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減薄機(jī)在磨削時具有以下幾個優(yōu)點(diǎn): 1.能實(shí)現(xiàn)延性域的磨削。高速減薄機(jī)在加工硬脆性材料時,當(dāng)磨削濃度小于某一臨界點(diǎn)時,可以實(shí)現(xiàn)延性域的磨削??筛鶕?jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制驅(qū)動模式,砂輪的進(jìn)刀速度0.001-0.005mm/min可調(diào),控制精度較高能實(shí)現(xiàn)極微小的磨削深度。 2.高效的磨削效率。通過同時提高硅片車速和砂輪軸向進(jìn)給的速度,可以在保持與普通磨削的磨削深度情況下,達(dá)到較高的的材料去除率,適用于大余量的磨削,浙江鐵管研磨機(jī)大全。 3.砂輪與硅片的接觸長度,浙江鐵管研磨機(jī)大***積。切入角度不變,磨削力恒定,加工狀態(tài)穩(wěn)定,浙江鐵管研磨機(jī)大全,可以避免硅片出現(xiàn)中心凸和塌邊等現(xiàn)象。能自動調(diào)節(jié)工件磨削速度,能保證工件在磨削過程不會因?yàn)閴毫^大而產(chǎn)生變形與破損??墒怪睆?50晶片伊迪亞減薄到0.08mm厚而不會產(chǎn)生破碎,且平行試可控制在0.002mm左右的范圍內(nèi)。籃式研磨機(jī)的特點(diǎn):攪拌葉片裝在分散**軸套上,可設(shè)定佳轉(zhuǎn)速,或依物料生產(chǎn)工藝要求量體訂做。浙江鐵管研磨機(jī)大全
研磨減薄機(jī)為精密研磨拋光設(shè)備,被磨、拋材料放于平整的研磨盤上,研磨盤逆時鐘轉(zhuǎn)動,修正輪帶動工件自轉(zhuǎn),重力加壓或其它方式對工件施壓,工件與研磨盤作相對運(yùn)轉(zhuǎn)磨擦,來達(dá)到研磨拋光目的。產(chǎn)生磨削作用的磨料顆粒有兩種來源,一種來自于不斷外加(常稱為游離磨料);另一種方法是將磨料顆粒固定在研磨盤中(常稱為固著磨料)。減薄機(jī)是用涂上或嵌入磨料的研具對工件表面進(jìn)行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、螺紋面和其他型面。江蘇金相研磨機(jī)種類研磨是超精密加工中一種重要加工方法,其優(yōu)點(diǎn)是加工精度高,加工材料范圍廣。
研磨減薄機(jī)是獲取高平整度平面的加工方法,可獲得良好的上下表面平行度和工件厚度一致性。它的工作原理是:放置在游星輪內(nèi)的工件隨游星輪一起在太陽輪和齒圈的差動作用下做行星運(yùn)動,上、下磨盤對其兩個表面同時進(jìn)行加工。在加工過程中工件表面的磨粒軌跡由上研磨盤、下研磨盤、太陽輪和齒圈的轉(zhuǎn)速共同決定,磨粒軌跡直接影響著工件表面材料的去除效率,工件相對于研磨盤的運(yùn)動軌跡影響著盤面的磨損情況,在雙面研磨軌跡均勻性研究方面,磨粒相對于工件的運(yùn)動軌跡均勻性和工件相對于研磨盤的軌跡均勻性的研究對改善工件的加工精度和表面質(zhì)量有重要的意義。
減薄機(jī)研磨墊圖形大體的功能先是研磨墊之孔隙度可以協(xié)助研磨液于研磨過程輸送到不同的一些區(qū)域。還有另外的功能是協(xié)助將芯片表面的研磨產(chǎn)物移去。研磨墊的機(jī)械性質(zhì)影響到薄膜表面的平坦度以及均勻度,所以控制結(jié)構(gòu)及機(jī)械性質(zhì)是非常重要的。我們通過減薄研磨的方式對晶片襯底進(jìn)行減薄,從而改善芯片散熱效果,但是由于減薄后的襯底背后還存在表面損害層,殘余應(yīng)力會導(dǎo)致減薄后的外延片彎曲且容易在后續(xù)工序中碎裂,從而影響成品率。因此在減薄后應(yīng)對襯底背光進(jìn)行拋光。減薄到一定的厚度有利于后期封裝工藝。然后通過機(jī)械加工和化學(xué)反應(yīng)的方法對樣品進(jìn)行一系列減薄研磨拋光的工藝,樣品表面到達(dá)所需要的厚度,平整度,粗糙度。那個在工藝上出現(xiàn)的一些問題需要怎么去解決呢,上蠟后平整度大于正負(fù)5um,我們要調(diào)整蠟層厚度及上蠟的壓力。減薄后厚度均勻性需要對砂輪進(jìn)行修平,校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。當(dāng)減薄后片子出現(xiàn)裂痕我們需要對砂輪進(jìn)行修銳并檢查減薄步進(jìn)速率,當(dāng)研磨拋光后厚度均勻性較差時,我們要用平面度測量規(guī)測量盤面,用小塊的砝碼重力修正,如果研磨或者拋光的過程中有明顯的細(xì)微劃痕,我們就要清洗陶瓷盤/環(huán);檢查磨料/拋光液。籃式研磨機(jī)的特點(diǎn):雙作用研磨可根據(jù)不同配方通過冷卻或加熱,能很好的控制產(chǎn)品的溫度。
研磨減薄機(jī)主要用于兩面平行的晶體或其它機(jī)械零件進(jìn)行雙面研磨,特別是薄脆性 材料的加工。適用于各種材質(zhì)的機(jī)械密封環(huán)、陶瓷片、氣缸活塞環(huán)、油泵葉片軸承端面 及硅、鍺、石英晶體、石墨、藍(lán)寶石、光學(xué)水晶、玻璃、鈮酸鋰、硬質(zhì)合金、不銹鋼、 粉灰冶金等金屬材料的平面研磨和拋光。其主要特點(diǎn)有: 1、采用無級調(diào)速系統(tǒng)控制,可以輕易調(diào)整出適合研磨各種部件的研磨速度。采用 電—?dú)獗壤y閉環(huán)反饋壓力控制,可以**調(diào)控壓力裝置。上盤設(shè)置的緩降功能,有效 的防止薄脆工件的破碎。 2、通過一個時間繼電器與一個研磨計(jì)數(shù)器,可以按加工要求準(zhǔn)確設(shè)置和控制研磨 時間和研磨圈數(shù)。工作時可調(diào)整壓力模式,達(dá)到研磨設(shè)定的時間或圈速的時候就會自動 停機(jī)報(bào)警提示,實(shí)現(xiàn)半自動化的操作。通過增加厚度光柵尺形成閉環(huán)控制,達(dá)到設(shè)定的 厚度會自動停機(jī),實(shí)現(xiàn)在線控制生產(chǎn)。 3、主機(jī)一般采用調(diào)速電機(jī)驅(qū)動,配置大功率減速系統(tǒng),軟啟動、軟停止,運(yùn)轉(zhuǎn)平 穩(wěn)。 4、通過上、下研磨盤、太陽輪、游星輪在加工時形成四個方向、速度相互協(xié)調(diào)的 研磨運(yùn)動,達(dá)到上下表面同時研磨的高效運(yùn)作。雙面研磨機(jī)的磨削過程因其能產(chǎn)生高質(zhì)量和高精度表面而在工業(yè)上得到普遍使用。浙江鐵管研磨機(jī)大全
進(jìn)入了21世紀(jì),微型計(jì)算機(jī)技術(shù)日新月異,研磨機(jī)技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)結(jié)合,使研磨機(jī)的技術(shù)提升。浙江鐵管研磨機(jī)大全
進(jìn)行高質(zhì)量平行平面研磨時較好使用雙面研磨,研磨減薄機(jī)為了在工件上得到均勻而不重復(fù)的研磨軌跡,研磨時將工件放在工件保持架內(nèi),上,下均有研磨盤。下研磨盤有電動機(jī) 帶動旋轉(zhuǎn),工件保持架制成行星輪的形式,外面和內(nèi)齒輪嚙合,里面和小齒輪嚙合。所以工作時工件將同時有自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)來作行星運(yùn)動。上研磨盤一般情況不轉(zhuǎn)動或者偶爾轉(zhuǎn)運(yùn),可加載并有一定的浮動以避免兩研磨盤不平行造成工件兩研磨面不平行。同時由工件與研具的相對運(yùn)動軌跡對工件面形精度有都重要影響,對其基本要求都有 1.工件相對研具做平面平行運(yùn)動,能使工件上各點(diǎn)具有相同或相近的研磨行程。 2.工件上任意一點(diǎn),盡量不要出現(xiàn)運(yùn)動軌跡的周期性重復(fù)。 3.盡量保持研磨運(yùn)動平穩(wěn),在研磨過程避免曲率過大的運(yùn)動轉(zhuǎn)角。 4.保證工件走遍整個研具表面,使研磨盤得到均勻磨損,進(jìn)而保證工件表面的平面度。 5.常用次擺線、外擺線和內(nèi)擺線軌跡等運(yùn)動軌跡。同時及時變更工件的運(yùn)動方向,使研磨紋路復(fù)雜多變,這樣不僅有利于降低表面粗糙度,并保證其表面均勻一致。浙江鐵管研磨機(jī)大全
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2524795.html
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