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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海手動(dòng)減薄機(jī)廠家,減薄機(jī)
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硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理:當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計(jì).為了實(shí)現(xiàn)晶圓的延性域磨削,提高減薄質(zhì)量,通過(guò)減小砂輪軸向進(jìn)給速度實(shí)現(xiàn)微小磨削深度,因此,要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min. 另外,為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下,要盡可能實(shí)現(xiàn)高速返回。國(guó)內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀:國(guó)外硅片超精密磨床制造起步較早,發(fā)展迅速,技術(shù)先進(jìn)其中美國(guó),德國(guó),上海手動(dòng)減薄機(jī)廠家,日本等發(fā)達(dá)國(guó)家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平。目前國(guó)外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化,自動(dòng)化,上海手動(dòng)減薄機(jī)廠家,上海手動(dòng)減薄機(jī)廠家,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。我們通過(guò)減薄機(jī)研磨的方式對(duì)晶片襯底進(jìn)行減薄,從而改善芯片散熱效果。上海手動(dòng)減薄機(jī)廠家
多工位減薄機(jī)限位裝置為螺栓,螺栓與支撐塊之間通過(guò)螺紋連接,螺栓的末端正對(duì)擺齒齒輪座的側(cè)面。毛刷組件包括立柱,立柱上設(shè)置有縱向?qū)к墸v向?qū)к壣习惭b有升降座,升降座上安裝有打磨電機(jī),打磨電機(jī)的輸出軸連接打磨主軸,打磨主軸底部連接磨盤(pán),升降座與升降機(jī)構(gòu)連接。升降機(jī)構(gòu)包括升降電機(jī)、與升降電機(jī)輸出軸連接的首先滾珠絲桿,首先滾珠絲桿上的螺帽與升降座上的支塊固定連接。它還包括基座,基座的上端設(shè)置有橫向?qū)к?,橫向?qū)к壣习惭b有滑塊,立柱固定在滑塊上。浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全減薄機(jī)減薄后厚度均勻性需要對(duì)砂輪進(jìn)行修平,校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。
液晶玻璃減薄機(jī)操作臺(tái)的右端設(shè)有電動(dòng)推桿,電動(dòng)推桿活塞桿的端部與連接板的右側(cè)面固定連接。利用電動(dòng)推桿推動(dòng)連接板,從而推動(dòng)首先滑塊頂部的夾具,對(duì)夾具上夾裝的液晶玻璃進(jìn)行工位的轉(zhuǎn)移,轉(zhuǎn)移至左側(cè)立板的底部,對(duì)液晶玻璃進(jìn)行刻蝕液的刻蝕,轉(zhuǎn)移至右側(cè)立板的底部,對(duì)液晶玻璃進(jìn)行刻蝕后的清洗。支桿設(shè)有四個(gè),且四個(gè)支桿均與直角梯形支座斜面相垂直。夾具包括固定設(shè)于支桿上的回字形框以及設(shè)于回字形框四個(gè)邊角內(nèi)側(cè)的通過(guò)彈簧連接的直角夾板。利用直角夾板對(duì)液晶玻璃的四個(gè)角進(jìn)行夾緊。立板頂部固定氣缸的活塞桿的端部與第二滑塊的頂部固定連接。利用氣缸推動(dòng)第二滑塊下移,使得噴嘴以及導(dǎo)流板移至液晶玻璃右側(cè)頂部,對(duì)液晶玻璃進(jìn)行刻蝕以及清洗工藝處理。
液晶玻璃減薄機(jī),包括操作臺(tái),操作臺(tái)的頂部前后兩端對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)橫向設(shè)置的滑軌,兩個(gè)滑軌上對(duì)稱滑動(dòng)連接的首先滑塊之間通過(guò)連接板連接,兩個(gè)首先滑塊的頂部通過(guò)倒U形支座,倒U形支座頂部的直角梯形支座斜面通過(guò)支桿與夾裝有液晶玻璃的夾具固定連接,操作臺(tái)的頂部中間位置設(shè)有橫向設(shè)置的倒U形支架,倒U形支架上左右對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)立板,立板前側(cè)面的滑槽上滑動(dòng)連接有第二滑塊,第二滑塊前側(cè)面固定螺接有L形支板,L形支板頂部左側(cè)設(shè)有縱向設(shè)置的出液管道,出液管道的底部等距離排列設(shè)有若干噴嘴,噴嘴的內(nèi)側(cè)設(shè)有與L形支板螺接連接的導(dǎo)流板,操作臺(tái)上且位于兩個(gè)滑軌的內(nèi)側(cè)左右對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)與立板垂直對(duì)稱設(shè)置的集液槽。半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)產(chǎn)品粗磨后移動(dòng)至精磨位置,自動(dòng)研削至目標(biāo)值。
硅片酸洗減薄機(jī),傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由固定于伺服電機(jī)的電機(jī)軸端部的小錐齒輪和固定于旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸端部的大錐齒輪組成。支架由兩個(gè)對(duì)稱布置于旋轉(zhuǎn)提籃兩側(cè)的立板組成,立板上設(shè)有對(duì)應(yīng)旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸的U形槽,轉(zhuǎn)軸位于U形槽的槽底,以方便放置、取出旋轉(zhuǎn)提籃。鎖扣由設(shè)于圍籠本體上的旋轉(zhuǎn)扭和設(shè)于半圓狀籠蓋上的鎖孔組成,旋轉(zhuǎn)扭穿過(guò)鎖孔后旋轉(zhuǎn)90度到達(dá)鎖緊位置。圓柱狀圍籠由柔性耐腐蝕材料編制而成,以具有徑向伸展空間。支座的水平板面上另設(shè)有配重,以平衡掉伺服電機(jī)的重量?;郎狭碓O(shè)有對(duì)應(yīng)支座的定位機(jī)構(gòu),以保證傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接可靠。箱體內(nèi)中部和下部均設(shè)有溫度傳感器。箱體的外側(cè)設(shè)有保溫層。立式藍(lán)寶石減薄機(jī)在目前LED藍(lán)寶石生產(chǎn)線上,被公認(rèn)為目前國(guó)內(nèi)極 好的減薄機(jī)。上海手動(dòng)減薄機(jī)廠家
減薄機(jī)減薄時(shí)如果研磨或者拋光的過(guò)程中有明顯的細(xì)微劃痕,我們就要清洗陶瓷盤(pán)/環(huán);上海手動(dòng)減薄機(jī)廠家
酸洗減薄機(jī)一般是直接將單晶硅片放進(jìn)清洗設(shè)備的內(nèi)部,通過(guò)直接對(duì)設(shè)備內(nèi)部加注進(jìn)行輔助加工的酸性溶液進(jìn)行工作,但是直接的擺放硅片可能會(huì)在進(jìn)行加工的過(guò)程中對(duì)其造成損傷,并且飛濺的碎屑也會(huì)對(duì)其他的硅片造成損傷,無(wú)法保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量和加工效率,浪費(fèi)資源增加了運(yùn)營(yíng)成本的問(wèn)題。吸盤(pán)式晶元硅片減薄機(jī)清洗滾筒的外側(cè)固定連接有連接軸,清洗滾筒的表面活動(dòng)安裝有密封門(mén),清洗滾筒內(nèi)固定安裝有固定桿,固定桿之間活動(dòng)安裝有安裝吸盤(pán),安裝吸盤(pán)上預(yù)留有吸氣孔,安裝吸盤(pán)的外側(cè)活動(dòng)安裝有密封圈,設(shè)備機(jī)箱的內(nèi)側(cè)下端固定安裝有導(dǎo)流板,導(dǎo)流板的兩側(cè)活動(dòng)安裝有安裝板,安裝板遠(yuǎn)離清洗滾筒的一側(cè)固定安裝有阻隔板,設(shè)備機(jī)箱的右側(cè)下端活動(dòng)安裝有控制閥,控制閥的下端開(kāi)設(shè)有廢液出口。上海手動(dòng)減薄機(jī)廠家
文章來(lái)源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2746979.html
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