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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:江蘇CVD管式爐用途,爐
***更新:2020-11-16 04:22:12
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詳細(xì)說明
爐膛內(nèi)結(jié)構(gòu)箱式爐的爐門裝置包括爐門及鎖定保護(hù)裝置,要求爐門裝置應(yīng)該密封良好,減少熱損。爐門一般用鑄鐵或鋼板制成,在爐門開啟裝置上安裝有安全限位開關(guān),并與加熱控制電源關(guān)聯(lián),爐門開啟時切斷控制電源,以便保護(hù)操作者的安全。為了便于觀察爐腔內(nèi)的加熱情況,在爐門**通常設(shè)計(jì)有觀察孔。這樣方便對箱式爐的工作有個很好的監(jiān)控。箱式爐采用熱電偶測量溫度,小型箱式爐用一只熱電偶,大中型箱式爐用多只熱電偶,直接插入爐腔,以便監(jiān)測爐腔內(nèi)不同點(diǎn)的溫度。通常情況下,溫度小于1000℃是使用鎳鉻-鎳硅(分度號K)的熱電偶,江蘇CVD管式爐用途,大于1000℃使用鉑銠10-鉑(分度號S)的熱電偶。 箱式爐的爐膛內(nèi)結(jié)構(gòu)就是這幾種部分,在操作時我們只要了解了他的屬性,江蘇CVD管式爐用途,江蘇CVD管式爐用途,然后根據(jù)工藝要求進(jìn)行操作,才能保證箱式電爐在生產(chǎn)工藝中的正常使用。PECVD管式爐對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。江蘇CVD管式爐用途
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN 淀積在硅片表面形成減反射膜。 利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。 反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。浙江立式爐高校實(shí)驗(yàn)室**真空管式爐主要運(yùn)用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負(fù)極材料,新能源,磨具等行業(yè)。
真空高溫箱式爐的操作規(guī)程真空高溫箱式爐操作規(guī)程: 1.使用時切勿超過電阻爐的高溫度。 2.裝取試樣時一定要切斷電源,以防觸電。 3.裝取試樣時爐門開啟時間應(yīng)盡量短,以延長電爐使用壽命。 4.禁止向爐膛內(nèi)灌注任何液體。 5.不得將沾有水和油的試樣放入爐膛;不得用沾有水和油的夾子裝取試樣。 6.裝取試樣時要戴**手套,以防燙傷。 7.試樣應(yīng)放在爐膛中間,整齊放好,切勿亂放。 8.不得隨便觸摸電爐及周圍的試樣。 9.使用完畢后應(yīng)切斷電源、水源。 10.未經(jīng)管理人員許可,不得操作電阻爐,嚴(yán)格按照設(shè)備的操作規(guī)程進(jìn)行操作。
當(dāng)馬弗爐一次使用或長期停用后再次使用時,必須進(jìn)行烘爐干燥:在20~200℃打開爐門烘2-3h,200~600℃關(guān)門烘2-3h。 實(shí)驗(yàn)前,溫控器應(yīng)避免震動,放置位置與電爐不宜太近,防止過熱使電子元件不能正常工作。搬動溫控器時應(yīng)將電源開關(guān)置“關(guān)”。 使用前,將溫控器調(diào)至所需工作溫度,打開啟動編碼使馬弗爐通電,此時電流表有讀數(shù)產(chǎn)生,溫控表實(shí)測溫度值逐漸上升,表示馬弗爐、溫控器均在正常工作。 (一)工作環(huán)境要求無易燃易爆物品和腐蝕性氣體,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及熔解金屬,經(jīng)常保持爐膛內(nèi)的清潔。 (二)使用時爐膛溫度不得超過較高爐溫,也不得在額定溫度下長時間工作。實(shí)驗(yàn)過程中,使用人不得離開,隨時注意溫度的變化,如發(fā)現(xiàn)異常情況,應(yīng)立即斷電,并由專業(yè)維修人員檢修。爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。
電爐使用時應(yīng)注意以下哪些問題1、應(yīng)編制使用維護(hù)操作規(guī)程,建立運(yùn)行記錄和修理檔案,統(tǒng)計(jì)運(yùn)行累積工作時間,加強(qiáng)日常維護(hù),掌握設(shè)備技術(shù)狀態(tài)變化趨勢,及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭,避免屬于事故搶修性質(zhì)的熱修,并根據(jù)爐子負(fù)荷和工作狀況,提前有針對性地準(zhǔn)備修理用料,編制修理工藝。 2、在磚砌爐修好后的使用初期要經(jīng)常進(jìn)行檢查,檢查使用后的爐表溫度和爐子溫度是否過高、加熱體是否存在過熱燒斷、溫度不均或發(fā)白等現(xiàn)象。對于三相高溫電爐,以及電阻爐容量超過100kW時,每相、每一個加熱區(qū)都應(yīng)安裝有電流表,發(fā)現(xiàn)爐溫與儀表指示不正常,及時分析處理。 3、不能超負(fù)荷使用沒備,合金元件的較高使用溫度是指元件在干燥空氣中允許的本身表面溫度,并不是指加熱物質(zhì)的溫度或電熱元件周圍的溫度。要注意電熱元件本身的溫度一股比它周圍的介質(zhì)溫度或被加熱溫度高100℃。 4、要避免熱處刪產(chǎn)品,尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與電加熱元件接觸,無論是細(xì)粉、熔液或蒸汽等,防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”,截面變小,較后過熱而燒斷。真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng)。甘肅真空箱式爐參考價
真空管式爐熱電偶不要在高溫時驟然拔出,以防外套炸裂。江蘇CVD管式爐用途
馬弗爐安裝使用 1、打開包裝后,檢查馬弗爐是否完整無損,配件是否齊全。一般的馬弗爐不需要特殊安裝,只需平放在室內(nèi)平整的地面或擱架上??刂破鲬?yīng)避免震動,放置位置與電爐不宜太近,防止因過熱而造成內(nèi)部元件不能正常工作。 2、有熱電偶插入爐膛20-50mm,孔與熱電偶之間空隙用石棉繩填塞。連接熱電偶至控制較好用補(bǔ)償導(dǎo)線(或用絕緣鋼芯線),注意正負(fù)極,不要接反。 3、在電源線引入處需要另外安裝電源開關(guān),以便控制總電源。為了保證安全操作,電爐與控制器必須可靠接地。 4.經(jīng)檢查接線確認(rèn)無誤后,蓋上控制器外殼。將溫度指示儀的設(shè)定指針調(diào)整至所需要的工作溫度,然后接通電源。打開電源開關(guān),此時溫度指示儀表上的綠燈既亮,繼電器開始工作,電爐通電,電流表即有電流顯示。隨著電爐內(nèi)部溫度的升高,溫度指示儀表指針也逐漸上升,此現(xiàn)象表明系統(tǒng)工作正常。電爐的升溫、定溫分別以溫度指示儀的紅綠燈指示,綠燈表示升溫,紅燈表示定溫。江蘇CVD管式爐用途
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司是一家生產(chǎn)型類企業(yè),積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。迪斯普設(shè)備是一家有限責(zé)任公司企業(yè),一直“以人為本,服務(wù)于社會”的經(jīng)營理念;“誠守信譽(yù),持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司業(yè)務(wù)涵蓋鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機(jī),價格合理,品質(zhì)有保證,深受廣大客戶的歡迎。迪斯普設(shè)備順應(yīng)時代發(fā)展和市場需求,通過**技術(shù),力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機(jī)。
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2009347.html
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