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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:江蘇研磨減薄機(jī)廠家,減薄機(jī)
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詳細(xì)說明
一種測量裝置和自動減薄機(jī),其中,測量裝置包括:基準(zhǔn)臺、彈性臂和測量頭,彈性臂的一端與基準(zhǔn)臺連接,彈性臂的另一端與測量頭連接,彈性臂用于按照預(yù)設(shè)頻率帶動測量頭上下移動,測量頭上設(shè)置有與測量頭電連接的顯示屏,江蘇研磨減薄機(jī)廠家,測量頭用于測量晶圓片的厚度,顯示屏用于顯示測量數(shù)據(jù)。本實用新型提供的測量裝置,通過測量頭可以在每段自動減薄過程中實時測量晶圓片的厚度,而不是*在每段自動減薄過程完成后才進(jìn)行晶圓片厚度的測量,可以及時發(fā)現(xiàn)自動減薄過程中的問題并及時處理,江蘇研磨減薄機(jī)廠家,極大提高了晶圓片的減薄良率,江蘇研磨減薄機(jī)廠家。減薄機(jī)上蠟后平整度大于正負(fù)5um,我們要調(diào)整蠟層厚度及上蠟的壓力。江蘇研磨減薄機(jī)廠家
硅片酸洗減薄機(jī),包括用于盛裝混酸液體的箱體,其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個圓形固定板、橫向連接于兩個圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對稱設(shè)于兩個圓形固定板外周面上的提手組成,圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長度方向均勻間隔設(shè)置多個隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動連接有支座,支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī),伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過傳動機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。浙江膠囊減薄機(jī)減薄機(jī)減薄后厚度均勻性需要對砂輪進(jìn)行修平,校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。
硅片酸洗減薄機(jī)伺服電機(jī)可在支座的帶動下斷開與旋轉(zhuǎn)提籃的傳動連接,則旋轉(zhuǎn)提籃就能被順利取出箱體,以便于打開圓柱狀圍籠的籠蓋取出減薄后的硅片,操作方便;通過設(shè)于箱體內(nèi)的調(diào)溫用的耐腐蝕循環(huán)水管,實現(xiàn)酸溫測量、酸溫控制,避免了酸溫過高造成的浮膠現(xiàn)象,酸溫過低硅片腐蝕速度慢、漂片不均勻,保證了腐蝕反應(yīng)符合設(shè)計計算要求的腐蝕效率和均勻性?;瘜W(xué)減薄方式對于成品芯片壓降等動態(tài)參數(shù)的提升起到非常重要的作用,且有效的降低了磷擴(kuò)時間,達(dá)到節(jié)能的目的。
藍(lán)寶石減橫機(jī)是一款用于加工藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、硅片、石英等晶體材料進(jìn)行研磨和減橫的機(jī)器。該減橫機(jī)由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。吸盤可分為電磁吸盤和真空吸盤,其直徑大小一般為320-600mm。砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減橫機(jī)直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格,砂輪的顆粒度是根據(jù)客戶對工藝的要求定制。砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速,可根據(jù)藍(lán)寶石減橫機(jī)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。藍(lán)寶石減薄機(jī)砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格。
要提高藍(lán)寶石的研磨效率,必須對藍(lán)寶石的研磨過程進(jìn)行調(diào)整,改變原有一次研磨的制作方式,因為這種方式對研磨設(shè)備的要求過高,而且在研磨過程中往往由于設(shè)備的磨損會產(chǎn)生誤差,不斷調(diào)整消除誤差是導(dǎo)致研磨效率低下的主要原因。 因此,對應(yīng)藍(lán)寶石的研磨,發(fā)明人設(shè)計成三個加工步驟,首先對藍(lán)寶石進(jìn)行準(zhǔn)確貼片,再對藍(lán)寶石貼片進(jìn)行減薄,有效地降低藍(lán)寶石的厚度,然后對減薄后的藍(lán)寶石貼片進(jìn)行研磨,達(dá)到所需要的要求,這樣可以極大提高藍(lán)寶石的研磨加工效率。當(dāng)減薄機(jī)減薄后片子出現(xiàn)裂痕我們需要對砂輪進(jìn)行修銳并檢查減薄步進(jìn)速率。江蘇內(nèi)孔減薄機(jī)多少錢一臺
臥式減薄機(jī)是一款性價比很高的小型高精度研削設(shè)備。江蘇研磨減薄機(jī)廠家
減薄機(jī)采用真空吸盤,硅片等脆性材料要求減薄厚度在微米之間,很容易損壞,甚至可能在磨削過程中已經(jīng)損壞,很難磨削達(dá)到要求。并且硅片、蘭寶石在磨削過程中產(chǎn)生熱量比較小,它們本身自帶散熱性,而陶瓷片等不具有散熱性或散熱性很小,片子磨削較薄,在磨削產(chǎn)生熱量和冷卻過程中,由于表面和內(nèi)部產(chǎn)生溫差,膨脹程度不同而形成過大的內(nèi)應(yīng)力,將會引起片子的變形和損壞,減薄的片子本身材料脆,厚度薄,很難確保在厚度達(dá)標(biāo)的情況下保證片子完好無損。江蘇研磨減薄機(jī)廠家
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2396905.html
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