PECVD工作原理是什么？PECVD技術是在低氣壓下，利用低bai溫等離子體在工藝腔體的陰極du上（即zhi樣品放置的托盤）產(chǎn)生輝光放電，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預定的溫度，然后通入適量的工藝氣體，這些氣體經(jīng)一系列化學反應和等離子體反應，較終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。 在反應過程中，反應氣體從進氣口進入爐腔，逐漸擴散至樣品表面，在射頻源激發(fā)的電場作用下，天津管式爐參考價格，反應氣體分解成電子，天津管式爐參考價格、離子和活性基團等。這些分解物發(fā)生化學反應，生成形成膜的初始成分和副反應物，這些生成物以化學鍵的形式吸附到樣品表面，生成固態(tài)膜的晶核，天津管式爐參考價格，晶核逐漸生長成島狀物，島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中，各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離，在真空泵的作用下從出口排出。箱式氣氛爐應用于適合各類大專院校實驗室、工礦企業(yè)化驗室，供化學分析、物理測定。天津管式爐參考價格

箱式爐的安全操作： 1、清理爐內鐵屑，清掃爐底板，以免鐵屑落于電阻絲上造成短路損壞。 2、入箱式爐的工件應不超過爐底板.大載荷量，裝卸工件時應確保電源斷開的情況下進行。 3、汪意檢查熱電偶安裝位置。熱電偶插入爐內后，應保證不與工件相碰。 4、根據(jù)工件的圖紙要求，試驗箱式爐，確定合理的工藝范圍。按時升溫，保證出爐操作，經(jīng)常檢查儀表溫度并進行校準，防止誤操作。 5、為保證爐溫，不能隨便打開箱式爐爐門，檢查爐內情況應從爐門孔中觀察。 6、冷卻劑應放置于就近方便的位置，減少工件出爐后降溫。 7、出爐時應工位正確，夾持穩(wěn)固，防止熾熱工件傷害人體。 8、箱式爐檢修后，必須按規(guī)定進行烘烤，并檢查爐堂及頂部保溫粉是否填滿，接地是否與爐殼緊固。青海馬氟爐廠家箱式氣氛爐節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層外殼結構，具有升降溫速度快，能耗低。

PECVD管式爐的具體工藝流程？硅烷與氨氣反應生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜。 　　利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學氣相沉積過程施加影響的技術。由于等離子體存在，促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離，促進反應活性基團的生成，從而降低沉積溫度。PECVD在200℃～500℃范圍內成膜，遠小于其它CVD在700℃～950℃范圍內成膜。 　　反應過程中有大量的氫離子注入到硅片中，使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性，達到表面鈍化和體鈍化的目的。

箱式爐注意事項： 1． 送排氣時，不得在爐門正面操作，以防噴火孔突然噴火傷人 2． 應經(jīng)常用火把檢驗爐體各部位的泄漏情況 3． 原料氣罐、氣瓶周圍嚴禁明火，應有防火、防爆、防觸電等裝置或滅火器材 4． 管路應該用濃肥皂試漏，嚴禁用火把、丙烷氣在壓力小于200kPa時使用，丁烷氣壓力在5kPa禁用 零件的清理、檢驗、裝夾要求同井式爐滲碳基本相同，但還應注意下列幾點： 1． 該種爐型滲碳無中間試棒，用控制爐氣碳勢和滲碳時間的長短來確定滲碳層深，終檢試樣同零件裝在同一筐夾具中 2． 檢查爐內電阻板，輻射管是否開裂變形，是否水平，爐內抗?jié)B碳磚的完好情況，磚縫漏氣情況 3． 淬火升降機構升降平穩(wěn)、制動可靠，工件進出爐軌道暢通 4． 淬火油槽的油加熱系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)正常。油量充足，油中不得有水和碳黑，油循環(huán)定向導板應將油流向料管 5． 吸熱式氣氛碳勢（組分體積分數(shù)）應在0.8%以上（**0~-5oC），氮基氣氛中氮氣體積分數(shù)大于98%，用凈化后氮基氣氛中氮氣體積分數(shù)大于99.99%CVD管式爐使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時。

電爐使用時應注意以下哪些問題1、應編制使用維護操作規(guī)程，建立運行記錄和修理檔案，統(tǒng)計運行累積工作時間，加強日常維護，掌握設備技術狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質的熱修，并根據(jù)爐子負荷和工作狀況，提前有針對性地準備修理用料，編制修理工藝。 2、在磚砌爐修好后的使用初期要經(jīng)常進行檢查，檢查使用后的爐表溫度和爐子溫度是否過高、加熱體是否存在過熱燒斷、溫度不均或發(fā)白等現(xiàn)象。對于三相高溫電爐，以及電阻爐容量超過100kW時，每相、每一個加熱區(qū)都應安裝有電流表，發(fā)現(xiàn)爐溫與儀表指示不正常，及時分析處理。 3、不能超負荷使用沒備，合金元件的較高使用溫度是指元件在干燥空氣中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質的溫度或電熱元件周圍的溫度。要注意電熱元件本身的溫度一股比它周圍的介質溫度或被加熱溫度高100℃。 4、要避免熱處刪產(chǎn)品，尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與電加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小，較后過熱而燒斷。箱式氣氛爐爐門采用循環(huán)式水冷。設有進出水接頭。內蒙古真空管式爐生產(chǎn)廠家

真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件，采用雙層殼體結構和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng)。天津管式爐參考價格

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