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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái),減薄機(jī)
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酸洗減薄機(jī)一般是直接將單晶硅片放進(jìn)清洗設(shè)備的內(nèi)部,通過直接對(duì)設(shè)備內(nèi)部加注進(jìn)行輔助加工的酸性溶液進(jìn)行工作,但是直接的擺放硅片可能會(huì)在進(jìn)行加工的過程中對(duì)其造成損傷,并且飛濺的碎屑也會(huì)對(duì)其他的硅片造成損傷,無法保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量和加工效率,浪費(fèi)資源增加了運(yùn)營成本的問題,浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái),浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái)。吸盤式晶元硅片減薄機(jī)清洗滾筒的外側(cè)固定連接有連接軸,清洗滾筒的表面活動(dòng)安裝有密封門,清洗滾筒內(nèi)固定安裝有固定桿,固定桿之間活動(dòng)安裝有安裝吸盤,安裝吸盤上預(yù)留有吸氣孔,浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái),安裝吸盤的外側(cè)活動(dòng)安裝有密封圈,設(shè)備機(jī)箱的內(nèi)側(cè)下端固定安裝有導(dǎo)流板,導(dǎo)流板的兩側(cè)活動(dòng)安裝有安裝板,安裝板遠(yuǎn)離清洗滾筒的一側(cè)固定安裝有阻隔板,設(shè)備機(jī)箱的右側(cè)下端活動(dòng)安裝有控制閥,控制閥的下端開設(shè)有廢液出口。半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)產(chǎn)品粗磨后移動(dòng)至精磨位置,自動(dòng)研削至目標(biāo)值。浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
硅片酸洗減薄機(jī)通過旋轉(zhuǎn)提籃帶動(dòng)硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)減薄,對(duì)于原始硅片有效的控制了單片均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性,提高了極終成品率;旋轉(zhuǎn)提籃的圓柱狀圍籠對(duì)硅片具有盛裝并固定位置的作用,防止由于硅片在圍籠內(nèi)晃動(dòng)導(dǎo)致碎片,安全可靠;由于圓柱狀圍籠底部沿其長度方向均勻設(shè)有多個(gè)隔棱,則可實(shí)現(xiàn)大量硅片的同時(shí)裝夾,實(shí)現(xiàn)硅片減薄的批量生產(chǎn),明顯提高了工作效率,同時(shí)也方便了對(duì)硅片的夾裝工作,一致性好;伺服電機(jī)可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)提籃在一定周期內(nèi)交替正、反轉(zhuǎn),明顯增強(qiáng)硅片表面的減薄均勻性;浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái)臥式藍(lán)寶石減薄機(jī)一般加工直接在200mm以內(nèi)的工件。
硅片酸洗減薄機(jī),包括用于盛裝混酸液體的箱體,其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對(duì)稱設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外周面上的提手組成,圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長度方向均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座,支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī),伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。
減薄機(jī)的首先驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)置在機(jī)架上的水平導(dǎo)軌和與水平導(dǎo)軌的滑塊固定連接的滑板。首先驅(qū)動(dòng)組件還包括用于驅(qū)動(dòng)滑板移動(dòng)的首先氣缸,首先氣缸的缸體與機(jī)架固定連接,首先氣缸的伸縮桿與滑板固定連接。第二驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)置在滑板上的豎直導(dǎo)軌和與豎直導(dǎo)軌的滑塊固定連接的連接架,磨頭位于連接架下方且與連接架轉(zhuǎn)動(dòng)連接,滑板設(shè)有可供磨頭穿過的孔。第二驅(qū)動(dòng)組件還包括用于驅(qū)動(dòng)連接架上下運(yùn)行的第二氣缸,豎直導(dǎo)軌一端與滑板固定連接,另一端固定有安裝板,第二氣缸的缸體與安裝板固定連接,第二氣缸的伸縮桿與連接架固定連接。第三驅(qū)動(dòng)組件包括安裝在連接架上、用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的首先電機(jī),首先電機(jī)的輸出端和轉(zhuǎn)軸均設(shè)有齒輪且通過同步帶連接。減薄機(jī)具有自動(dòng)測(cè)厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求;
晶圓加工減薄機(jī),其結(jié)構(gòu)包括遮蓋、研磨頭、開合器、吸盤結(jié)構(gòu)、機(jī)體、控制面板,機(jī)體前端面上設(shè)有控制面板,機(jī)體頂端一側(cè)活動(dòng)安裝有遮蓋,遮蓋和機(jī)體之間開安裝有開合器,遮蓋內(nèi)壁正中間安裝有研磨頭,和研磨頭相對(duì)應(yīng)的機(jī)體頂端面上安裝有吸盤結(jié)構(gòu),吸盤結(jié)構(gòu)和研磨頭相互配合。吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)有輸氣器、吸盤、氣管,吸盤位于輸氣器正上方,輸氣器和吸盤活動(dòng)卡合,吸盤上設(shè)有兩個(gè)以上的氣管,氣管和吸盤活動(dòng)卡合。吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)有堵頭,堵頭和吸盤活動(dòng)配合。輸氣器由抽氣管、底盤、通氣腔組成,底盤內(nèi)部設(shè)有通氣腔,通氣腔另一端貫穿底盤另一端,底盤另一端正中間設(shè)有抽氣管,抽氣管和底盤互相垂直,抽氣管和通氣腔貫通,通氣腔靠近抽氣管的那端比另一端要窄。藍(lán)寶石減薄機(jī)由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動(dòng)組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
橫向減薄機(jī)磨削阻力小、工件不會(huì)破損。浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
一種測(cè)量裝置和自動(dòng)減薄機(jī),其中,測(cè)量裝置包括:基準(zhǔn)臺(tái)、彈性臂和測(cè)量頭,彈性臂的一端與基準(zhǔn)臺(tái)連接,彈性臂的另一端與測(cè)量頭連接,彈性臂用于按照預(yù)設(shè)頻率帶動(dòng)測(cè)量頭上下移動(dòng),測(cè)量頭上設(shè)置有與測(cè)量頭電連接的顯示屏,測(cè)量頭用于測(cè)量晶圓片的厚度,顯示屏用于顯示測(cè)量數(shù)據(jù)。本實(shí)用新型提供的測(cè)量裝置,通過測(cè)量頭可以在每段自動(dòng)減薄過程中實(shí)時(shí)測(cè)量晶圓片的厚度,而不是*在每段自動(dòng)減薄過程完成后才進(jìn)行晶圓片厚度的測(cè)量,可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)自動(dòng)減薄過程中的問題并及時(shí)處理,極大提高了晶圓片的減薄良率。浙江膠囊減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2090534.html
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