隨著硅片直徑的增大,對硅片背面減薄的要求越來越高,但是旋轉(zhuǎn)工作臺磨削技術(shù)具有一定的局限性.1984年S.Matsui提出了硅片自旋轉(zhuǎn)磨削(waferrotatingginding)法,并開始逐漸取代旋轉(zhuǎn)工作臺磨削。硅片自旋轉(zhuǎn)磨削法采用略大于硅片的工件轉(zhuǎn)臺硅片通過真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺的中心，浙江膠囊減薄機(jī)大全，杯形金剛石砂輪工作面的內(nèi)外圓周中線調(diào)整到硅片的中心位置,硅片和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn),進(jìn)行切入磨削.磨削深度t與砂輪軸向進(jìn)給速度f,硅片轉(zhuǎn)速凡的關(guān)系為:tw=HtZ。主要是消除粗磨時(shí)形成的損傷層，達(dá)到所要求的厚度,在精磨階段，浙江膠囊減薄機(jī)大全,材料以延性域模式去除，浙江膠囊減薄機(jī)大全,硅片表面損傷明顯減小。橫向減薄機(jī)為精密磨削設(shè)備，由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削，金剛石磨輪前后擺動。浙江膠囊減薄機(jī)大全

除線減薄機(jī)采用了在機(jī)架上左右對稱加工有弧形槽，大電機(jī)的輸出軸穿過弧形槽與大刀盤連接，電機(jī)固定架的外側(cè)設(shè)置有滾輪，滾輪可沿著安裝在機(jī)架上的軌道滑行，從而帶動電機(jī)固定架移動，使得大電機(jī)的輸出軸在弧形槽內(nèi)滑動，大刀盤收縮或者伸展，避開機(jī)場跑道上設(shè)置的照明燈，大刀盤和小刀盤呈品字形排列，這種排列方式使刀盤的刮擦去除效果更佳，在機(jī)架后部設(shè)置小刀盤，小刀盤可以彌補(bǔ)刮擦兩個大刀盤中間沒有去除的標(biāo)線。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、操作靈活、成本低、效率高、不易產(chǎn)生粉塵等優(yōu)點(diǎn)，可推廣應(yīng)用到已完成路面標(biāo)線清楚設(shè)備或裝置領(lǐng)域。浙江膠囊減薄機(jī)大全藍(lán)寶石減薄機(jī)由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。

減薄機(jī)是一款操作簡單、功能豐富、性價(jià)比高的高精度研削設(shè)備，采用手動裝片方式，配置自動厚度測量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可自動研削至目標(biāo)值。工作臺可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用極廣。具有自動測厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求；PC工控機(jī)系統(tǒng)，觸摸屏控制，除手動上、下片外一鍵式自動完成研削加工；可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺，滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝；盡量減少潔凈間的占地面積；半自動雙軸減薄機(jī)是一款安裝兩個砂輪軸的高精度研削設(shè)備，采用手動裝片方式。

減薄機(jī)減薄到一定的厚度有利于后期封裝工藝。然后通過機(jī)械加工和化學(xué)反應(yīng)的方法對樣品進(jìn)行一系列減薄研磨拋光的工藝，樣品表面到達(dá)所需要的厚度，平整度，粗糙度。 那個在工藝上出現(xiàn)的一些問題需要怎么去解決呢，上蠟后平整度大于正負(fù)5um，我們要調(diào)整蠟層厚度及上蠟的壓力。減薄后厚度均勻性需要對砂輪進(jìn)行修平，校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。當(dāng)減薄后片子出現(xiàn)裂痕我們需要對砂輪進(jìn)行修銳并檢查減薄步進(jìn)速率，當(dāng)研磨拋光后厚度均勻性較差時(shí)，我們要用平面度測量規(guī)測量盤面，用小塊的砝碼重力修正。橫向減薄機(jī)磨削阻力小、工件不會破損。

多工位減薄機(jī)，多工位打磨提高了生產(chǎn)效率和打磨效果，對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)能夠和工件軸完成自動對接，同時(shí)驅(qū)動工件軸自動旋轉(zhuǎn)，提高了打磨過程在工位切換的流暢性。它包括公轉(zhuǎn)平臺，公轉(zhuǎn)平臺上包含多個工位，其中包括至少一個材料取放工位和多個打磨工位，每個工位上均設(shè)置有工件軸，每個打磨工位均設(shè)置有毛刷組件以及用于對工件軸進(jìn)行自動對接并驅(qū)動工件軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)。公轉(zhuǎn)平臺包括安裝在機(jī)座上的轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤與多工位分割器連接，多工位分割器與轉(zhuǎn)盤驅(qū)動電機(jī)連接。藍(lán)寶石減薄機(jī)具有非常高精密的加工能力及雙面平行度控制能力。浙江膠囊減薄機(jī)大全

立式藍(lán)寶石減薄機(jī)在目前LED藍(lán)寶石生產(chǎn)線上，被公認(rèn)為目前國內(nèi)極 好的減薄機(jī)。浙江膠囊減薄機(jī)大全

一種藍(lán)寶石減薄機(jī)，其特征在于該減薄機(jī)包括磨輪、真空吸附頭，磨輪連接于磨輪主軸上，被磨輪主軸帶動旋轉(zhuǎn)，磨輪主軸則固定在磨輪控制機(jī)構(gòu)上，并連接于磨輪電機(jī)；真空吸附頭連接于真空盤主軸，真空盤主軸固定工作臺上，并連接于真空盤電機(jī)；磨輪、真空吸附頭設(shè)置于工作臺上，一工作室設(shè)置于工作臺中部，磨輪、真空吸附頭位置偏心對應(yīng)，且橫向設(shè)置，均位于工作室中。其特征在于該減薄機(jī)還包括有修磨頭，所述修磨頭和真空吸附頭并列排列，共同對應(yīng)于磨輪。浙江膠囊減薄機(jī)大全

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