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產品關鍵詞:江蘇有機板減薄機公司,減薄機
***更新:2020-11-24 06:19:08
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詳細說明
由于在現(xiàn)有技術中,只在每段減薄完成后對晶圓片進行厚度測量,而每段減薄過程中設置的工藝參數(shù)并不完全精確,例如:若砂輪轉速或者砂輪的前進速度設置的稍大,則對晶圓片的磨削將超過預期,江蘇有機板減薄機公司,江蘇有機板減薄機公司,導致該段減薄結束后,晶圓片的厚度小于該段設定的目標值;或者在減薄過程中自動減薄機出現(xiàn)故障導致對晶圓片造成損壞;或者其他異常問題。所以,如果*在每段減薄完成后對晶圓片進行厚度測量,容易出現(xiàn)每段減薄完成后,晶圓片厚度的實際值與該段設定值不符的問題,造成晶圓片的減薄良率下降。測量裝置和自動減薄機,可以在晶圓片減薄過程中實時測量晶圓片的厚度,提高了晶圓片的減薄良率,江蘇有機板減薄機公司。減薄機工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化,應用極廣。江蘇有機板減薄機公司
多工位減薄機工件軸包括負壓吸盤、負壓吸盤驅動軸和固定連接驅動軸上的工件軸齒輪,負壓吸盤底部設置有氣管旋轉接頭。對接驅動機構包括固定座、支撐塊、工件軸驅動電機、齒輪軸、擺齒齒輪座、驅動主齒輪和驅動從齒輪,其中,工件軸驅動電機安裝在固定座上,齒輪軸與工件軸驅動電機的輸出軸連接,驅動主齒輪固定在齒輪軸上,擺齒齒輪座安裝在齒輪軸上,且擺齒齒輪座可繞齒輪軸自由擺動,驅動從齒輪安裝在擺齒齒輪座上且可自由轉動,驅動從齒輪與驅動主齒輪嚙合連接,擺齒齒輪座在遠離驅動從齒輪的一端和支撐塊之間連接有彈簧,支撐塊上安裝有用于對擺齒齒輪座擺動時位置進行限定的限位裝置。上海雙面減薄機半自動雙軸減薄機兩個砂輪軸,無需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工;
在LED芯片的制作流程中,將厚片減薄是關系到成品極終良率的關鍵,所謂厚片,是指經過前道工序但未經過厚度減薄處理的晶圓片。減薄工藝主要是利用自動減薄機將晶圓片的藍寶石襯底部分減薄。自動減薄機通常包括:工作臺和砂輪,其中,工作臺上先放置陶瓷盤,再將厚片通過蠟粘貼在陶瓷盤上,砂輪用于磨削厚片,砂輪與工作臺反向旋轉。為了保證減薄后晶圓片的厚度及粗糙度達到要求,減薄過程通常分段進行,每段設置不同的工藝參數(shù)以及目標厚度,經過多段減薄極終達到工藝要求。在這過程中,對于晶圓片厚度的檢測,是在每段減薄完成后自動減薄機停下來進行測量的。
集成電路制造工藝的發(fā)展對硅片等材料質量要求越來越嚴格,材料表面的波紋度及厚度只能通過減薄工藝來實現(xiàn),因此減薄機成為必不可少的**設備,減薄機主要由工件吸盤、吸盤主軸及驅動器組件、砂輪、砂輪主軸及驅動組件、絲桿導軌進給組件及其他輔助配件構成。目前市場現(xiàn)有吸盤可以分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤的大小根據(jù)需求定制。電磁吸盤利用磁通的連續(xù)性原理和磁場疊加原理設計。真空原理是由負氣壓變成零氣壓或正氣壓從而提升吸附產物的原理設計。半自動雙軸減薄機產品粗磨后移動至精磨位置,自動研削至目標值。
磨床是利用磨具對工件表面進行磨削加工的機床。隨著高精度、高硬度機械零件數(shù)量的增加,以及精密鑄造和精密鍛造工藝的發(fā)展,磨床的性能、品種和產量都在不斷的提高和增長。大多數(shù)的磨床是使用高速旋轉的砂輪進行磨削加工,少數(shù)的是使用油石、砂輪等其他磨具和游離磨料進行加工。磨床能加工硬度較高的材料,如淬硬鋼、硬質合金等;也能加工脆性材料,如花崗石、玻璃。但是,目前市場上對平面玻璃產品進行磨削加工的磨床,磨削速度慢,生產效率和產能低。減薄機,旨在解決現(xiàn)有技術中磨床磨削速度慢,生產效率和產能低的問題。減薄機PC工控機系統(tǒng),觸摸屏控制,除手動上、下片外一鍵式自動完成研削加工;江蘇有機板減薄機公司
立式藍寶石減薄機加工直徑在300-500mm的工件。江蘇有機板減薄機公司
硅片酸洗減薄機伺服電機可在支座的帶動下斷開與旋轉提籃的傳動連接,則旋轉提籃就能被順利取出箱體,以便于打開圓柱狀圍籠的籠蓋取出減薄后的硅片,操作方便;通過設于箱體內的調溫用的耐腐蝕循環(huán)水管,實現(xiàn)酸溫測量、酸溫控制,避免了酸溫過高造成的浮膠現(xiàn)象,酸溫過低硅片腐蝕速度慢、漂片不均勻,保證了腐蝕反應符合設計計算要求的腐蝕效率和均勻性?;瘜W減薄方式對于成品芯片壓降等動態(tài)參數(shù)的提升起到非常重要的作用,且有效的降低了磷擴時間,達到節(jié)能的目的。江蘇有機板減薄機公司
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2121938.html
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