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晶圓加工減薄機(jī)吸盤由網(wǎng)板、安裝孔構(gòu)成,網(wǎng)板為圓形結(jié)構(gòu),網(wǎng)板上兩個(gè)以上的網(wǎng)孔即為安裝孔,安裝孔和氣管活動(dòng)配合。網(wǎng)板的網(wǎng)孔呈均勻等距分布,浙江全自動(dòng)減薄機(jī)多少錢一臺(tái),分布均勻。吸盤上還設(shè)有軟膠墊,軟膠墊和網(wǎng)板活動(dòng)嵌合,軟膠墊形狀與網(wǎng)板等同,軟膠墊厚度低于網(wǎng)板厚度。氣管由海綿圈、底管,浙江全自動(dòng)減薄機(jī)多少錢一臺(tái),浙江全自動(dòng)減薄機(jī)多少錢一臺(tái)、支撐架組成,底管一端銜接有一個(gè)海綿圈,海綿圈正中間嵌有支撐架,底管和通氣腔活動(dòng)配合,海綿圈頂端面光滑。支撐架由圈狀的彈線圈和經(jīng)線垂直交叉形成的圈筒,彈線圈和經(jīng)線材料本身具有一定地彈性。橫向減薄機(jī)減薄效率高,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。浙江全自動(dòng)減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
硅片自旋轉(zhuǎn)減薄機(jī)的特點(diǎn):(1)可實(shí)現(xiàn)延性域磨削.在加工脆性材料時(shí),,當(dāng)磨削深度小于某--臨界值時(shí),可以實(shí)現(xiàn)延性域磨削通過(guò)大量試驗(yàn)表明,Si材料的脆性、塑性轉(zhuǎn)換臨界值約為0.06m.進(jìn)給速度廠控制在10~m/min,承片臺(tái)轉(zhuǎn)速取200r/min,則每轉(zhuǎn)切割深度可達(dá)到0.05m.對(duì)于自旋轉(zhuǎn)磨削由公式可知,對(duì)給定的軸向進(jìn)給速度,如果,工作臺(tái)的轉(zhuǎn)速足夠高,就可以實(shí)現(xiàn)極微小磨削深度。(2)可實(shí)現(xiàn)高效磨削.由公式可知,通過(guò)同時(shí)提高硅片轉(zhuǎn)速和砂輪軸向進(jìn)給速度,可以在保持與普通磨削同樣的磨削深度情況下,達(dá)到較高的材料去除率,適用于大余量磨削。浙江全自動(dòng)減薄機(jī)多少錢一臺(tái)可根據(jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速。
隨著硅片直徑的增大,對(duì)硅片背面減薄的要求越來(lái)越高,但是旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)磨削技術(shù)具有一定的局限性.1984年S.Matsui提出了硅片自旋轉(zhuǎn)磨削(waferrotatingginding)法,并開(kāi)始逐漸取代旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)磨削。硅片自旋轉(zhuǎn)磨削法采用略大于硅片的工件轉(zhuǎn)臺(tái)硅片通過(guò)真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺(tái)的中心,杯形金剛石砂輪工作面的內(nèi)外圓周中線調(diào)整到硅片的中心位置,硅片和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn),進(jìn)行切入磨削.磨削深度t與砂輪軸向進(jìn)給速度f(wàn),硅片轉(zhuǎn)速凡的關(guān)系為:tw=HtZ。主要是消除粗磨時(shí)形成的損傷層,達(dá)到所要求的厚度,在精磨階段,材料以延性域模式去除,硅片表面損傷明顯減小。
減薄機(jī)研磨墊圖形大體的功能先是研磨墊之孔隙度可以協(xié)助研磨液于研磨過(guò)程輸送到不同的一些區(qū)域。還有另外的功能是協(xié)助將芯片表面的研磨產(chǎn)物移去。研磨墊的機(jī)械性質(zhì)影響到薄膜表面的平坦度以及均勻度,所以控制結(jié)構(gòu)及機(jī)械性質(zhì)是非常重要的。 我們通過(guò)減薄研磨的方式對(duì)晶片襯底進(jìn)行減薄,從而改善芯片散熱效果,但是由于減薄后的襯底背后還存在表面損害層,殘余應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致減薄后的外延片彎曲且容易在后續(xù)工序中碎裂,從而影響成品率。因此在減薄后應(yīng)對(duì)襯底背光進(jìn)行拋光。減薄機(jī)盡量減少潔凈間的占地面積;
在LED芯片的制作流程中,將厚片減薄是關(guān)系到成品極終良率的關(guān)鍵,所謂厚片,是指經(jīng)過(guò)前道工序但未經(jīng)過(guò)厚度減薄處理的晶圓片。減薄工藝主要是利用自動(dòng)減薄機(jī)將晶圓片的藍(lán)寶石襯底部分減薄。自動(dòng)減薄機(jī)通常包括:工作臺(tái)和砂輪,其中,工作臺(tái)上先放置陶瓷盤,再將厚片通過(guò)蠟粘貼在陶瓷盤上,砂輪用于磨削厚片,砂輪與工作臺(tái)反向旋轉(zhuǎn)。為了保證減薄后晶圓片的厚度及粗糙度達(dá)到要求,減薄過(guò)程通常分段進(jìn)行,每段設(shè)置不同的工藝參數(shù)以及目標(biāo)厚度,經(jīng)過(guò)多段減薄極終達(dá)到工藝要求。在這過(guò)程中,對(duì)于晶圓片厚度的檢測(cè),是在每段減薄完成后自動(dòng)減薄機(jī)停下來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)配置采用手動(dòng)裝片方式,自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)。浙江鐵管減薄機(jī)公司
減薄機(jī)研磨墊圖形大體的功能是研磨墊之孔隙度可以協(xié)助研磨液于研磨過(guò)程輸送到不同的一些區(qū)域。浙江全自動(dòng)減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
液晶玻璃減薄機(jī)利用直角梯形支座斜面上的夾具夾緊液晶玻璃,將液晶玻璃傾斜放置,以倒U形支架上的兩個(gè)立板上的出液管道,出液管道在導(dǎo)流板的作用下,分別向液晶玻璃上瀑布式的噴灑刻蝕液以及清洗液,而夾具以及直角梯形支座在首先滑塊與滑軌的滑動(dòng)作用下,在操作臺(tái)的頂部,以及倒U形支架的底部,自由的切換工位,以適應(yīng)于向液晶玻璃上噴灑刻蝕液以及清洗液,而且噴灑后的刻蝕廢液以及清洗廢液可以分類收集于集液槽中,以瀑布流式對(duì)液晶玻璃進(jìn)行刻蝕,廢液少,玻璃減薄表面光滑,不用拋光,而且玻璃刻蝕減薄后可以直接進(jìn)行清洗操作,免去要刻蝕后取下液晶玻璃轉(zhuǎn)移工位的繁瑣步驟。浙江全自動(dòng)減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
文章來(lái)源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2074341.html
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