真空鍍鋁膜開(kāi)通冷卻源，使鋁絲在蒸發(fā)舟上連續(xù)地熔化、蒸發(fā)，從而在移動(dòng)的薄膜表面冷卻后形成一層光亮的鋁層即為鍍鋁薄膜。真空蒸鍍?cè)?，將被鍍薄膜基材（筒狀〕裝在真空蒸鍍機(jī)中，用真空泵抽真空，使鍍膜中的真空度達(dá)到1.3×10－2～1，上海磁控濺射鍍銀膜加工制造.3×10-3Pa，加熱坩鍋使高純度的鋁絲在1200℃～1400℃的溫度下溶化并蒸發(fā)成氣態(tài)鋁。氣態(tài)鋁微粒在移動(dòng)的薄膜基材表面沉積，上海磁控濺射鍍銀膜加工制造、經(jīng)冷卻還原即形成一層連續(xù)而光亮的金屬鋁層。通過(guò)控制金屬鋁的蒸發(fā)速度，上海磁控濺射鍍銀膜加工制造、薄膜基材的移動(dòng)速度以及鍍膜室的真空度等來(lái)控制鍍鋁層的厚度。真空鍍鋁膜在許多方面已取代了鋁箔復(fù)合材料。上海磁控濺射鍍銀膜加工制造

真空鍍鋁膜反應(yīng)磁控濺射沉積過(guò)程中基板升溫較小，而且制膜過(guò)程中通常也不要求對(duì)基板進(jìn)行高溫加熱，因此對(duì)基板材料的限制較少。反應(yīng)磁控濺射適于制備大面積均勻薄膜，并能實(shí)現(xiàn)單機(jī)年產(chǎn)上百萬(wàn)平方米鍍膜的工業(yè)化生產(chǎn)。磁控濺射鍍膜原理：磁控濺射系統(tǒng)在陰極靶材的背后放置100～1000Gauss強(qiáng)力磁鐵,真空室充入1～10Pa壓力的惰性氣體(Ar),作為氣體放電的載體。在高壓作用下Ar原子電離成為Ar+離子和電子, 電子在加速飛向基片的過(guò)程中,受到垂直于電場(chǎng)的磁場(chǎng)影響。上海磁控濺射鍍銀膜加工制造真空鍍鋁膜其裝潢效果是鋁箔所不及的。

真空鍍鋁膜反應(yīng)磁控濺射，以金屬、合金、低價(jià)金屬化合物或半導(dǎo)體材料作為靶陰極，在濺射過(guò)程中或在基片表面沉積成膜過(guò)程中與氣體粒子反應(yīng)生成化合物薄膜，這就是反應(yīng)磁控濺射 。反應(yīng)磁控濺射普遍應(yīng)用于化合物薄膜的大批量生產(chǎn)，這是因?yàn)椋?1)反應(yīng)磁控濺射所用的靶材料 ( 單元素靶或多元素靶 ) 和反應(yīng)氣體 ( 氧、氮、碳?xì)浠衔锏?) 純度很高，因而有利于制備高純度的化合物薄膜。(2)通過(guò)調(diào)節(jié)反應(yīng)磁控濺射中的工藝參數(shù) , 可以制備化學(xué)配比或非化學(xué)配比的化合物薄膜，通過(guò)調(diào)節(jié)薄膜的組成來(lái)調(diào)控薄膜特性。

真空鍍鋁膜的離子轟擊靶材將靶面原子擊出的現(xiàn)象稱為濺射.濺射產(chǎn)生的原子沉積在基體(工件)表面即實(shí)現(xiàn)濺射鍍膜.二極濺射是極早采用，并且是目前極簡(jiǎn)單的基本濺射方法。直流二極濺射裝置由陰、陽(yáng)極組成。用膜材(導(dǎo)體)制成的靶作為陰極，放置被鍍件的工件架作為陽(yáng)極(接地)，兩極間距一般為數(shù)厘米至十厘米左右。當(dāng)真空室內(nèi)電場(chǎng)強(qiáng)度達(dá)到一定值后，兩極間產(chǎn)生異常輝光放電。等離子區(qū)中的Ar +離子被加速而轟擊陰極靶，被濺射出的靶材原子在基體上沉積形成薄膜。真空鍍鋁膜基本性能要求檢驗(yàn)合格后，其包裝應(yīng)對(duì)鍍鋁件起到有效的防護(hù)作用。

鍍膜只要保證磁場(chǎng)的均勻, 再在工作氣體的布?xì)庋b置上采用合理的方式, 在整個(gè)靶面的區(qū)域內(nèi), 實(shí)踐證明均能獲得均勻的濺射刻蝕。這是膜層橫向均勻性的重要保證?？紤]到靶的兩端所產(chǎn)生的邊緣效應(yīng), 為使基片的兩端也獲得與中間部分相同的膜厚, 靶的兩端要伸出基片邊緣足夠的長(zhǎng)度。高真空的背景是濺射沉積的必要條件, 所以濺射室對(duì)稱設(shè)置有高真空機(jī)組。目前采用的大多是擴(kuò)散泵機(jī)組。進(jìn)口設(shè)備中, 配置渦輪分子泵的, 但維修麻煩, 更換軸承需由廠家進(jìn)行；配置擴(kuò)散泵的還加有液氮冷阱, 這樣有更好的擋油效果, 但維持費(fèi)用高。真空鍍鋁膜在移動(dòng)的薄膜表面冷卻后形成一層光亮的鋁層即為鍍鋁薄膜。上海磁控濺射鍍銀膜加工制造

真空鍍鋁膜具有很好的保護(hù)性。上海磁控濺射鍍銀膜加工制造

真空鍍鋁膜特點(diǎn)：（1）減少了用鋁量，節(jié)省了能源和材料，降低了成本，復(fù)合用鋁箔厚度多為7～gpm，而鍍鋁薄膜的鋁層厚度約為0.05n左右，其耗鋁量約為鋁箔的1/140～1/180，且生產(chǎn)速度可高達(dá)450m/min。（2）具有優(yōu)良的耐折性和良好的韌性，很少出現(xiàn)小孔和裂口，無(wú)揉曲龜裂現(xiàn)象，因此對(duì)氣體、水蒸汽、氣味、光線等的阻隔性提高。（3）具有比較好的金屬光澤，光反射率可達(dá)97%；且可以通過(guò)涂料處理形成彩色膜，其裝潢效果是鋁箔所不及的。（4）可采用屏蔽式進(jìn)行部分鍍鋁，以獲得任意圖案或透明窗口，能看到內(nèi)裝物。上海磁控濺射鍍銀膜加工制造

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