減薄機(jī)包括機(jī)架、傳送裝置和打磨裝置，其中，傳送裝置包括可隨中心軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)上依次設(shè)置有若干個(gè)圍繞中心軸分布的工位，江蘇氣動(dòng)減薄機(jī)磨料，工位用于放置工件；打磨裝置包括磨頭和用于驅(qū)動(dòng)磨頭運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，磨頭包括轉(zhuǎn)軸和與轉(zhuǎn)軸連接的磨盤(pán)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架上的首先驅(qū)動(dòng)組件、位于首先驅(qū)動(dòng)組件上并可水平運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)組件和位于第二驅(qū)動(dòng)組件上并可上下運(yùn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)組件，轉(zhuǎn)軸與第三驅(qū)動(dòng)組件連接，江蘇氣動(dòng)減薄機(jī)磨料，以在第三驅(qū)動(dòng)組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)；打磨裝置設(shè)置在轉(zhuǎn)盤(pán)的上方，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)，江蘇氣動(dòng)減薄機(jī)磨料，可使若干個(gè)工位逐一與打磨裝置的打磨位置對(duì)接。藍(lán)寶石減薄機(jī)能加工工件厚度在5u以下的工件。江蘇氣動(dòng)減薄機(jī)磨料

硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理：當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計(jì).為了實(shí)現(xiàn)晶圓的延性域磨削，提高減薄質(zhì)量，通過(guò)減小砂輪軸向進(jìn)給速度實(shí)現(xiàn)微小磨削深度,因此，要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min. 另外，為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下，要盡可能實(shí)現(xiàn)高速返回。國(guó)內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀：國(guó)外硅片超精密磨床制造起步較早，發(fā)展迅速，技術(shù)先進(jìn)其中美國(guó),德國(guó)，日本等發(fā)達(dá)國(guó)家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平。目前國(guó)外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化,自動(dòng)化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。江蘇氣動(dòng)減薄機(jī)磨料減薄機(jī)可讓樣品表面到達(dá)所需要的厚度，平整度，粗糙度。

硅片酸洗減薄機(jī)伺服電機(jī)可在支座的帶動(dòng)下斷開(kāi)與旋轉(zhuǎn)提籃的傳動(dòng)連接，則旋轉(zhuǎn)提籃就能被順利取出箱體，以便于打開(kāi)圓柱狀圍籠的籠蓋取出減薄后的硅片，操作方便；通過(guò)設(shè)于箱體內(nèi)的調(diào)溫用的耐腐蝕循環(huán)水管，實(shí)現(xiàn)酸溫測(cè)量、酸溫控制，避免了酸溫過(guò)高造成的浮膠現(xiàn)象，酸溫過(guò)低硅片腐蝕速度慢、漂片不均勻，保證了腐蝕反應(yīng)符合設(shè)計(jì)計(jì)算要求的腐蝕效率和均勻性?；瘜W(xué)減薄方式對(duì)于成品芯片壓降等動(dòng)態(tài)參數(shù)的提升起到非常重要的作用，且有效的降低了磷擴(kuò)時(shí)間，達(dá)到節(jié)能的目的。

藍(lán)寶石減橫機(jī)絲桿進(jìn)給組件采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動(dòng)方式為伺服驅(qū)動(dòng)。由以上組件構(gòu)成的藍(lán)寶石減橫機(jī)具有非常高精密的加工能力及雙面平行度控制能力，它能加工工件厚度在5u以下的工件。并且不發(fā)生斷裂、塌邊、劃痕等現(xiàn)象。藍(lán)寶石減橫機(jī)目前以前已經(jīng)有了兩種機(jī)型、臥式藍(lán)寶石減橫機(jī)及立式藍(lán)寶石減橫機(jī)，前者一般加工直接在200mm以?xún)?nèi)的工件，后者加工直徑在300-500mm的工件。該種藍(lán)寶石減橫機(jī)，在目前LED藍(lán)寶石生產(chǎn)線上，被公認(rèn)為目前國(guó)內(nèi)極好的減橫機(jī)。在我們使用減薄機(jī)之前我們要提前半小時(shí)磨料配比及攪拌工作。

多工位減薄機(jī)自定位工件座，多工位打磨提高了生產(chǎn)效率和打磨效果，公轉(zhuǎn)平臺(tái)運(yùn)行過(guò)程中，對(duì)接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠和工件軸完成自動(dòng)對(duì)接，同時(shí)驅(qū)動(dòng)工件軸自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，提高了工位切換的流暢性。它包括公轉(zhuǎn)平臺(tái)，公轉(zhuǎn)平臺(tái)上包含多個(gè)工位，其中包括至少一個(gè)材料取放工位和多個(gè)打磨工位，每個(gè)工位上均設(shè)置有工件軸，打磨工位上安裝有用于對(duì)工件軸進(jìn)行自動(dòng)對(duì)接并驅(qū)動(dòng)工件軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的對(duì)接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；工件軸包括負(fù)壓吸盤(pán)、負(fù)壓吸盤(pán)驅(qū)動(dòng)軸和固定連接驅(qū)動(dòng)軸上的工件軸齒輪，負(fù)壓吸盤(pán)底部設(shè)置有氣管旋轉(zhuǎn)接頭；減薄機(jī)減薄后的襯底背后還存在表面損害層，從而影響成品率。江蘇圓管減薄機(jī)生產(chǎn)廠家

橫向減薄機(jī)采用CNC程控系統(tǒng)，觸摸屏操作面板。江蘇氣動(dòng)減薄機(jī)磨料

硅片酸洗減薄機(jī)，包括用于盛裝混酸液體的箱體，其特征在于:箱體內(nèi)設(shè)有支架并利用支架支撐有用于裝夾硅片的旋轉(zhuǎn)提籃，旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及對(duì)稱(chēng)設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外周面上的提手組成，圓形固定板、圓柱狀圍籠和轉(zhuǎn)軸的軸心線重合，圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成，半圓狀籠蓋的開(kāi)口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接，圍籠本體底面極低位置處沿圍籠本體長(zhǎng)度方向均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱，箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座，支座的水平板面延伸向箱體內(nèi)頂部且水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī)，伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸相連，箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有調(diào)節(jié)溫度的耐腐蝕循環(huán)水管。江蘇氣動(dòng)減薄機(jī)磨料

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