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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:安徽PECVD管式爐廠家**,爐
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詳細(xì)說明
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜。 利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,安徽PECVD管式爐廠家**,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。 反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,安徽PECVD管式爐廠家**,安徽PECVD管式爐廠家**,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng)。安徽PECVD管式爐廠家**
馬弗爐注意事項(xiàng) 1、當(dāng)馬弗爐一次使用或長期停用后再次使用時(shí),必須進(jìn)行烘爐。烘爐的時(shí)間應(yīng)為室溫至200℃四小時(shí),200℃至600℃四小時(shí)。使用時(shí),爐溫較高不得超過額定溫度,以免燒毀電熱元件。禁止向爐內(nèi)灌注各種液體及易溶解的金屬,馬弗爐較好在低于較高溫度50℃以下工作,此時(shí)爐絲有較長的壽命。 2、馬弗爐和控制器必須在相對濕度不超過85%、沒有導(dǎo)電塵埃、性氣體或腐蝕性氣體的場所工作。凡附有油脂之類的金屬材料需進(jìn)行加熱時(shí),有大量揮發(fā)性氣體將影響和腐蝕電熱元件表面,使之銷毀和縮短壽命。因此,加熱時(shí)應(yīng)及時(shí)預(yù)防和做好密封容器或適當(dāng)開孔加以排除。 3、馬弗爐控制器應(yīng)限于在環(huán)境溫度0-40℃范圍內(nèi)使用。 4、根據(jù)技術(shù)要求,定期經(jīng)常檢查電爐、控制器的各接線的連線是否良好,指示儀指針運(yùn)動時(shí)有無卡住滯留現(xiàn)象,并用電位差計(jì)校對儀表因磁鋼、退磁、漲絲、彈片的疲勞、平衡破壞等引起的誤差增大情況。 5、熱電偶不要在高溫時(shí)驟然拔出,以防外套炸裂。 6、經(jīng)常保持爐膛清潔,及時(shí)清理爐內(nèi)氧化物之類東西。河南多溫區(qū)管式爐參考價(jià)爐子初次使用或長時(shí)間不用后,要在 120℃左右烘烤 1 小時(shí),在 300℃左右烘烤 2 小時(shí)后使用。
CVD管式爐使用注意事項(xiàng): 1. 冷爐使用時(shí),由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。 2. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。 3.CVD管式爐使用或長時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件 及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。 4. 爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。
立式爐是真空爐的一種,是在在真空環(huán)境中加熱的一種設(shè)備.爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可使用硅碳棒,硅鉬棒等發(fā)熱元件.一般主要用在陶瓷燒結(jié),金屬耐火材料冶煉,退火爐膛真空度可達(dá)133×(10-2~10-4)h,該立式爐升溫快、高節(jié)能、高精度、高穩(wěn)定性、保溫性能好。 立式爐結(jié)構(gòu) 立式真空爐一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成,可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。 真空燒結(jié)退火爐是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和磁性材料燒結(jié)、退火工序中的重要設(shè)備。還適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫(yī)療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護(hù)氣氛控制下進(jìn)行連續(xù)光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。爐子的爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。
真空管式爐或長久不用后再次使用的注意事項(xiàng)與方法1、當(dāng)一次使用或長期停用后再次使用時(shí),必須進(jìn)行烘爐。烘爐的時(shí)間應(yīng)為室溫200℃四小時(shí)。200℃至600℃四小時(shí)。使用時(shí),爐溫zui高不得超過額定溫度,以免燒毀電熱元件。禁止向爐內(nèi)灌注各種液體及易溶解的金屬,在低于zui高溫度50℃以下工作,此時(shí)爐絲有較長的壽命。 2、控制器必須在相對濕度不超過85%、沒有導(dǎo)電塵埃、性氣體或腐蝕性氣體的場所工作。凡附有油脂之類的金屬材料需進(jìn)行加熱時(shí),有大量揮發(fā)性氣體將影響和腐蝕電熱元件表面,使之銷毀和縮短壽命。因此,加熱時(shí)應(yīng)及時(shí)預(yù)防和做好密封容器或適當(dāng)開孔加以排除。 3、控制器應(yīng)限于在環(huán)境溫度0-40℃范圍內(nèi)使用。 4、根據(jù)技術(shù)要求,定期經(jīng)常檢查電爐、控制器的各接線的連線是否良好,指示儀指針運(yùn)動時(shí)有無卡住滯留現(xiàn)象,并用電位差計(jì)校對儀表因磁鋼、退磁、漲絲、彈片的疲勞、平衡破壞等引起的誤差增大情況。 5、熱電偶不要在高溫時(shí)驟然拔出,以防外套炸裂。 6、經(jīng)常保持爐膛清潔,及時(shí)清理爐內(nèi)氧化物之類東西。高溫爐的注意事項(xiàng)除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在高溫爐管區(qū)。廣東真空箱式爐參考價(jià)格
真空箱式爐可設(shè)置多條時(shí)間曲線,曲線總段數(shù)多達(dá)20段。安徽PECVD管式爐廠家**
箱式氣氛爐操作 注意:電爐操作工應(yīng)具備國家相應(yīng)電氣設(shè)備操作資格,并熟讀本電爐隨機(jī)儀表說明書等技術(shù)文件! 1、溫度系統(tǒng)操作: 請仔細(xì)閱讀溫控儀操作說明書,并嚴(yán)格按照說明書進(jìn)行操作。 用戶開關(guān)板給箱式爐送電,此時(shí)程序表得電,按溫度儀表說明書設(shè)定儀表(如p、i、d參數(shù)),按工藝要求編制加熱程序,旋轉(zhuǎn)加熱啟動按扭,逐漸順時(shí)針旋轉(zhuǎn)電流調(diào)節(jié)電位器,使加熱功率到達(dá)15kw。加熱功率可按下式計(jì)算: 加熱功率=儀表電壓×儀表電流×3 新硅碳棒使用時(shí),加熱電流約為:27a,加熱電壓約為:184v,硅碳棒使用一段時(shí)間后,加熱電流將下降,而電壓將上升。 加熱停止:程序溫度結(jié)束后,加熱結(jié)束。將停止按扭旋至關(guān)位。分?jǐn)嘤脩糸_關(guān)。 注意: 如果溫度控制系統(tǒng)及顯示系統(tǒng)共用一只熱電偶,應(yīng)檢查儀表輸入端子并聯(lián)時(shí)引起溫度顯示數(shù)值變化,并進(jìn)行修正。 設(shè)定溫度不得高于電爐參數(shù)溫度。 電爐工作時(shí),不得打開爐門。取產(chǎn)品時(shí),應(yīng)等到爐溫150℃以下時(shí)安徽PECVD管式爐廠家**
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司位于平湖街道水門路104號2棟301室,交通便利,環(huán)境優(yōu)美,是一家生產(chǎn)型企業(yè)。是一家有限責(zé)任公司企業(yè),隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進(jìn),追求新型,在強(qiáng)化內(nèi)部管理,完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時(shí),良好的質(zhì)量、合理的價(jià)格、完善的服務(wù),在業(yè)界受到寬泛好評。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn);以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo),提供***的鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機(jī)。迪斯普設(shè)備自成立以來,一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認(rèn)可與大力支持。
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2000706.html
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