減薄機(jī)工件被放置在轉(zhuǎn)盤(pán)的若干個(gè)工位上，并通過(guò)傳送裝置的轉(zhuǎn)盤(pán)逐一傳送至打磨位置，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中的首先驅(qū)動(dòng)組件和第二驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)磨頭至打磨位置處，第三驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)磨頭轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)轉(zhuǎn)盤(pán)位于打磨位置處的工位上的工件進(jìn)行打磨減薄。通過(guò)傳送裝置和打磨裝置之間的相互配合，加快了磨削速度，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)能，浙江硅片減薄機(jī)多少錢。傳送裝置還包括用于驅(qū)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)的第二電機(jī)，中心軸一端與轉(zhuǎn)盤(pán)固定連接，浙江硅片減薄機(jī)多少錢，另一端安裝有首先齒輪，浙江硅片減薄機(jī)多少錢，第二電機(jī)的輸出端安裝有與首先齒輪相嚙合的第二齒輪。傳送裝置還包括在轉(zhuǎn)盤(pán)對(duì)應(yīng)每個(gè)工位安裝的吸盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)上設(shè)置有與每個(gè)吸盤(pán)的安裝位置對(duì)應(yīng)的吸孔。全自動(dòng)減薄機(jī)是配有全自動(dòng)上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備。浙江硅片減薄機(jī)多少錢

一種藍(lán)寶石減薄機(jī)，其特征在于該減薄機(jī)包括磨輪、真空吸附頭，磨輪連接于磨輪主軸上，被磨輪主軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，磨輪主軸則固定在磨輪控制機(jī)構(gòu)上，并連接于磨輪電機(jī)；真空吸附頭連接于真空盤(pán)主軸，真空盤(pán)主軸固定工作臺(tái)上，并連接于真空盤(pán)電機(jī)；磨輪、真空吸附頭設(shè)置于工作臺(tái)上，一工作室設(shè)置于工作臺(tái)中部，磨輪、真空吸附頭位置偏心對(duì)應(yīng)，且橫向設(shè)置，均位于工作室中。其特征在于該減薄機(jī)還包括有修磨頭，所述修磨頭和真空吸附頭并列排列，共同對(duì)應(yīng)于磨輪。浙江硅片減薄機(jī)多少錢橫向減薄機(jī)磨削均勻生產(chǎn)效率高。

多工位減薄機(jī)限位裝置為螺栓，螺栓與支撐塊之間通過(guò)螺紋連接，螺栓的末端正對(duì)擺齒齒輪座的側(cè)面。毛刷組件包括立柱，立柱上設(shè)置有縱向?qū)к?，縱向?qū)к壣习惭b有升降座，升降座上安裝有打磨電機(jī)，打磨電機(jī)的輸出軸連接打磨主軸，打磨主軸底部連接磨盤(pán)，升降座與升降機(jī)構(gòu)連接。升降機(jī)構(gòu)包括升降電機(jī)、與升降電機(jī)輸出軸連接的首先滾珠絲桿，首先滾珠絲桿上的螺帽與升降座上的支塊固定連接。它還包括基座，基座的上端設(shè)置有橫向?qū)к?，橫向?qū)к壣习惭b有滑塊，立柱固定在滑塊上。

立式減薄機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動(dòng)方式是伺服驅(qū)動(dòng)，可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速，也就是砂輪的進(jìn)刀速度，速度0.001-5mm/min可調(diào)，控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測(cè)。采用先進(jìn)的中國(guó)臺(tái)灣品牌PLC和觸摸屏，自動(dòng)化程度高，實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話，操作簡(jiǎn)單一目了然。設(shè)備可檢測(cè)磨削扭力、自動(dòng)調(diào)節(jié)工件磨削速度，從而防止工件磨削過(guò)程中因壓力過(guò)大產(chǎn)生變形及破損，自動(dòng)補(bǔ)償砂輪磨損厚度尺寸，可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會(huì)破碎。減薄機(jī)通過(guò)機(jī)械加工和化學(xué)反應(yīng)的方法對(duì)樣品進(jìn)行一系列減薄研磨拋光。

硅片酸洗減薄機(jī)，包括用于盛裝混酸液體的箱體，其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃，旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對(duì)稱設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外周面上的提手組成，圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合，圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成，半圓狀籠蓋的開(kāi)口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接，圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長(zhǎng)度方向均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱，箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座，支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī)，伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連，箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。減薄機(jī)工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用極廣。江蘇地面減薄機(jī)設(shè)備

減薄機(jī)的功能是協(xié)助將芯片表面的研磨產(chǎn)物移去。浙江硅片減薄機(jī)多少錢

減薄機(jī)減薄到一定的厚度有利于后期封裝工藝。然后通過(guò)機(jī)械加工和化學(xué)反應(yīng)的方法對(duì)樣品進(jìn)行一系列減薄研磨拋光的工藝，樣品表面到達(dá)所需要的厚度，平整度，粗糙度。 那個(gè)在工藝上出現(xiàn)的一些問(wèn)題需要怎么去解決呢，上蠟后平整度大于正負(fù)5um，我們要調(diào)整蠟層厚度及上蠟的壓力。減薄后厚度均勻性需要對(duì)砂輪進(jìn)行修平，校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。當(dāng)減薄后片子出現(xiàn)裂痕我們需要對(duì)砂輪進(jìn)行修銳并檢查減薄步進(jìn)速率，當(dāng)研磨拋光后厚度均勻性較差時(shí)，我們要用平面度測(cè)量規(guī)測(cè)量盤(pán)面，用小塊的砝碼重力修正。浙江硅片減薄機(jī)多少錢

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