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詳細說明
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解,北京真空箱式爐零售價格、化合、激發(fā)和電離,促進反應活性基團的生成,北京真空箱式爐零售價格,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和,北京真空箱式爐零售價格、缺陷失去活性,達到表面鈍化和體鈍化的目的。箱式爐工作時入箱式爐的工件應不超過爐底板.大載荷量,裝卸工件時應確保電源斷開的情況下進行。北京真空箱式爐零售價格
真空箱式爐操作特別提示:(1)配上真空泵,抽取爐內(nèi)的空氣,較大不超過四格指針刻度,當真空表指針下降接近四格時停頓抽氣,充入隋性氣體,使指針歸0位或稍大于0位,再抽氣,充氣,往復3-5次,確保爐腔內(nèi)的保護氣體有一定的濃度;(2)如無真空泵需氣氛保護時,接上進氣管,充入惰性氣體,稍稍放開前面的出氣閥,當充入氣體大于爐膛容積約1.5倍時關(guān)閉出氣口閥門,觀測壓力表大于“0”小于一格;(3)在完成以上內(nèi)容后再在操作面板上設置好需要溫度程序(升溫速度較高不得超過10℃/min)(4)實驗結(jié)束提取試樣前需確保爐內(nèi)溫爐降在安全范圍內(nèi),打開氣閥后方可打開爐門。東莞PECVD管式爐參考價箱式氣氛爐可選擇進口單設定點或40段可編程控制器。
箱式氣氛爐的特點: 1、殼體采用不錯冷軋鋼板雙層結(jié)構(gòu)獨特設計,殼體顏色漆經(jīng)過高溫烘烤而成,經(jīng)久耐用。 2、配有風冷系統(tǒng),該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快等優(yōu)點。 3、真空系統(tǒng)采用特種設計,真空度可達20kPA,氣氛爐壓力0.1MPA,超壓自動、手動排氣功能,使用安全可靠。 4、內(nèi)箱采用整體密封,并通有水冷系統(tǒng),閥控配有進氣閥、排氣閥、抽真空閥,可充氮氣、氬氣等切惰性氣體。 5、爐膛采用進口陶瓷氧化鋁多晶莫來石纖維材料經(jīng)獨特工藝構(gòu)筑,比傳統(tǒng)電爐節(jié)能 6、控制系統(tǒng)采用微電腦人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能,50段程序編程,并可編制各種升溫、恒溫、降溫程序,控溫度高。 7、晶體模塊化可控硅控制、移相觸發(fā);進口不錯硅碳棒為加熱元件。 8、保護裝置采用**超溫保護、過流、漏電、短路保護,箱式氣氛爐爐膛采用莫來石聚輕磚砌筑,爐膛內(nèi)上下用碳化硅棚板,爐內(nèi)溫度是加熱元件在加熱過程中經(jīng)過碳化硅棚板傳導溫度更均勻。
真空管式爐使用時應注意以下事項: 1、使用外殼時,接地線應接地。 2、在使用離心機之前,將其放置在穩(wěn)固,堅固的地面上。 3、使用大氣爐時,如果聲音不正常,應立即關(guān)閉并檢查和維修。 4、使用后,速度調(diào)節(jié)旋鈕應旋轉(zhuǎn)回“0”,然后停止。嚴禁在不停止和打開的情況下打開蓋子。 5、電源打開后,電機不會轉(zhuǎn)動:首先檢查電源線,插頭和插座。如果有任何損壞,應予以更換。如果沒有問題,請檢查波段開關(guān)或壓敏電阻是否損壞或電纜是否斷開。 6、振動嚴重,噪音大:檢查是否存在不平衡問題,固定機的螺母是否松動。如果是緊的,檢查軸承是否損壞或彎曲。如果有,更換軸承,機器蓋板變形或位置不正確,如有必要,進行調(diào)整。箱式氣氛爐設有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進反應活性基團的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達到表面鈍化和體鈍化的目的。 真空管式爐使用后,速度調(diào)節(jié)旋鈕應旋轉(zhuǎn)回“0”,然后停止。廣東箱式氣氛爐零售價格
馬弗爐煤質(zhì)分析用于測定水分、灰分、揮發(fā)分、灰熔點分析、灰成分分析、元素分析。北京真空箱式爐零售價格
馬弗爐的注意事項 1.使用時爐門要輕關(guān)輕開,以防損壞機件。坩堝鉗放取樣品時要輕拿輕放,以保證安全和避免損壞爐膛。 2.溫度超過600度后不要打開爐門。等爐膛內(nèi)溫度自然冷卻后再打開爐門。 3.實驗完畢后,樣品退出加熱并關(guān)掉電源,在爐膛內(nèi)放取樣品時,應先微開爐門,待樣品稍冷卻后再小心夾取樣品,防止燙傷。 4.加熱后的坩堝宜轉(zhuǎn)移到干燥器中冷卻,放置緩沖耐火材料上,防止吸潮炸,裂,后稱量。 搬運馬弗爐時,注意避免嚴重共振,放置遠離易燃易爆、水等物品。嚴禁抬爐門,避免爐門損壞。北京真空箱式爐零售價格
深圳市迪斯普設備有限公司致力于機械及行業(yè)設備,是一家生產(chǎn)型公司。公司自成立以來,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個細節(jié),公司旗下鋰電池鈕扣設備,鋰電池18650圓柱設備,鋰電池聚合物軟包設備,馬氟爐,管式爐,球磨機深受客戶的喜愛。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,努力學習行業(yè)知識,遵守行業(yè)規(guī)范,植根于機械及行業(yè)設備行業(yè)的發(fā)展。迪斯普設備立足于全國市場,依托強大的研發(fā)實力,融合前沿的技術(shù)理念,飛快響應客戶的變化需求。
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