減薄機(jī)是一款操作簡單、功能豐富、性價(jià)比高的高精度研削設(shè)備，采用手動(dòng)裝片方式，配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可自動(dòng)研削至目標(biāo)值。工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用極廣。具有自動(dòng)測(cè)厚補(bǔ)償，上海平面減薄機(jī)種類、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求；PC工控機(jī)系統(tǒng)，觸摸屏控制，除手動(dòng)上、下片外一鍵式自動(dòng)完成研削加工；可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺(tái)，滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝；盡量減少潔凈間的占地面積；半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)是一款安裝兩個(gè)砂輪軸的高精度研削設(shè)備，上海平面減薄機(jī)種類，上海平面減薄機(jī)種類，采用手動(dòng)裝片方式。減薄機(jī)工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用極廣。上海平面減薄機(jī)種類

立式減薄機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動(dòng)方式是伺服驅(qū)動(dòng)，可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速，也就是砂輪的進(jìn)刀速度，速度0.001-5mm/min可調(diào)，控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測(cè)。采用先進(jìn)的中國臺(tái)灣品牌PLC和觸摸屏，自動(dòng)化程度高，實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話，操作簡單一目了然。設(shè)備可檢測(cè)磨削扭力、自動(dòng)調(diào)節(jié)工件磨削速度，從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損，自動(dòng)補(bǔ)償砂輪磨損厚度尺寸，可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會(huì)破碎。浙江曲面減薄機(jī)種類減薄機(jī)減薄到一定的厚度有利于后期封裝工藝。

多工位減薄機(jī)限位裝置為螺栓，螺栓與支撐塊之間通過螺紋連接，螺栓的末端正對(duì)擺齒齒輪座的側(cè)面。毛刷組件包括立柱，立柱上設(shè)置有縱向?qū)к墸v向?qū)к壣习惭b有升降座，升降座上安裝有打磨電機(jī)，打磨電機(jī)的輸出軸連接打磨主軸，打磨主軸底部連接磨盤，升降座與升降機(jī)構(gòu)連接。升降機(jī)構(gòu)包括升降電機(jī)、與升降電機(jī)輸出軸連接的首先滾珠絲桿，首先滾珠絲桿上的螺帽與升降座上的支塊固定連接。它還包括基座，基座的上端設(shè)置有橫向?qū)к?，橫向?qū)к壣习惭b有滑塊，立柱固定在滑塊上。

液晶玻璃減薄機(jī)，包括操作臺(tái)，操作臺(tái)的頂部前后兩端對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)橫向設(shè)置的滑軌，兩個(gè)滑軌上對(duì)稱滑動(dòng)連接的首先滑塊之間通過連接板連接，兩個(gè)首先滑塊的頂部通過倒U形支座，倒U形支座頂部的直角梯形支座斜面通過支桿與夾裝有液晶玻璃的夾具固定連接，操作臺(tái)的頂部中間位置設(shè)有橫向設(shè)置的倒U形支架，倒U形支架上左右對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)立板，立板前側(cè)面的滑槽上滑動(dòng)連接有第二滑塊，第二滑塊前側(cè)面固定螺接有L形支板，L形支板頂部左側(cè)設(shè)有縱向設(shè)置的出液管道，出液管道的底部等距離排列設(shè)有若干噴嘴，噴嘴的內(nèi)側(cè)設(shè)有與L形支板螺接連接的導(dǎo)流板，操作臺(tái)上且位于兩個(gè)滑軌的內(nèi)側(cè)左右對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)與立板垂直對(duì)稱設(shè)置的集液槽。橫向減薄機(jī)減薄效率高，LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。

硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理：當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計(jì).為了實(shí)現(xiàn)晶圓的延性域磨削，提高減薄質(zhì)量，通過減小砂輪軸向進(jìn)給速度實(shí)現(xiàn)微小磨削深度,因此，要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min. 另外，為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下，要盡可能實(shí)現(xiàn)高速返回。國內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀：國外硅片超精密磨床制造起步較早，發(fā)展迅速，技術(shù)先進(jìn)其中美國,德國，日本等發(fā)達(dá)國家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平。目前國外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化,自動(dòng)化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。減薄機(jī)進(jìn)行上蠟壓片前檢查上壓盤是否處于水平位置。上海平面減薄機(jī)種類

減薄機(jī)上蠟后平整度大于正負(fù)5um，我們要調(diào)整蠟層厚度及上蠟的壓力。上海平面減薄機(jī)種類

多工位減薄機(jī)工件軸包括負(fù)壓吸盤、負(fù)壓吸盤驅(qū)動(dòng)軸和固定連接驅(qū)動(dòng)軸上的工件軸齒輪，負(fù)壓吸盤底部設(shè)置有氣管旋轉(zhuǎn)接頭。對(duì)接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、支撐塊、工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)、齒輪軸、擺齒齒輪座、驅(qū)動(dòng)主齒輪和驅(qū)動(dòng)從齒輪，其中，工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在固定座上，齒輪軸與工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接，驅(qū)動(dòng)主齒輪固定在齒輪軸上，擺齒齒輪座安裝在齒輪軸上，且擺齒齒輪座可繞齒輪軸自由擺動(dòng)，驅(qū)動(dòng)從齒輪安裝在擺齒齒輪座上且可自由轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)從齒輪與驅(qū)動(dòng)主齒輪嚙合連接，擺齒齒輪座在遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)從齒輪的一端和支撐塊之間連接有彈簧，支撐塊上安裝有用于對(duì)擺齒齒輪座擺動(dòng)時(shí)位置進(jìn)行限定的限位裝置。上海平面減薄機(jī)種類

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