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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià),減薄機(jī)
***更新:2020-11-24 00:26:15
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當(dāng)前位置:首頁?產(chǎn)品供應(yīng)?機(jī)械及行業(yè)設(shè)備?光學(xué)加工機(jī)械?浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià) 誠信為本 坂口電子機(jī)械供應(yīng)
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集成電路制造工藝的發(fā)展對硅片等材料質(zhì)量要求越來越嚴(yán)格,材料表面的波紋度及厚度只能通過減薄工藝來實(shí)現(xiàn),因此減薄機(jī)成為必不可少的**設(shè)備,浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià),減薄機(jī)主要由工件吸盤、吸盤主軸及驅(qū)動器組件、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿導(dǎo)軌進(jìn)給組件及其他輔助配件構(gòu)成。目前市場現(xiàn)有吸盤可以分為電磁吸盤和真空吸盤,浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià),吸盤的大小根據(jù)需求定制。電磁吸盤利用磁通的連續(xù)性原理和磁場疊加原理設(shè)計(jì)。真空原理是由負(fù)氣壓變成零氣壓或正氣壓從而提升吸附產(chǎn)物的原理設(shè)計(jì),浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià)。橫向減薄機(jī)采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià)
立式減薄機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動方式是伺服驅(qū)動,可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速,也就是砂輪的進(jìn)刀速度,速度0.001-5mm/min可調(diào),控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測。采用先進(jìn)的中國臺灣品牌PLC和觸摸屏,自動化程度高,實(shí)現(xiàn)人機(jī)對話,操作簡單一目了然。設(shè)備可檢測磨削扭力、自動調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損,自動補(bǔ)償砂輪磨損厚度尺寸,可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià)藍(lán)寶石減薄機(jī)吸盤可分為電磁吸盤和真空吸盤,其直徑大小一般為320-600mm。
硅片酸洗減薄機(jī)伺服電機(jī)可在支座的帶動下斷開與旋轉(zhuǎn)提籃的傳動連接,則旋轉(zhuǎn)提籃就能被順利取出箱體,以便于打開圓柱狀圍籠的籠蓋取出減薄后的硅片,操作方便;通過設(shè)于箱體內(nèi)的調(diào)溫用的耐腐蝕循環(huán)水管,實(shí)現(xiàn)酸溫測量、酸溫控制,避免了酸溫過高造成的浮膠現(xiàn)象,酸溫過低硅片腐蝕速度慢、漂片不均勻,保證了腐蝕反應(yīng)符合設(shè)計(jì)計(jì)算要求的腐蝕效率和均勻性?;瘜W(xué)減薄方式對于成品芯片壓降等動態(tài)參數(shù)的提升起到非常重要的作用,且有效的降低了磷擴(kuò)時(shí)間,達(dá)到節(jié)能的目的。
硅片減薄技術(shù)主要應(yīng)用于6500V高壓系列的可控硅、整流二極管、高密度二極管的生產(chǎn)工藝,單面減薄的作用是提高硅片單面的表面毫伏數(shù),以便于下一步磷擴(kuò)散工序的順利完成。目前,國內(nèi)其他企業(yè)都采用常規(guī)減薄工藝,即用磨床減薄,其存在如下問題:減薄的均勻性差,減去的厚度難以精確控制,容易碎片,而且經(jīng)過金剛砂研磨,又引入雜質(zhì),造成硅片表面態(tài)難以控制。在磨削工件與吸盤之間設(shè)置了由鋁、不銹鋼或鋁箔制成的散熱工作臺的新型的減薄機(jī)吸盤裝置,其解決了脆性材料難磨削的問題,使用方便、安全。橫向減薄機(jī)硅片每分鐘可減薄250um。
硅片酸洗減薄機(jī),包括用于盛裝混酸液體的箱體,其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個圓形固定板、橫向連接于兩個圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對稱設(shè)于兩個圓形固定板外周面上的提手組成,圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長度方向均勻間隔設(shè)置多個隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動連接有支座,支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī),伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過傳動機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。減薄機(jī)可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺,滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝;浙江硅片減薄機(jī)磨料
減薄機(jī)PC工控機(jī)系統(tǒng),觸摸屏控制,除手動上、下片外一鍵式自動完成研削加工;浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià)
要提高藍(lán)寶石的研磨效率,必須對藍(lán)寶石的研磨過程進(jìn)行調(diào)整,改變原有一次研磨的制作方式,因?yàn)檫@種方式對研磨設(shè)備的要求過高,而且在研磨過程中往往由于設(shè)備的磨損會產(chǎn)生誤差,不斷調(diào)整消除誤差是導(dǎo)致研磨效率低下的主要原因。 因此,對應(yīng)藍(lán)寶石的研磨,發(fā)明人設(shè)計(jì)成三個加工步驟,首先對藍(lán)寶石進(jìn)行準(zhǔn)確貼片,再對藍(lán)寶石貼片進(jìn)行減薄,有效地降低藍(lán)寶石的厚度,然后對減薄后的藍(lán)寶石貼片進(jìn)行研磨,達(dá)到所需要的要求,這樣可以極大提高藍(lán)寶石的研磨加工效率。浙江自動研磨減薄機(jī)售價(jià)
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2113631.html
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