真空管式爐在使用過程中，應(yīng)該如何確保溫度的均勻？ 　　首先，要確保溫度的均勻之前，我們需要分析一下，馬弗爐發(fā)生溫度均勻性差的原因有哪些？然后再根據(jù)具體的原因來找出解決的措施和預(yù)防的措施。 　　溫度不均勻的原因還是比較多的，例如，功率的分配不合理，電熱元件分布不合理、發(fā)生斷路，馬弗爐的結(jié)構(gòu)不合理或者是密封性不好導(dǎo)致局部的散熱量過大，因此導(dǎo)致箱式馬弗爐的溫度不帶均勻。 　　因此，我們應(yīng)該檢查爐子的密封性，確保密封程度符合要求。然后確保電熱元件沒有發(fā)生斷路并對(duì)爐子的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改良，廣州多溫區(qū)管式爐價(jià)格。針對(duì)功率分配不合理的問題，可以重新計(jì)算并改進(jìn)功率，廣州多溫區(qū)管式爐價(jià)格，廣州多溫區(qū)管式爐價(jià)格，讓功率分配更加合理。真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng)。廣州多溫區(qū)管式爐價(jià)格

多溫區(qū)管式爐使用方法 使用惰性氣體作為工作氣體時(shí) 1. 接通工作氣體氣路，將旋轉(zhuǎn)管式爐氣體出口端連接機(jī)械泵。 2. 打開旋轉(zhuǎn)管式爐進(jìn)氣閥，合上真空泵電源，打開出氣閥（注意把住法蘭，避免爐管受力過大），抽空剛玉管和氣體管路。 3. 當(dāng)旋轉(zhuǎn)管式爐真空表到-0.1（指針到盡頭時(shí)），關(guān)閉出氣閥，關(guān)閉進(jìn)氣閥。 4. 逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕開氣瓶主閥，順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開出口減壓閥，使出口氣壓在0.004MPa（2小格）。 5. 逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開旋轉(zhuǎn)管式爐進(jìn)氣閥；密切注意旋轉(zhuǎn)管式爐氣壓表，確認(rèn)氣壓在0.08MPa以下（如氣壓高于0.08MPa，打開旋轉(zhuǎn)管式爐出氣閥放氣）。 6. 旋轉(zhuǎn)管式爐氣壓表當(dāng)氣壓穩(wěn)定時(shí)，關(guān)閉旋轉(zhuǎn)管式爐進(jìn)氣閥，打開出氣閥，抽真空到-0.1，關(guān)旋轉(zhuǎn)管式爐出氣閥。 7. 重復(fù)4、5步兩次。 8. 關(guān)機(jī)械泵，打開旋轉(zhuǎn)管式爐進(jìn)氣閥。湖南真空管式爐高校實(shí)驗(yàn)室**箱式氣氛爐設(shè)有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。

真空箱式爐操作特別提示： （1）配上真空泵，抽取爐內(nèi)的空氣，較大不超過四格指針刻度，當(dāng)真空表指針下降接近四格時(shí)停頓抽氣，充入隋性氣體，使指針歸0位或稍大于0位，再抽氣，充氣，往復(fù)3-5次，確保爐腔內(nèi)的保護(hù)氣體有一定的濃度； （2） 如無真空泵需氣氛保護(hù)時(shí)，接上進(jìn)氣管，充入惰性氣體，稍稍放開前面的出氣閥，當(dāng)充入氣體大于爐膛容積約1.5倍時(shí)關(guān)閉出氣口閥門，觀測(cè)壓力表大于“0”小于一格； （3）在完成以上內(nèi)容后再在操作面板上設(shè)置好需要溫度程序（升溫速度較高不得超過10℃/min） （4）實(shí)驗(yàn)結(jié)束提取試樣前需確保爐內(nèi)溫爐降在安全范圍內(nèi)，打開氣閥后方可打開爐門。

爐膛內(nèi)結(jié)構(gòu)箱式爐的爐門裝置包括爐門及鎖定保護(hù)裝置，要求爐門裝置應(yīng)該密封良好，減少熱損。爐門一般用鑄鐵或鋼板制成，在爐門開啟裝置上安裝有安全限位開關(guān)，并與加熱控制電源關(guān)聯(lián)，爐門開啟時(shí)切斷控制電源，以便保護(hù)操作者的安全。為了便于觀察爐腔內(nèi)的加熱情況，在爐門**通常設(shè)計(jì)有觀察孔。這樣方便對(duì)箱式爐的工作有個(gè)很好的監(jiān)控。箱式爐采用熱電偶測(cè)量溫度，小型箱式爐用一只熱電偶，大中型箱式爐用多只熱電偶，直接插入爐腔，以便監(jiān)測(cè)爐腔內(nèi)不同點(diǎn)的溫度。通常情況下，溫度小于1000℃是使用鎳鉻-鎳硅（分度號(hào)K）的熱電偶，大于1000℃使用鉑銠10-鉑（分度號(hào)S）的熱電偶。 　箱式爐的爐膛內(nèi)結(jié)構(gòu)就是這幾種部分，在操作時(shí)我們只要了解了他的屬性，然后根據(jù)工藝要求進(jìn)行操作，才能保證箱式電爐在生產(chǎn)工藝中的正常使用。多溫區(qū)管式爐該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

PECVD工作原理是什么？PECVD技術(shù)是在低氣壓下，利用低bai溫等離子體在工藝腔體的陰極du上（即zhi樣品放置的托盤）產(chǎn)生輝光放電，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的工藝氣體，這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，較終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。 在反應(yīng)過程中，反應(yīng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入爐腔，逐漸擴(kuò)散至樣品表面，在射頻源激發(fā)的電場(chǎng)作用下，反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團(tuán)等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物，這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面，生成固態(tài)膜的晶核，晶核逐漸生長(zhǎng)成島狀物，島狀物繼續(xù)生長(zhǎng)成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長(zhǎng)過程中，各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離，在真空泵的作用下從出口排出。箱式氣氛爐可選擇進(jìn)口單設(shè)定點(diǎn)或40段可編程控制器。山西管式爐研究所**

真空箱式爐可設(shè)置多條時(shí)間曲線，曲線總段數(shù)多達(dá)20段。廣州多溫區(qū)管式爐價(jià)格

PECVD管式爐的使用注意事項(xiàng)： 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議選購(gòu)減壓閥，使用時(shí)會(huì)更加安全。 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃。 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生。廣州多溫區(qū)管式爐價(jià)格

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