的較高溫度； 2.裝取試樣時一定要切斷電源，以防觸電； 3.禁止向爐膛內(nèi)灌注任何液體； 4.不得將沾有水和油的試樣放入爐膛；不得用沾有水和油的夾子裝取試樣； 5.裝取試樣時要戴**手套，以防燙傷； 6.試樣應放在爐膛中間，整齊放好，切勿亂放； 7.不得隨便觸摸電爐及周圍的試樣； 8.使用完畢后應切斷電源、水源； 9.未經(jīng)管理人員許可，不得操作箱式氣氛爐，嚴格按照設備的操作規(guī)程進行操作。

多溫區(qū)管式爐的保養(yǎng)： 一、爐子使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。 二、爐膛若采用剛玉爐管，依據(jù)剛玉材料的物理性質，各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快（≤5℃），嚴禁在爐管100℃以上取送物料。有利于爐管的熱應力的均勻釋放，以延長爐管的使用壽命。爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透（又叫析晶性）是石英管的一個固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。 三、管式爐在氣氛條件下使用，氣體在高溫下會膨脹，導致管內(nèi)壓力變大，使用者應及時開啟針閥，排出氣體。管內(nèi)安全壓力建議值：-0.05MPa至CVD管式爐要定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好。

PECVD管式爐的具體工藝流程？硅烷與氨氣反應生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜。 　　利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學氣相沉積過程施加影響的技術。由于等離子體存在，促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離，促進反應活性基團的生成，從而降低沉積溫度。PECVD在200℃～500℃范圍內(nèi)成膜，遠小于其它CVD在700℃～950℃范圍內(nèi)成膜。 　　反應過程中有大量的氫離子注入到硅片中，使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性，達到表面鈍化和體鈍化的目的。PECVD管式爐進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。湖南真空箱式爐研究所**

箱式氣氛爐爐門采用循環(huán)式水冷。設有進出水接頭。東莞馬氟爐廠家**

真空管式爐的具體使用情況： 　　1、把熱電偶通過偶孔插入，需要注意的是在熱電偶和偶孔之間的縫隙要用石棉繩填塞，防止熱量損失。 　　2、解開溫度控制器的外殼，根據(jù)標準連接電源線、熱電偶、電爐線以及安全開關線。因為控制器和電爐的中線是共用的，所以中線和相線不能接反了，還要注意熱電偶連線的正反極也不能接反，否則的話儀表會不顯示。 　　3、把溫度指示儀的后端接線板上面的“短”和“短”直接的連線，調(diào)整到機械零點，如果使用補償導線以及冷端補償器的話，那么要把機械零位調(diào)整到基準溫度點，在不能使用補償導線的時候，則需要把機械零位調(diào)整到刻度零位，并且所指示的溫度就是被測點和熱電偶冷端的溫度差。 　　4、在檢查接線正確之后，蓋上控制器的外殼，把溫度指示儀的指針調(diào)到所需要的工作溫度(也就是旋動指示儀面板下方的螺釘)，然后把電源接通，打開控制電源的開關，這個時候綠燈就亮了。繼電器開始工作，電爐通電，電流表就有讀數(shù)出現(xiàn)，溫度指示儀指針也會慢慢的上升，這就說明電爐和溫度控制器都在正常的工作。 　　5、真空管式爐的升溫和定溫分別是以紅燈和綠燈表示的，紅燈表示恒溫，綠燈則表示升溫。東莞馬氟爐廠家**

深圳市迪斯普設備有限公司致力于機械及行業(yè)設備，是一家生產(chǎn)型的公司。公司業(yè)務分為鋰電池鈕扣設備，鋰電池18650圓柱設備，鋰電池聚合物軟包設備，馬氟爐，管式爐，球磨機等，目前不斷進行創(chuàng)新和服務改進，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力，努力學習行業(yè)知識，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于機械及行業(yè)設備行業(yè)的發(fā)展。迪斯普設備立足于全國市場，依托強大的研發(fā)實力，融合前沿的技術理念，飛快響應客戶的變化需求。

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