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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海精密減薄機(jī)種類,減薄機(jī)
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硅片酸洗減薄機(jī),包括用于盛裝混酸液體的箱體,其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對(duì)稱設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外周面上的提手組成,圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長(zhǎng)度方向均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱,上海精密減薄機(jī)種類,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座,上海精密減薄機(jī)種類,上海精密減薄機(jī)種類,支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī),伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。立式藍(lán)寶石減薄機(jī)加工直徑在300-500mm的工件。上海精密減薄機(jī)種類
多工位減薄機(jī)限位裝置為螺栓,螺栓與支撐塊之間通過螺紋連接,螺栓的末端正對(duì)擺齒齒輪座的側(cè)面。毛刷組件包括立柱,立柱上設(shè)置有縱向?qū)к?,縱向?qū)к壣习惭b有升降座,升降座上安裝有打磨電機(jī),打磨電機(jī)的輸出軸連接打磨主軸,打磨主軸底部連接磨盤,升降座與升降機(jī)構(gòu)連接。升降機(jī)構(gòu)包括升降電機(jī)、與升降電機(jī)輸出軸連接的首先滾珠絲桿,首先滾珠絲桿上的螺帽與升降座上的支塊固定連接。它還包括基座,基座的上端設(shè)置有橫向?qū)к?,橫向?qū)к壣习惭b有滑塊,立柱固定在滑塊上。浙江小圓管減薄機(jī)種類藍(lán)寶石減薄機(jī)砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格。
除線減薄機(jī)采用了在機(jī)架上左右對(duì)稱加工有弧形槽,大電機(jī)的輸出軸穿過弧形槽與大刀盤連接,電機(jī)固定架的外側(cè)設(shè)置有滾輪,滾輪可沿著安裝在機(jī)架上的軌道滑行,從而帶動(dòng)電機(jī)固定架移動(dòng),使得大電機(jī)的輸出軸在弧形槽內(nèi)滑動(dòng),大刀盤收縮或者伸展,避開機(jī)場(chǎng)跑道上設(shè)置的照明燈,大刀盤和小刀盤呈品字形排列,這種排列方式使刀盤的刮擦去除效果更佳,在機(jī)架后部設(shè)置小刀盤,小刀盤可以彌補(bǔ)刮擦兩個(gè)大刀盤中間沒有去除的標(biāo)線。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作靈活、成本低、效率高、不易產(chǎn)生粉塵等優(yōu)點(diǎn),可推廣應(yīng)用到已完成路面標(biāo)線清楚設(shè)備或裝置領(lǐng)域。
硅片酸洗減薄機(jī)伺服電機(jī)可在支座的帶動(dòng)下斷開與旋轉(zhuǎn)提籃的傳動(dòng)連接,則旋轉(zhuǎn)提籃就能被順利取出箱體,以便于打開圓柱狀圍籠的籠蓋取出減薄后的硅片,操作方便;通過設(shè)于箱體內(nèi)的調(diào)溫用的耐腐蝕循環(huán)水管,實(shí)現(xiàn)酸溫測(cè)量、酸溫控制,避免了酸溫過高造成的浮膠現(xiàn)象,酸溫過低硅片腐蝕速度慢、漂片不均勻,保證了腐蝕反應(yīng)符合設(shè)計(jì)計(jì)算要求的腐蝕效率和均勻性?;瘜W(xué)減薄方式對(duì)于成品芯片壓降等動(dòng)態(tài)參數(shù)的提升起到非常重要的作用,且有效的降低了磷擴(kuò)時(shí)間,達(dá)到節(jié)能的目的。橫向減薄機(jī)為精密磨削設(shè)備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動(dòng)。
在LED芯片的制作流程中,將厚片減薄是關(guān)系到成品極終良率的關(guān)鍵,所謂厚片,是指經(jīng)過前道工序但未經(jīng)過厚度減薄處理的晶圓片。減薄工藝主要是利用自動(dòng)減薄機(jī)將晶圓片的藍(lán)寶石襯底部分減薄。自動(dòng)減薄機(jī)通常包括:工作臺(tái)和砂輪,其中,工作臺(tái)上先放置陶瓷盤,再將厚片通過蠟粘貼在陶瓷盤上,砂輪用于磨削厚片,砂輪與工作臺(tái)反向旋轉(zhuǎn)。為了保證減薄后晶圓片的厚度及粗糙度達(dá)到要求,減薄過程通常分段進(jìn)行,每段設(shè)置不同的工藝參數(shù)以及目標(biāo)厚度,經(jīng)過多段減薄極終達(dá)到工藝要求。在這過程中,對(duì)于晶圓片厚度的檢測(cè),是在每段減薄完成后自動(dòng)減薄機(jī)停下來進(jìn)行測(cè)量的。全自動(dòng)減薄機(jī)有全自動(dòng)上下片,干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削系統(tǒng);上海金屬減薄機(jī)種類
藍(lán)寶石減薄機(jī)吸盤可分為電磁吸盤和真空吸盤,其直徑大小一般為320-600mm。上海精密減薄機(jī)種類
減薄機(jī)的首先驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)置在機(jī)架上的水平導(dǎo)軌和與水平導(dǎo)軌的滑塊固定連接的滑板。首先驅(qū)動(dòng)組件還包括用于驅(qū)動(dòng)滑板移動(dòng)的首先氣缸,首先氣缸的缸體與機(jī)架固定連接,首先氣缸的伸縮桿與滑板固定連接。第二驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)置在滑板上的豎直導(dǎo)軌和與豎直導(dǎo)軌的滑塊固定連接的連接架,磨頭位于連接架下方且與連接架轉(zhuǎn)動(dòng)連接,滑板設(shè)有可供磨頭穿過的孔。第二驅(qū)動(dòng)組件還包括用于驅(qū)動(dòng)連接架上下運(yùn)行的第二氣缸,豎直導(dǎo)軌一端與滑板固定連接,另一端固定有安裝板,第二氣缸的缸體與安裝板固定連接,第二氣缸的伸縮桿與連接架固定連接。第三驅(qū)動(dòng)組件包括安裝在連接架上、用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的首先電機(jī),首先電機(jī)的輸出端和轉(zhuǎn)軸均設(shè)有齒輪且通過同步帶連接。上海精密減薄機(jī)種類
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/1792713.html
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