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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:江蘇磁力減薄機(jī)種類,減薄機(jī)
***更新:2020-11-05 09:23:41
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詳細(xì)說明
減薄機(jī)砂輪與硅片的接觸長度,接觸面積,切入角不變,磨削力恒定,加工狀態(tài)穩(wěn)定,可以避免硅片出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象?,F(xiàn)在直徑200mm以上的大尺寸硅片背面磨削(backgrinding)大都采用基于硅片白旋轉(zhuǎn)磨削原理的超精密磨削技術(shù)。硅片背面磨削的工藝過程:硅片背面磨削一般分為兩步:粗磨和精磨.在粗磨階段,采用粒度46# ~ 500#的金剛石砂輪,軸向進(jìn)給速度為100 ~ 500mm/min,磨削深度較大,般為0.5~11ITf1。目的是迅速去除硅片背面絕大部分的多余材料(加工余量的90%).精磨時,加工余量幾微米直至十幾微米,江蘇磁力減薄機(jī)種類,江蘇磁力減薄機(jī)種類,采用粒度2000# ~4000#的金剛石砂輪,軸向進(jìn)給速度為0,江蘇磁力減薄機(jī)種類.5~10mm/min。藍(lán)寶石減薄機(jī)砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格。江蘇磁力減薄機(jī)種類
硅片酸洗減薄機(jī)通過旋轉(zhuǎn)提籃帶動硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的同時實現(xiàn)減薄,對于原始硅片有效的控制了單片均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性,提高了極終成品率;旋轉(zhuǎn)提籃的圓柱狀圍籠對硅片具有盛裝并固定位置的作用,防止由于硅片在圍籠內(nèi)晃動導(dǎo)致碎片,安全可靠;由于圓柱狀圍籠底部沿其長度方向均勻設(shè)有多個隔棱,則可實現(xiàn)大量硅片的同時裝夾,實現(xiàn)硅片減薄的批量生產(chǎn),明顯提高了工作效率,同時也方便了對硅片的夾裝工作,一致性好;伺服電機(jī)可帶動旋轉(zhuǎn)提籃在一定周期內(nèi)交替正、反轉(zhuǎn),明顯增強硅片表面的減薄均勻性;浙江自動研磨減薄機(jī)全自動減薄機(jī)是配有全自動上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備。
硅片酸洗減薄機(jī)箱體內(nèi)支撐有旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個圓形固定板、橫向連接于兩個圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及提手組成,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面均勻間隔設(shè)置多個隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動連接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī),伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過傳動機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有循環(huán)水管。結(jié)構(gòu)設(shè)計合理、操作方便,實現(xiàn)硅片單面化學(xué)減薄,不僅生產(chǎn)批量大,而且提高了成品率,節(jié)省資源,降低生產(chǎn)成本。
減薄機(jī)是一款操作簡單、功能豐富、性價比高的高精度研削設(shè)備,采用手動裝片方式,配置自動厚度測量和補償系統(tǒng),可自動研削至目標(biāo)值。工作臺可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化,應(yīng)用極廣。具有自動測厚補償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求;PC工控機(jī)系統(tǒng),觸摸屏控制,除手動上、下片外一鍵式自動完成研削加工;可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺,滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝;盡量減少潔凈間的占地面積;半自動雙軸減薄機(jī)是一款安裝兩個砂輪軸的高精度研削設(shè)備,采用手動裝片方式。臥式減薄機(jī)是一款性價比很高的小型高精度研削設(shè)備。
多工位減薄機(jī),多工位打磨提高了生產(chǎn)效率和打磨效果,對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)能夠和工件軸完成自動對接,同時驅(qū)動工件軸自動旋轉(zhuǎn),提高了打磨過程在工位切換的流暢性。它包括公轉(zhuǎn)平臺,公轉(zhuǎn)平臺上包含多個工位,其中包括至少一個材料取放工位和多個打磨工位,每個工位上均設(shè)置有工件軸,每個打磨工位均設(shè)置有毛刷組件以及用于對工件軸進(jìn)行自動對接并驅(qū)動工件軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)。公轉(zhuǎn)平臺包括安裝在機(jī)座上的轉(zhuǎn)盤,轉(zhuǎn)盤與多工位分割器連接,多工位分割器與轉(zhuǎn)盤驅(qū)動電機(jī)連接??筛鶕?jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速。浙江自動研磨減薄機(jī)
減薄機(jī)在減薄后應(yīng)對襯底背光進(jìn)行拋光。江蘇磁力減薄機(jī)種類
晶圓加工減薄機(jī)具有以下優(yōu)點:1.通過吸盤上的氣管設(shè)計,將吸盤上的吸口**分化,當(dāng)受力碎裂,無論晶圓從哪個方向裂開,都能夠被吸附,不會因為失去吸力而掉落在桌面上,二次開裂。2.堵頭設(shè)計,在不使用或者減少氣管時,堵住吸盤的安裝孔,減少空氣粉塵地進(jìn)入造成堵塞。3.利用軟膠墊的設(shè)計,讓軟膠墊在受到晶圓本身的重力的作用下會自動陷落下去,可適應(yīng)不同尺寸厚度的晶圓,不會因為晶圓中間厚兩邊薄而發(fā)生吸附力不夠直接掉落的問題。4.氣管上的海綿圈和支撐架設(shè)計,在晶圓被吸盤的時候,能適應(yīng)不同高度,和晶圓緊密結(jié)合,不會漏氣氣密強,吸附能力好,另外,海綿圈頂端面光滑,無摩擦,避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生線性缺陷。江蘇磁力減薄機(jī)種類
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/1859926.html
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