真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和所選用的真空閥門(mén)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)痛氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。1、真空系統(tǒng)選配2真空閥門(mén)一定要外觀通道光潔通暢，真空管道盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角，要光滑過(guò)渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的真空閥門(mén)的管道，采用圓弧過(guò)渡，使氣路暢通無(wú)阻，但是要考慮清洗清掃的方便性。3、認(rèn)真設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使道路暢通，避免氣路堵塞。4，低真空閥門(mén)，低真空閥門(mén)、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面，低真空閥門(mén)，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。根據(jù)材料有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的真空閥門(mén)。低真空閥門(mén)

真空閥門(mén)的基本特點(diǎn)是具有較高的氣密封（密封可靠）；對(duì)氣流的阻力盡量小（即閥門(mén)的流導(dǎo)盡可能大）；密封部件耐磨性好，能反復(fù)使用、壽命長(zhǎng)；閥體材料及密封件放氣量小；操作靈活，容易清洗安裝，性能可靠、維修方便。此外，對(duì)于超高真空閥門(mén)還要求能耐高溫烘烤（450℃）；對(duì)節(jié)流閥要求能均勻調(diào)節(jié)氣體流量。常用真空閥門(mén)閥體的材料主要有金屬和玻璃。手動(dòng)真空閥門(mén)驅(qū)動(dòng)手輪采用**度塑料材料。玻璃真空活塞又稱(chēng)“考克”，一般用于玻璃真空系統(tǒng)、小型真空裝置、真空計(jì)規(guī)管或校準(zhǔn)系統(tǒng)上。優(yōu)點(diǎn)是制作比較容易、使用方便，易于清洗觀察，化學(xué)穩(wěn)定和絕緣性好，放氣量較小等。成都GUQ型-氣動(dòng)高真空球閥真空閥門(mén)應(yīng)保持清潔并存放在干燥室內(nèi)。

國(guó)內(nèi)真空閥門(mén)發(fā)展：國(guó)內(nèi)真空閥門(mén)生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的真空閥門(mén)有真空電磁閥、真空蝶閥、真空隔膜閥、真空擋板閥、真空球閥、真空微調(diào)閥、真空調(diào)節(jié)閥、超高真空插板閥、超高真空擋板閥共9個(gè)大系列、42個(gè)品種、150多個(gè)規(guī)格的產(chǎn)品，尤其是生產(chǎn)的DN1200大型氣動(dòng)高真空蝶閥，DN900的氣動(dòng)高真空插板閥，具有相當(dāng)高的技術(shù)水平。生產(chǎn)的GDD-J系列手電兩用真空擋板閥，適用于10-5～105Pa的壓力范圍，該系列閥門(mén)公稱(chēng)尺寸為DN150～1200，漏氣速率小于1.3×10-5Pa·L/s。流導(dǎo)1200～70000L/s，啟閉時(shí)間15～60s，此外，閥門(mén)還配置了離合器和開(kāi)關(guān)，具有安全性高、密封可靠、流量大及可實(shí)現(xiàn)手控、電氣自動(dòng)控制。生產(chǎn)的GDD-J型高真空氣動(dòng)擋板閥和GDD-JB型（扁閥）共兩大系列。公稱(chēng)尺寸DN80～1200，漏氣速率小于1.3×10-5Pa·L/s；啟閥時(shí)間小于5～20s，氣源壓力0.4～0.8MPa，普遍用于大、中型高真空系統(tǒng)中。

手動(dòng)高真空擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。高真空擋板閥按軸封結(jié)構(gòu)可分GD-J型橡膠軸封和GD-J(b)型波紋管軸封兩種。按通導(dǎo)形式可分GD-J為角通型式，GD-S為帶預(yù)抽口的三通型式。真空閥門(mén)是真空系統(tǒng)中用以調(diào)節(jié)氣流量、切斷或接通管路的元件。高真空擋板閥以壓縮空氣為動(dòng)力，通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向，執(zhí)行的氣缸驅(qū)動(dòng)擋板閥啟閉運(yùn)動(dòng)，適用于1.3×10-3Pa~1.0×105Pa真空系統(tǒng)中用以開(kāi)啟或隔斷氣流。擋板閥具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，開(kāi)閉時(shí)間短，安全可靠，堅(jiān)固耐用，并且可以自動(dòng)控制等優(yōu)點(diǎn)，被普遍應(yīng)用于電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫(yī)藥、原子能、宇宙探測(cè)等高科技領(lǐng)域。高真空氣動(dòng)擋板閥的氣缸直徑及活塞桿直徑設(shè)計(jì)十分重要，擋板閥在開(kāi)閉時(shí)，若氣缸及活塞桿直徑設(shè)計(jì)不合理則會(huì)導(dǎo)致閥門(mén)產(chǎn)生無(wú)法打開(kāi)、啟閉時(shí)間長(zhǎng)等問(wèn)題。真空閥門(mén)是在真空系統(tǒng)中用來(lái)隔離（切斷）氣流、調(diào)節(jié)氣流流量、分配氣流的真空元件。

氣動(dòng)高真空擋板閥是通過(guò)電磁轉(zhuǎn)向閥依靠壓縮空氣作為閥板啟閉動(dòng)力，在失去電源或壓縮空氣時(shí)，通徑DN80以下的閥門(mén)將依靠彈簧力自動(dòng)關(guān)閉閥門(mén)，DN100以上的閥門(mén)通過(guò)電磁閥組利用單向閥迅速關(guān)閉氣缸原有的氣源壓力達(dá)到自動(dòng)關(guān)閉閥門(mén)。從而達(dá)到真空系統(tǒng)中迅速切斷氣流之功能。真空閥門(mén)的參數(shù)定義：公稱(chēng)通徑：(nominal diameter)，又稱(chēng)平均外徑(mean outside diameter)，表示符號(hào)DN，就是各種管子與管路附件的通用口徑。同一公稱(chēng)直徑的管子與管路附件均能相互連接，具有互換性.為了使真空閥門(mén)在發(fā)作故障或修理的狀況下使生產(chǎn)過(guò)程能繼續(xù)進(jìn)行，調(diào)節(jié)閥應(yīng)加旁通管路。山東GUQ型-氣動(dòng)高真空球閥

真空閥門(mén)關(guān)閉件是用像眼腈或氟膠密封圈和金屬密封圈來(lái)密封的。低真空閥門(mén)

真空閥門(mén)裝置過(guò)程中應(yīng)留意問(wèn)題：(1)監(jiān)管組織裝置前,仔細(xì)去除塵埃的堆積閥在存儲(chǔ)期間,在裝置過(guò)程中要保持清潔。由于塵埃雜質(zhì)會(huì)使閥座和損壞內(nèi)部部件。為了維護(hù)清潔,經(jīng)常不能翻開(kāi)法蘭端板焊接。(2)裝置調(diào)理器時(shí),閥體上的箭頭應(yīng)與介質(zhì)流向一致。(3)監(jiān)管組織是一個(gè)精密組件,假如他們是壓力管道的變形,將打破這個(gè)壞的正常工作。因此,法蘭和管道裝置應(yīng)筆直和位置準(zhǔn)確,以防止管道的變形。井和管道到恰當(dāng)?shù)闹С?以防止它在曲折變形效果下閥門(mén)的分量。(4)監(jiān)管組織和管道焊接時(shí)特別小心。假如沒(méi)有足夠的留意力在調(diào)理閥和管道焊接,未能消除壓力,會(huì)發(fā)生變形。焊接時(shí),嚴(yán)厲防止焊渣飛濺到閥,或許損害閥門(mén)存在焊渣,假如直接在閥芯濺濺,光直接影響調(diào)理閥的效果,或損壞閥芯和閥座。(5)管道在試壓和吹,監(jiān)管組織應(yīng)該被刪除,與相應(yīng)的直管銜接,防止焊渣,鐵芯片雜物卡在閥芯和閥座之間。把閥門(mén)開(kāi)度法蘭使用塑料布繃帶牢牢地完畢。低真空閥門(mén)

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