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設(shè)計(jì)合理、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作靈活、成本低、效率高、不易產(chǎn)生粉塵的機(jī)場(chǎng)跑道中線除線減薄機(jī)。在機(jī)架后端設(shè)置有后輪安裝架和小電機(jī),小電機(jī)固定在電機(jī)罩上,后輪安裝架下部安裝有后輪,小電機(jī)的輸出軸與小刀盤相連接,機(jī)架中部設(shè)置有電機(jī)固定架,電機(jī)固定架上左右對(duì)稱安裝有大電機(jī),江蘇彎管減薄機(jī)公司,江蘇彎管減薄機(jī)公司,大電機(jī)的輸出軸與大刀盤相連接,江蘇彎管減薄機(jī)公司,電機(jī)固定架外側(cè)設(shè)置有沿著安裝在機(jī)架上的軌道滑行的滾輪,電機(jī)固定架的左右兩側(cè)設(shè)置有吊架,機(jī)架的前端設(shè)置有前輪安裝架,前輪安裝架下部安裝有前導(dǎo)向輪,機(jī)架下部設(shè)置有除渣罩,除渣罩內(nèi)安裝有貫穿機(jī)架的真空接管。藍(lán)寶石減薄機(jī)砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速。江蘇彎管減薄機(jī)公司
在LED芯片的制作流程中,將厚片減薄是關(guān)系到成品極終良率的關(guān)鍵,所謂厚片,是指經(jīng)過前道工序但未經(jīng)過厚度減薄處理的晶圓片。減薄工藝主要是利用自動(dòng)減薄機(jī)將晶圓片的藍(lán)寶石襯底部分減薄。自動(dòng)減薄機(jī)通常包括:工作臺(tái)和砂輪,其中,工作臺(tái)上先放置陶瓷盤,再將厚片通過蠟粘貼在陶瓷盤上,砂輪用于磨削厚片,砂輪與工作臺(tái)反向旋轉(zhuǎn)。為了保證減薄后晶圓片的厚度及粗糙度達(dá)到要求,減薄過程通常分段進(jìn)行,每段設(shè)置不同的工藝參數(shù)以及目標(biāo)厚度,經(jīng)過多段減薄極終達(dá)到工藝要求。在這過程中,對(duì)于晶圓片厚度的檢測(cè),是在每段減薄完成后自動(dòng)減薄機(jī)停下來進(jìn)行測(cè)量的。江蘇彎管減薄機(jī)公司臥式藍(lán)寶石減薄機(jī)一般加工直接在200mm以內(nèi)的工件。
晶圓加工減薄機(jī),其可使用自動(dòng)送料匣來供應(yīng)待加工的晶圓,而可構(gòu)成自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備,減少人力的成本,并增加產(chǎn)量,滿足使用上的需求。晶圓加工減薄機(jī),包含一自動(dòng)送料匣、多個(gè)晶圓固定元件與一晶圓加工減薄裝置,其中該自動(dòng)送料匣具有多個(gè)容置槽,該多個(gè)晶圓固定元件存放于該多個(gè)容置槽中,該多個(gè)晶圓固定元件分別具有對(duì)應(yīng)放入該多個(gè)容置槽中的一鐵 環(huán)與固定于該鐵環(huán)下的一膠膜,該膠膜供黏貼一晶圓,該晶圓加工減薄裝置緊鄰該自動(dòng)送 料匣而設(shè)置,以承接該晶圓固定元件,并且該晶圓加工減薄裝置具有提供負(fù)壓的一吸盤,該吸盤吸附該膠膜的未黏貼該晶圓的一側(cè)。
一種測(cè)量裝置和自動(dòng)減薄機(jī),其中,測(cè)量裝置包括:基準(zhǔn)臺(tái)、彈性臂和測(cè)量頭,彈性臂的一端與基準(zhǔn)臺(tái)連接,彈性臂的另一端與測(cè)量頭連接,彈性臂用于按照預(yù)設(shè)頻率帶動(dòng)測(cè)量頭上下移動(dòng),測(cè)量頭上設(shè)置有與測(cè)量頭電連接的顯示屏,測(cè)量頭用于測(cè)量晶圓片的厚度,顯示屏用于顯示測(cè)量數(shù)據(jù)。本實(shí)用新型提供的測(cè)量裝置,通過測(cè)量頭可以在每段自動(dòng)減薄過程中實(shí)時(shí)測(cè)量晶圓片的厚度,而不是*在每段自動(dòng)減薄過程完成后才進(jìn)行晶圓片厚度的測(cè)量,可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)自動(dòng)減薄過程中的問題并及時(shí)處理,極大提高了晶圓片的減薄良率。高速橫向減薄機(jī)非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產(chǎn)品。
多工位減薄機(jī)對(duì)接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、支撐塊、工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)、齒輪軸、擺齒齒輪座、驅(qū)動(dòng)主齒輪和驅(qū)動(dòng)從齒輪,其中,工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在固定座上,齒輪軸與工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接,驅(qū)動(dòng)主齒輪固定在齒輪軸上,擺齒齒輪座安裝在齒輪軸上,且擺齒齒輪座可繞齒輪軸自由擺動(dòng),驅(qū)動(dòng)從齒輪安裝在擺齒齒輪座上且可自由轉(zhuǎn)動(dòng),驅(qū)動(dòng)從齒輪與驅(qū)動(dòng)主齒輪嚙合連接,擺齒齒輪座在遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)從齒輪的一端和支撐塊之間連接有彈簧,支撐塊上安裝有用于對(duì)擺齒齒輪座擺動(dòng)時(shí)位置進(jìn)行限定的限位裝置。藍(lán)寶石減薄機(jī)砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格。江蘇減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
減薄機(jī)進(jìn)行上蠟壓片前檢查上壓盤是否處于水平位置。江蘇彎管減薄機(jī)公司
多工位減薄機(jī)滑塊通過手搖機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)在橫向?qū)к壣系奈恢?,手搖機(jī)構(gòu)包括絲桿和手柄,絲桿與滑塊底部的凸塊之間通過螺紋連接?;瑝K與電動(dòng)機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)在橫向?qū)к壣系奈恢?,電?dòng)機(jī)構(gòu)包括調(diào)節(jié)電機(jī)、與調(diào)節(jié)電機(jī)輸出軸連接的絲桿,絲桿與滑塊底部的凸塊之間通過螺紋連接。多工位減薄機(jī)提高了生產(chǎn)效率和打磨效果,對(duì)接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠和工件軸完成自動(dòng)對(duì)接,同時(shí)驅(qū)動(dòng)工件軸自動(dòng)旋轉(zhuǎn),提高了打磨過程在工位切換的流暢性。磨盤在打磨過程中的上下高度可以通過升降機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)。通過調(diào)節(jié)磨盤的上下位置可以實(shí)現(xiàn)打磨量可調(diào),進(jìn)而提高了打磨效果。江蘇彎管減薄機(jī)公司
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/1879858.html
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