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PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜,黑龍江馬氟爐參考價(jià)格。 利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對(duì)化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,黑龍江馬氟爐參考價(jià)格,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。 反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,黑龍江馬氟爐參考價(jià)格,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。馬弗爐一次使用或長(zhǎng)期停用后再次使用時(shí),必須進(jìn)行烘爐干燥。黑龍江馬氟爐參考價(jià)格
馬弗爐的注意事項(xiàng) 1.使用時(shí)爐門要輕關(guān)輕開,以防損壞機(jī)件。坩堝鉗放取樣品時(shí)要輕拿輕放,以保證安全和避免損壞爐膛。 2.溫度超過600度后不要打開爐門。等爐膛內(nèi)溫度自然冷卻后再打開爐門。 3.實(shí)驗(yàn)完畢后,樣品退出加熱并關(guān)掉電源,在爐膛內(nèi)放取樣品時(shí),應(yīng)先微開爐門,待樣品稍冷卻后再小心夾取樣品,防止?fàn)C傷。 4.加熱后的坩堝宜轉(zhuǎn)移到干燥器中冷卻,放置緩沖耐火材料上,防止吸潮炸,裂,后稱量。 搬運(yùn)馬弗爐時(shí),注意避免嚴(yán)重共振,放置遠(yuǎn)離易燃易爆、水等物品。嚴(yán)禁抬爐門,避免爐門損壞。江門管式爐實(shí)驗(yàn)室**箱式氣氛爐設(shè)有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。
箱式爐的安全操作: 1、清理爐內(nèi)鐵屑,清掃爐底板,以免鐵屑落于電阻絲上造成短路損壞。 2、入箱式爐的工件應(yīng)不超過爐底板.大載荷量,裝卸工件時(shí)應(yīng)確保電源斷開的情況下進(jìn)行。 3、汪意檢查熱電偶安裝位置。熱電偶插入爐內(nèi)后,應(yīng)保證不與工件相碰。 4、根據(jù)工件的圖紙要求,試驗(yàn)箱式爐,確定合理的工藝范圍。按時(shí)升溫,保證出爐操作,經(jīng)常檢查儀表溫度并進(jìn)行校準(zhǔn),防止誤操作。 5、為保證爐溫,不能隨便打開箱式爐爐門,檢查爐內(nèi)情況應(yīng)從爐門孔中觀察。 6、冷卻劑應(yīng)放置于就近方便的位置,減少工件出爐后降溫。 7、出爐時(shí)應(yīng)工位正確,夾持穩(wěn)固,防止熾熱工件傷害人體。 8、箱式爐檢修后,必須按規(guī)定進(jìn)行烘烤,并檢查爐堂及頂部保溫粉是否填滿,接地是否與爐殼緊固。
CVD管式爐使用注意事項(xiàng): 1. 冷爐使用時(shí),由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。 2. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。 3.CVD管式爐使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件 及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。 4. 爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。馬弗爐煤質(zhì)分析用于測(cè)定水分、灰分、揮發(fā)分、灰熔點(diǎn)分析、灰成分分析、元素分析。
立式爐保養(yǎng) 編輯 在鍋爐長(zhǎng)期停用時(shí),應(yīng)十分注意爐體外部的防腐保養(yǎng)問題。首先在鍋爐停爐冷卻后,必須徹底清理受熱面的積灰和爐排上部、爐體下部的灰渣。然后要保持煙道有一定的自然通風(fēng)。一般情況下,為了防潮應(yīng)在爐膛、煙道中放置干燥劑。如以生石灰作為干燥劑,則每立方米爐膛或煙道內(nèi)一般應(yīng)放置3kg左右。放置后應(yīng)嚴(yán)密關(guān)閉所有的通風(fēng)門。生石灰變粉后要更換。如鍋爐房位置低洼,停爐期間地面泛潮嚴(yán)重時(shí),則應(yīng)采用經(jīng)常小火烘烤和放置干燥劑相結(jié)合的辦法。如果鍋爐停爐時(shí)間很長(zhǎng),在徹底清理煙灰后在爐體金屬外表面涂以紅丹油或其它防腐漆。至于爐體內(nèi)部停爐的防腐保養(yǎng)方法,則要按停爐時(shí)間的長(zhǎng)短來(lái)定。一般情況下,停爐不超過一個(gè)月的可用濕法保養(yǎng),一個(gè)月以上的應(yīng)采取干法保養(yǎng)。爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。汕尾立式爐操作規(guī)程
管式爐具有抗干擾能力強(qiáng),控制精度高,沖溫值小的特點(diǎn)。黑龍江馬氟爐參考價(jià)格
箱式爐注意事項(xiàng): 1. 送排氣時(shí),不得在爐門正面操作,以防噴火孔突然噴火傷人 2. 應(yīng)經(jīng)常用火把檢驗(yàn)爐體各部位的泄漏情況 3. 原料氣罐、氣瓶周圍嚴(yán)禁明火,應(yīng)有防火、防爆、防觸電等裝置或滅火器材 4. 管路應(yīng)該用濃肥皂試漏,嚴(yán)禁用火把、丙烷氣在壓力小于200kPa時(shí)使用,丁烷氣壓力在5kPa禁用 零件的清理、檢驗(yàn)、裝夾要求同井式爐滲碳基本相同,但還應(yīng)注意下列幾點(diǎn): 1. 該種爐型滲碳無(wú)中間試棒,用控制爐氣碳勢(shì)和滲碳時(shí)間的長(zhǎng)短來(lái)確定滲碳層深,終檢試樣同零件裝在同一筐夾具中 2. 檢查爐內(nèi)電阻板,輻射管是否開裂變形,是否水平,爐內(nèi)抗?jié)B碳磚的完好情況,磚縫漏氣情況 3. 淬火升降機(jī)構(gòu)升降平穩(wěn)、制動(dòng)可靠,工件進(jìn)出爐軌道暢通 4. 淬火油槽的油加熱系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)正常。油量充足,油中不得有水和碳黑,油循環(huán)定向?qū)О鍛?yīng)將油流向料管 5. 吸熱式氣氛碳勢(shì)(組分體積分?jǐn)?shù))應(yīng)在0.8%以上(**0~-5oC),氮基氣氛中氮?dú)怏w積分?jǐn)?shù)大于98%,用凈化后氮基氣氛中氮?dú)怏w積分?jǐn)?shù)大于99.99%黑龍江馬氟爐參考價(jià)格
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備,是一家生產(chǎn)型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機(jī)等,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證。公司秉持誠(chéng)信為本的經(jīng)營(yíng)理念,在機(jī)械及行業(yè)設(shè)備深耕多年,以技術(shù)為先導(dǎo),以自主產(chǎn)品為重點(diǎn),發(fā)揮人才優(yōu)勢(shì),打造機(jī)械及行業(yè)設(shè)備良好品牌。在社會(huì)各界的鼎力支持下,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造***服務(wù)體驗(yàn),為客戶成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。
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