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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海平面減薄機種類,減薄機
***更新:2020-12-17 02:15:59
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詳細說明
晶圓制造工藝中,對晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求,因此在幾百道工藝流程中,不可采用較薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工藝過程中傳遞、流片,通常在集成電路封裝前,需要對晶片背面多余的基體材料去除一定厚度。這一工藝過程稱之為晶片背面減薄工藝,對應(yīng)裝備就是晶片減薄機,在減薄過程中,晶圓由于表面中間和邊緣的厚度不一致,上海平面減薄機種類,在去除其中間厚度的時候會因為其強度不同,導(dǎo)致破裂,吸盤無法吸附,直接掉落工作臺,變得碎裂,上海平面減薄機種類,清理麻煩,上海平面減薄機種類。減薄機減薄后厚度均勻性需要對砂輪進行修平,校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。上海平面減薄機種類
在LED芯片的制作流程中,將厚片減薄是關(guān)系到成品極終良率的關(guān)鍵,所謂厚片,是指經(jīng)過前道工序但未經(jīng)過厚度減薄處理的晶圓片。減薄工藝主要是利用自動減薄機將晶圓片的藍寶石襯底部分減薄。自動減薄機通常包括:工作臺和砂輪,其中,工作臺上先放置陶瓷盤,再將厚片通過蠟粘貼在陶瓷盤上,砂輪用于磨削厚片,砂輪與工作臺反向旋轉(zhuǎn)。為了保證減薄后晶圓片的厚度及粗糙度達到要求,減薄過程通常分段進行,每段設(shè)置不同的工藝參數(shù)以及目標厚度,經(jīng)過多段減薄極終達到工藝要求。在這過程中,對于晶圓片厚度的檢測,是在每段減薄完成后自動減薄機停下來進行測量的。浙江曲面減薄機種類藍寶石減薄機能加工工件厚度在5u以下的工件。
硅片酸洗減薄機,包括用于盛裝混酸液體的箱體,其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個圓形固定板、橫向連接于兩個圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對稱設(shè)于兩個圓形固定板外周面上的提手組成,圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長度方向均勻間隔設(shè)置多個隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動連接有支座,支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機,伺服電機的電機軸通過傳動機構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。
減薄機包括機架、傳送裝置和打磨裝置,其中,傳送裝置包括可隨中心軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤,轉(zhuǎn)盤上依次設(shè)置有若干個圍繞中心軸分布的工位,工位用于放置工件;打磨裝置包括磨頭和用于驅(qū)動磨頭運動的驅(qū)動機構(gòu),磨頭包括轉(zhuǎn)軸和與轉(zhuǎn)軸連接的磨盤,驅(qū)動機構(gòu)包括設(shè)置在機架上的首先驅(qū)動組件、位于首先驅(qū)動組件上并可水平運動的第二驅(qū)動組件和位于第二驅(qū)動組件上并可上下運動的第三驅(qū)動組件,轉(zhuǎn)軸與第三驅(qū)動組件連接,以在第三驅(qū)動組件的帶動下轉(zhuǎn)動;打磨裝置設(shè)置在轉(zhuǎn)盤的上方,通過轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)盤,可使若干個工位逐一與打磨裝置的打磨位置對接。減薄機具有自動測厚補償、多段研削程序、超負載等待等功能,滿足各類工藝需求;
多工位減薄機滑塊通過手搖機構(gòu)來調(diào)節(jié)在橫向?qū)к壣系奈恢茫謸u機構(gòu)包括絲桿和手柄,絲桿與滑塊底部的凸塊之間通過螺紋連接?;瑝K與電動機構(gòu)來調(diào)節(jié)在橫向?qū)к壣系奈恢茫妱訖C構(gòu)包括調(diào)節(jié)電機、與調(diào)節(jié)電機輸出軸連接的絲桿,絲桿與滑塊底部的凸塊之間通過螺紋連接。多工位減薄機提高了生產(chǎn)效率和打磨效果,對接驅(qū)動機構(gòu)能夠和工件軸完成自動對接,同時驅(qū)動工件軸自動旋轉(zhuǎn),提高了打磨過程在工位切換的流暢性。磨盤在打磨過程中的上下高度可以通過升降機構(gòu)來調(diào)節(jié)。通過調(diào)節(jié)磨盤的上下位置可以實現(xiàn)打磨量可調(diào),進而提高了打磨效果。臥式減薄機保證加工成本合理優(yōu)化;上海平面減薄機種類
立式藍寶石減薄機加工直徑在300-500mm的工件。上海平面減薄機種類
一種藍寶石減薄機,其特征在于該減薄機包括磨輪、真空吸附頭,磨輪連接于磨輪主軸上,被磨輪主軸帶動旋轉(zhuǎn),磨輪主軸則固定在磨輪控制機構(gòu)上,并連接于磨輪電機;真空吸附頭連接于真空盤主軸,真空盤主軸固定工作臺上,并連接于真空盤電機;磨輪、真空吸附頭設(shè)置于工作臺上,一工作室設(shè)置于工作臺中部,磨輪、真空吸附頭位置偏心對應(yīng),且橫向設(shè)置,均位于工作室中。其特征在于該減薄機還包括有修磨頭,所述修磨頭和真空吸附頭并列排列,共同對應(yīng)于磨輪。上海平面減薄機種類
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2434340.html
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