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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海圓球減薄機(jī)廠家,減薄機(jī)
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硅片自旋轉(zhuǎn)減薄機(jī)的特點(diǎn):(1)可實(shí)現(xiàn)延性域磨削.在加工脆性材料時(shí),,當(dāng)磨削深度小于某--臨界值時(shí),可以實(shí)現(xiàn)延性域磨削通過(guò)大量試驗(yàn)表明,Si材料的脆性、塑性轉(zhuǎn)換臨界值約為0.06m.進(jìn)給速度廠控制在10~m/min,上海圓球減薄機(jī)廠家,承片臺(tái)轉(zhuǎn)速取200r/min,則每轉(zhuǎn)切割深度可達(dá)到0.05m.對(duì)于自旋轉(zhuǎn)磨削由公式可知,上海圓球減薄機(jī)廠家,對(duì)給定的軸向進(jìn)給速度,如果,工作臺(tái)的轉(zhuǎn)速足夠高,就可以實(shí)現(xiàn)極微小磨削深度。(2)可實(shí)現(xiàn)高效磨削.由公式可知,通過(guò)同時(shí)提高硅片轉(zhuǎn)速和砂輪軸向進(jìn)給速度,可以在保持與普通磨削同樣的磨削深度情況下,達(dá)到較高的材料去除率,上海圓球減薄機(jī)廠家,適用于大余量磨削。橫向減薄機(jī)磨削阻力小、工件不會(huì)破損。上海圓球減薄機(jī)廠家
硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理:當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計(jì).為了實(shí)現(xiàn)晶圓的延性域磨削,提高減薄質(zhì)量,通過(guò)減小砂輪軸向進(jìn)給速度實(shí)現(xiàn)微小磨削深度,因此,要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min. 另外,為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下,要盡可能實(shí)現(xiàn)高速返回。國(guó)內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀:國(guó)外硅片超精密磨床制造起步較早,發(fā)展迅速,技術(shù)先進(jìn)其中美國(guó),德國(guó),日本等發(fā)達(dá)國(guó)家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平。目前國(guó)外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化,自動(dòng)化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。浙江精密減薄機(jī)磨料全自動(dòng)減薄機(jī)可實(shí)現(xiàn)盒到盒、干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削加工。
藍(lán)寶石減橫機(jī)是一款用于加工藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、硅片、石英等晶體材料進(jìn)行研磨和減橫的機(jī)器。該減橫機(jī)由吸盤(pán)、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動(dòng)組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。吸盤(pán)可分為電磁吸盤(pán)和真空吸盤(pán),其直徑大小一般為320-600mm。砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減橫機(jī)直徑大小來(lái)定,一般有150-170-210mm的規(guī)格,砂輪的顆粒度是根據(jù)客戶對(duì)工藝的要求定制。砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速,可根據(jù)藍(lán)寶石減橫機(jī)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。
晶圓加工減薄機(jī)吸盤(pán)由網(wǎng)板、安裝孔構(gòu)成,網(wǎng)板為圓形結(jié)構(gòu),網(wǎng)板上兩個(gè)以上的網(wǎng)孔即為安裝孔,安裝孔和氣管活動(dòng)配合。網(wǎng)板的網(wǎng)孔呈均勻等距分布,分布均勻。吸盤(pán)上還設(shè)有軟膠墊,軟膠墊和網(wǎng)板活動(dòng)嵌合,軟膠墊形狀與網(wǎng)板等同,軟膠墊厚度低于網(wǎng)板厚度。氣管由海綿圈、底管、支撐架組成,底管一端銜接有一個(gè)海綿圈,海綿圈正中間嵌有支撐架,底管和通氣腔活動(dòng)配合,海綿圈頂端面光滑。支撐架由圈狀的彈線圈和經(jīng)線垂直交叉形成的圈筒,彈線圈和經(jīng)線材料本身具有一定地彈性。藍(lán)寶石減薄機(jī)是一款用于加工藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、硅片、石英等晶體材料進(jìn)行研磨和減橫的機(jī)器。
減薄機(jī)包括機(jī)架、傳送裝置和打磨裝置,其中,傳送裝置包括可隨中心軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤(pán),轉(zhuǎn)盤(pán)上依次設(shè)置有若干個(gè)圍繞中心軸分布的工位,工位用于放置工件;打磨裝置包括磨頭和用于驅(qū)動(dòng)磨頭運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),磨頭包括轉(zhuǎn)軸和與轉(zhuǎn)軸連接的磨盤(pán),驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架上的首先驅(qū)動(dòng)組件、位于首先驅(qū)動(dòng)組件上并可水平運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)組件和位于第二驅(qū)動(dòng)組件上并可上下運(yùn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)組件,轉(zhuǎn)軸與第三驅(qū)動(dòng)組件連接,以在第三驅(qū)動(dòng)組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng);打磨裝置設(shè)置在轉(zhuǎn)盤(pán)的上方,通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán),可使若干個(gè)工位逐一與打磨裝置的打磨位置對(duì)接。橫向減薄機(jī)平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。浙江精密減薄機(jī)磨料
全自動(dòng)減薄機(jī)可配置單軸、雙軸研削單元;上海圓球減薄機(jī)廠家
硅片酸洗減薄機(jī)箱體內(nèi)支撐有旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及提手組成,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開(kāi)口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī),伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有循環(huán)水管。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、操作方便,實(shí)現(xiàn)硅片單面化學(xué)減薄,不僅生產(chǎn)批量大,而且提高了成品率,節(jié)省資源,降低生產(chǎn)成本。上海圓球減薄機(jī)廠家
文章來(lái)源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2585465.html
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