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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格,減薄機(jī)
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硅片酸洗減薄機(jī),包括用于盛裝混酸液體的箱體,其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃,江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對(duì)稱設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外周面上的提手組成,圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格,圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長(zhǎng)度方向均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座,江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格,支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī),伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)兩個(gè)砂輪軸,無(wú)需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工;江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格
硅片自旋轉(zhuǎn)減薄機(jī)的特點(diǎn):(1)可實(shí)現(xiàn)延性域磨削.在加工脆性材料時(shí),,當(dāng)磨削深度小于某--臨界值時(shí),可以實(shí)現(xiàn)延性域磨削通過(guò)大量試驗(yàn)表明,Si材料的脆性、塑性轉(zhuǎn)換臨界值約為0.06m.進(jìn)給速度廠控制在10~m/min,承片臺(tái)轉(zhuǎn)速取200r/min,則每轉(zhuǎn)切割深度可達(dá)到0.05m.對(duì)于自旋轉(zhuǎn)磨削由公式可知,對(duì)給定的軸向進(jìn)給速度,如果,工作臺(tái)的轉(zhuǎn)速足夠高,就可以實(shí)現(xiàn)極微小磨削深度。(2)可實(shí)現(xiàn)高效磨削.由公式可知,通過(guò)同時(shí)提高硅片轉(zhuǎn)速和砂輪軸向進(jìn)給速度,可以在保持與普通磨削同樣的磨削深度情況下,達(dá)到較高的材料去除率,適用于大余量磨削。江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格減薄機(jī)可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺(tái),滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝;
晶圓減薄機(jī),是在制作集成電路中的晶圓體減小尺寸,為了制作更復(fù)雜的集成電路。集成電路制造技術(shù)的進(jìn)步首先來(lái)源于市場(chǎng)需求的要求,其次是競(jìng)爭(zhēng)的要求。在集成電路制造中,半導(dǎo)體硅材料由于其資源豐富,制造成本低,工藝性好,是集成電路重要的基體材料。從集成電路斷面結(jié)構(gòu)來(lái)看,大部分集成電路是在硅基體材料的淺表面層上制造。由于制造工藝的要求,對(duì)晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求。因此在幾百道工藝流程中,不可采用較薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工藝過(guò)程中傳遞、流片。
酸洗減薄機(jī)一般是直接將單晶硅片放進(jìn)清洗設(shè)備的內(nèi)部,通過(guò)直接對(duì)設(shè)備內(nèi)部加注進(jìn)行輔助加工的酸性溶液進(jìn)行工作,但是直接的擺放硅片可能會(huì)在進(jìn)行加工的過(guò)程中對(duì)其造成損傷,并且飛濺的碎屑也會(huì)對(duì)其他的硅片造成損傷,無(wú)法保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量和加工效率,浪費(fèi)資源增加了運(yùn)營(yíng)成本的問(wèn)題。吸盤式晶元硅片減薄機(jī)清洗滾筒的外側(cè)固定連接有連接軸,清洗滾筒的表面活動(dòng)安裝有密封門,清洗滾筒內(nèi)固定安裝有固定桿,固定桿之間活動(dòng)安裝有安裝吸盤,安裝吸盤上預(yù)留有吸氣孔,安裝吸盤的外側(cè)活動(dòng)安裝有密封圈,設(shè)備機(jī)箱的內(nèi)側(cè)下端固定安裝有導(dǎo)流板,導(dǎo)流板的兩側(cè)活動(dòng)安裝有安裝板,安裝板遠(yuǎn)離清洗滾筒的一側(cè)固定安裝有阻隔板,設(shè)備機(jī)箱的右側(cè)下端活動(dòng)安裝有控制閥,控制閥的下端開設(shè)有廢液出口。減薄機(jī)的功能是協(xié)助將芯片表面的研磨產(chǎn)物移去。
晶圓制造工藝中,對(duì)晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求,因此在幾百道工藝流程中,不可采用較薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工藝過(guò)程中傳遞、流片,通常在集成電路封裝前,需要對(duì)晶片背面多余的基體材料去除一定厚度。這一工藝過(guò)程稱之為晶片背面減薄工藝,對(duì)應(yīng)裝備就是晶片減薄機(jī),在減薄過(guò)程中,晶圓由于表面中間和邊緣的厚度不一致,在去除其中間厚度的時(shí)候會(huì)因?yàn)槠鋸?qiáng)度不同,導(dǎo)致破裂,吸盤無(wú)法吸附,直接掉落工作臺(tái),變得碎裂,清理麻煩。減薄機(jī)減薄后厚度均勻性需要對(duì)砂輪進(jìn)行修平,校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。江蘇振動(dòng)減薄機(jī)廠家
藍(lán)寶石減薄機(jī)絲桿進(jìn)給組件采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動(dòng)方式為伺服驅(qū)動(dòng)。江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格
藍(lán)寶石減橫機(jī)絲桿進(jìn)給組件采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動(dòng)方式為伺服驅(qū)動(dòng)。由以上組件構(gòu)成的藍(lán)寶石減橫機(jī)具有非常高精密的加工能力及雙面平行度控制能力,它能加工工件厚度在5u以下的工件。并且不發(fā)生斷裂、塌邊、劃痕等現(xiàn)象。藍(lán)寶石減橫機(jī)目前以前已經(jīng)有了兩種機(jī)型、臥式藍(lán)寶石減橫機(jī)及立式藍(lán)寶石減橫機(jī),前者一般加工直接在200mm以內(nèi)的工件,后者加工直徑在300-500mm的工件。該種藍(lán)寶石減橫機(jī),在目前LED藍(lán)寶石生產(chǎn)線上,被公認(rèn)為目前國(guó)內(nèi)極好的減橫機(jī)。江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格
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