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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海彎管減薄機設(shè)備,減薄機
***更新:2020-12-14 06:15:42
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詳細(xì)說明
隨著硅片直徑的增大,對硅片背面減薄的要求越來越高,但是旋轉(zhuǎn)工作臺磨削技術(shù)具有一定的局限性.1984年S.Matsui提出了硅片自旋轉(zhuǎn)磨削(waferrotatingginding)法,并開始逐漸取代旋轉(zhuǎn)工作臺磨削。硅片自旋轉(zhuǎn)磨削法采用略大于硅片的工件轉(zhuǎn)臺硅片通過真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺的中心,杯形金剛石砂輪工作面的內(nèi)外圓周中線調(diào)整到硅片的中心位置,硅片和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn),進(jìn)行切入磨削.磨削深度t與砂輪軸向進(jìn)給速度f,上海彎管減薄機設(shè)備,硅片轉(zhuǎn)速凡的關(guān)系為:tw=HtZ。主要是消除粗磨時形成的損傷層,達(dá)到所要求的厚度,在精磨階段,材料以延性域模式去除,硅片表面損傷明顯減小,上海彎管減薄機設(shè)備。全自動減薄機采用晶圓機械手取片,上海彎管減薄機設(shè)備,帶有自動對中、清洗、干燥功能。上海彎管減薄機設(shè)備
多工位減薄機限位裝置為螺栓,螺栓與支撐塊之間通過螺紋連接,螺栓的末端正對擺齒齒輪座的側(cè)面。毛刷組件包括立柱,立柱上設(shè)置有縱向?qū)к?,縱向?qū)к壣习惭b有升降座,升降座上安裝有打磨電機,打磨電機的輸出軸連接打磨主軸,打磨主軸底部連接磨盤,升降座與升降機構(gòu)連接。升降機構(gòu)包括升降電機、與升降電機輸出軸連接的首先滾珠絲桿,首先滾珠絲桿上的螺帽與升降座上的支塊固定連接。它還包括基座,基座的上端設(shè)置有橫向?qū)к?,橫向?qū)к壣习惭b有滑塊,立柱固定在滑塊上。浙江膠囊減薄機全自動減薄機是配有全自動上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備。
由于在現(xiàn)有技術(shù)中,只在每段減薄完成后對晶圓片進(jìn)行厚度測量,而每段減薄過程中設(shè)置的工藝參數(shù)并不完全精確,例如:若砂輪轉(zhuǎn)速或者砂輪的前進(jìn)速度設(shè)置的稍大,則對晶圓片的磨削將超過預(yù)期,導(dǎo)致該段減薄結(jié)束后,晶圓片的厚度小于該段設(shè)定的目標(biāo)值;或者在減薄過程中自動減薄機出現(xiàn)故障導(dǎo)致對晶圓片造成損壞;或者其他異常問題。所以,如果*在每段減薄完成后對晶圓片進(jìn)行厚度測量,容易出現(xiàn)每段減薄完成后,晶圓片厚度的實際值與該段設(shè)定值不符的問題,造成晶圓片的減薄良率下降。測量裝置和自動減薄機,可以在晶圓片減薄過程中實時測量晶圓片的厚度,提高了晶圓片的減薄良率。
減薄機采用真空吸盤,硅片等脆性材料要求減薄厚度在微米之間,很容易損壞,甚至可能在磨削過程中已經(jīng)損壞,很難磨削達(dá)到要求。并且硅片、蘭寶石在磨削過程中產(chǎn)生熱量比較小,它們本身自帶散熱性,而陶瓷片等不具有散熱性或散熱性很小,片子磨削較薄,在磨削產(chǎn)生熱量和冷卻過程中,由于表面和內(nèi)部產(chǎn)生溫差,膨脹程度不同而形成過大的內(nèi)應(yīng)力,將會引起片子的變形和損壞,減薄的片子本身材料脆,厚度薄,很難確保在厚度達(dá)標(biāo)的情況下保證片子完好無損。橫向減薄機可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會破碎。
減薄機包括機架、傳送裝置和打磨裝置,其中,傳送裝置包括可隨中心軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤,轉(zhuǎn)盤上依次設(shè)置有若干個圍繞中心軸分布的工位,工位用于放置工件;打磨裝置包括磨頭和用于驅(qū)動磨頭運動的驅(qū)動機構(gòu),磨頭包括轉(zhuǎn)軸和與轉(zhuǎn)軸連接的磨盤,驅(qū)動機構(gòu)包括設(shè)置在機架上的首先驅(qū)動組件、位于首先驅(qū)動組件上并可水平運動的第二驅(qū)動組件和位于第二驅(qū)動組件上并可上下運動的第三驅(qū)動組件,轉(zhuǎn)軸與第三驅(qū)動組件連接,以在第三驅(qū)動組件的帶動下轉(zhuǎn)動;打磨裝置設(shè)置在轉(zhuǎn)盤的上方,通過轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)盤,可使若干個工位逐一與打磨裝置的打磨位置對接。減薄機研磨墊圖形大體的功能是研磨墊之孔隙度可以協(xié)助研磨液于研磨過程輸送到不同的一些區(qū)域。江蘇內(nèi)孔減薄機多少錢一臺
減薄機減薄后的襯底背后還存在表面損害層,從而影響成品率。上海彎管減薄機設(shè)備
藍(lán)寶石減橫機是一款用于加工藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、硅片、石英等晶體材料進(jìn)行研磨和減橫的機器。該減橫機由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。吸盤可分為電磁吸盤和真空吸盤,其直徑大小一般為320-600mm。砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減橫機直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格,砂輪的顆粒度是根據(jù)客戶對工藝的要求定制。砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速,可根據(jù)藍(lán)寶石減橫機不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。上海彎管減薄機設(shè)備
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2398249.html
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