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價格要求:面議
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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海自動研磨減薄機設(shè)備,減薄機
***更新:2020-12-30 13:20:29
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詳細說明
硅片酸洗減薄機,包括用于盛裝混酸液體的箱體,其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個圓形固定板,上海自動研磨減薄機設(shè)備、橫向連接于兩個圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對稱設(shè)于兩個圓形固定板外周面上的提手組成,圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合,圓柱狀圍籠由圍籠本體,上海自動研磨減薄機設(shè)備、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長度方向均勻間隔設(shè)置多個隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動連接有支座,支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機,上海自動研磨減薄機設(shè)備,伺服電機的電機軸通過傳動機構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。臥式減薄機保證加工成本合理優(yōu)化;上海自動研磨減薄機設(shè)備
一種測量裝置和自動減薄機,其中,測量裝置包括:基準臺、彈性臂和測量頭,彈性臂的一端與基準臺連接,彈性臂的另一端與測量頭連接,彈性臂用于按照預設(shè)頻率帶動測量頭上下移動,測量頭上設(shè)置有與測量頭電連接的顯示屏,測量頭用于測量晶圓片的厚度,顯示屏用于顯示測量數(shù)據(jù)。本實用新型提供的測量裝置,通過測量頭可以在每段自動減薄過程中實時測量晶圓片的厚度,而不是*在每段自動減薄過程完成后才進行晶圓片厚度的測量,可以及時發(fā)現(xiàn)自動減薄過程中的問題并及時處理,極大提高了晶圓片的減薄良率。浙江精密減薄機半自動雙軸減薄機配置采用手動裝片方式,自動厚度測量和補償系統(tǒng)。
硅片減薄機技術(shù)的原理:當前主流晶圓減薄機的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計.為了實現(xiàn)晶圓的延性域磨削,提高減薄質(zhì)量,通過減小砂輪軸向進給速度實現(xiàn)微小磨削深度,因此,要求設(shè)備的進給運動分辨率小于0.1Ixm,進給速度1ixrn/min. 另外,為了提高減薄工藝的效率,進給系統(tǒng)在滿足低速進給的前提下,要盡可能實現(xiàn)高速返回。國內(nèi)外減薄機現(xiàn)狀:國外硅片超精密磨床制造起步較早,發(fā)展迅速,技術(shù)先進其中美國,德國,日本等發(fā)達國家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機較高水平。目前國外生產(chǎn)的減薄機具有高精度,高集成化,自動化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點。
減薄機工件被放置在轉(zhuǎn)盤的若干個工位上,并通過傳送裝置的轉(zhuǎn)盤逐一傳送至打磨位置,驅(qū)動機構(gòu)中的首先驅(qū)動組件和第二驅(qū)動組件驅(qū)動磨頭至打磨位置處,第三驅(qū)動組件驅(qū)動磨頭轉(zhuǎn)動對轉(zhuǎn)盤位于打磨位置處的工位上的工件進行打磨減薄。通過傳送裝置和打磨裝置之間的相互配合,加快了磨削速度,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)能。傳送裝置還包括用于驅(qū)動中心軸轉(zhuǎn)動的第二電機,中心軸一端與轉(zhuǎn)盤固定連接,另一端安裝有首先齒輪,第二電機的輸出端安裝有與首先齒輪相嚙合的第二齒輪。傳送裝置還包括在轉(zhuǎn)盤對應每個工位安裝的吸盤,轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有與每個吸盤的安裝位置對應的吸孔。全自動減薄機采用晶圓機械手取片,帶有自動對中、清洗、干燥功能。
硅片酸洗減薄機箱體內(nèi)支撐有旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個圓形固定板、橫向連接于兩個圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及提手組成,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面均勻間隔設(shè)置多個隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動連接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服電機,伺服電機的電機軸通過傳動機構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有循環(huán)水管。結(jié)構(gòu)設(shè)計合理、操作方便,實現(xiàn)硅片單面化學減薄,不*生產(chǎn)批量大,而且提高了成品率,節(jié)省資源,降低生產(chǎn)成本。減薄機PC工控機系統(tǒng),觸摸屏控制,除手動上、下片外一鍵式自動完成研削加工;浙江精密減薄機
可根據(jù)藍寶石減薄機不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應改變轉(zhuǎn)速。上海自動研磨減薄機設(shè)備
液晶玻璃減薄機利用直角梯形支座斜面上的夾具夾緊液晶玻璃,將液晶玻璃傾斜放置,以倒U形支架上的兩個立板上的出液管道,出液管道在導流板的作用下,分別向液晶玻璃上瀑布式的噴灑刻蝕液以及清洗液,而夾具以及直角梯形支座在首先滑塊與滑軌的滑動作用下,在操作臺的頂部,以及倒U形支架的底部,自由的切換工位,以適應于向液晶玻璃上噴灑刻蝕液以及清洗液,而且噴灑后的刻蝕廢液以及清洗廢液可以分類收集于集液槽中,以瀑布流式對液晶玻璃進行刻蝕,廢液少,玻璃減薄表面光滑,不用拋光,而且玻璃刻蝕減薄后可以直接進行清洗操作,免去要刻蝕后取下液晶玻璃轉(zhuǎn)移工位的繁瑣步驟。上海自動研磨減薄機設(shè)備
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2631177.html
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