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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:浙江精密減薄機(jī)設(shè)備,減薄機(jī)
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晶圓制造工藝中,對(duì)晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求,浙江精密減薄機(jī)設(shè)備,因此在幾百道工藝流程中,不可采用較薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工藝過(guò)程中傳遞、流片,通常在集成電路封裝前,需要對(duì)晶片背面多余的基體材料去除一定厚度,浙江精密減薄機(jī)設(shè)備。這一工藝過(guò)程稱之為晶片背面減薄工藝,對(duì)應(yīng)裝備就是晶片減薄機(jī),在減薄過(guò)程中,浙江精密減薄機(jī)設(shè)備,晶圓由于表面中間和邊緣的厚度不一致,在去除其中間厚度的時(shí)候會(huì)因?yàn)槠鋸?qiáng)度不同,導(dǎo)致破裂,吸盤(pán)無(wú)法吸附,直接掉落工作臺(tái),變得碎裂,清理麻煩。橫向減薄機(jī)磨削阻力小、工件不會(huì)破損。浙江精密減薄機(jī)設(shè)備
減薄機(jī)包括機(jī)架、傳送裝置和打磨裝置,其中,傳送裝置包括可隨中心軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤(pán),轉(zhuǎn)盤(pán)上依次設(shè)置有若干個(gè)圍繞中心軸分布的工位,工位用于放置工件;打磨裝置包括磨頭和用于驅(qū)動(dòng)磨頭運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),磨頭包括轉(zhuǎn)軸和與轉(zhuǎn)軸連接的磨盤(pán),驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架上的首先驅(qū)動(dòng)組件、位于首先驅(qū)動(dòng)組件上并可水平運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)組件和位于第二驅(qū)動(dòng)組件上并可上下運(yùn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)組件,轉(zhuǎn)軸與第三驅(qū)動(dòng)組件連接,以在第三驅(qū)動(dòng)組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng);打磨裝置設(shè)置在轉(zhuǎn)盤(pán)的上方,通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán),可使若干個(gè)工位逐一與打磨裝置的打磨位置對(duì)接。上海金屬減薄機(jī)廠家藍(lán)寶石減薄機(jī)絲桿進(jìn)給組件采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動(dòng)方式為伺服驅(qū)動(dòng)。
藍(lán)寶石減薄機(jī),該減薄機(jī)包括磨輪、真空吸附頭,磨輪連接于磨輪主軸上,被磨輪主軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn),磨輪主軸則固定在磨輪控制機(jī)構(gòu)上,并連接于磨輪電機(jī);真空吸附頭連接于真空盤(pán)主軸,真空盤(pán)主軸固定工作臺(tái)上,并連接于真空盤(pán)電機(jī);磨輪、真空吸附頭設(shè)置于工作臺(tái)上,一工作室設(shè)置于工作臺(tái)中部,磨輪、真空吸附頭位置對(duì)應(yīng),且橫向設(shè)置,均位于工作室中。本實(shí)用新型,通過(guò)對(duì)藍(lán)寶石直接進(jìn)行減薄,達(dá)到快速減薄的效果,進(jìn)一步降低藍(lán)寶石貼片的厚度,便于后續(xù)的研磨加工,能夠極大提高藍(lán)寶石的加工效率。
硅片酸洗減薄機(jī)通過(guò)旋轉(zhuǎn)提籃帶動(dòng)硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)減薄,對(duì)于原始硅片有效的控制了單片均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性,提高了極終成品率;旋轉(zhuǎn)提籃的圓柱狀圍籠對(duì)硅片具有盛裝并固定位置的作用,防止由于硅片在圍籠內(nèi)晃動(dòng)導(dǎo)致碎片,安全可靠;由于圓柱狀圍籠底部沿其長(zhǎng)度方向均勻設(shè)有多個(gè)隔棱,則可實(shí)現(xiàn)大量硅片的同時(shí)裝夾,實(shí)現(xiàn)硅片減薄的批量生產(chǎn),明顯提高了工作效率,同時(shí)也方便了對(duì)硅片的夾裝工作,一致性好;伺服電機(jī)可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)提籃在一定周期內(nèi)交替正、反轉(zhuǎn),明顯增強(qiáng)硅片表面的減薄均勻性;減薄機(jī)工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化,應(yīng)用極廣。
除線減薄機(jī)采用了在機(jī)架上左右對(duì)稱加工有弧形槽,大電機(jī)的輸出軸穿過(guò)弧形槽與大刀盤(pán)連接,電機(jī)固定架的外側(cè)設(shè)置有滾輪,滾輪可沿著安裝在機(jī)架上的軌道滑行,從而帶動(dòng)電機(jī)固定架移動(dòng),使得大電機(jī)的輸出軸在弧形槽內(nèi)滑動(dòng),大刀盤(pán)收縮或者伸展,避開(kāi)機(jī)場(chǎng)跑道上設(shè)置的照明燈,大刀盤(pán)和小刀盤(pán)呈品字形排列,這種排列方式使刀盤(pán)的刮擦去除效果更佳,在機(jī)架后部設(shè)置小刀盤(pán),小刀盤(pán)可以彌補(bǔ)刮擦兩個(gè)大刀盤(pán)中間沒(méi)有去除的標(biāo)線。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作靈活、成本低、效率高、不易產(chǎn)生粉塵等優(yōu)點(diǎn),可推廣應(yīng)用到已完成路面標(biāo)線清楚設(shè)備或裝置領(lǐng)域。藍(lán)寶石減薄機(jī)是一款用于加工藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、硅片、石英等晶體材料進(jìn)行研磨和減橫的機(jī)器。浙江精密減薄機(jī)設(shè)備
減薄機(jī)減薄后厚度均勻性需要對(duì)砂輪進(jìn)行修平,校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。浙江精密減薄機(jī)設(shè)備
吸盤(pán)式晶元硅片減薄機(jī)阻隔板在設(shè)備機(jī)箱內(nèi)關(guān)于清洗滾筒對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè),且阻隔板的長(zhǎng)度大于等于安裝板的長(zhǎng)度。導(dǎo)流板為傾斜角度設(shè)計(jì),且導(dǎo)流板的長(zhǎng)度等于阻隔板之間的距離。進(jìn)液管為“L”型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),且進(jìn)液管上等間距設(shè)置有三個(gè)分流管。固定槽為向內(nèi)凹陷的圓形結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),且固定槽和安裝卡塊相互配適,并且固定槽和安裝卡塊相會(huì)對(duì)應(yīng)設(shè)置有兩組。清洗滾筒在定位板上等間距設(shè)置有三組,且清洗滾筒上對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)連接軸。設(shè)備機(jī)箱的右側(cè)下端活動(dòng)安裝有控制閥,控制閥的下端開(kāi)設(shè)有廢液出口。浙江精密減薄機(jī)設(shè)備
坂口電子機(jī)械(上海)有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備,是一家生產(chǎn)型的公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋雙面研磨機(jī),雙面拋光機(jī),單面研磨機(jī),單面拋光機(jī)等,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證。公司從事機(jī)械及行業(yè)設(shè)備多年,有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù),還有一批**的專業(yè)化的隊(duì)伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。上海坂口電子機(jī)械立足于全國(guó)市場(chǎng),依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,融合前沿的技術(shù)理念,飛快響應(yīng)客戶的變化需求。
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