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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海不銹鋼管減薄機(jī)公司,減薄機(jī)
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晶圓加工減薄機(jī)吸盤由網(wǎng)板、安裝孔構(gòu)成,網(wǎng)板為圓形結(jié)構(gòu),網(wǎng)板上兩個(gè)以上的網(wǎng)孔即為安裝孔,安裝孔和氣管活動(dòng)配合。網(wǎng)板的網(wǎng)孔呈均勻等距分布,分布均勻。吸盤上還設(shè)有軟膠墊,軟膠墊和網(wǎng)板活動(dòng)嵌合,軟膠墊形狀與網(wǎng)板等同,上海不銹鋼管減薄機(jī)公司,軟膠墊厚度低于網(wǎng)板厚度。氣管由海綿圈、底管,上海不銹鋼管減薄機(jī)公司、支撐架組成,底管一端銜接有一個(gè)海綿圈,海綿圈正中間嵌有支撐架,底管和通氣腔活動(dòng)配合,海綿圈頂端面光滑,上海不銹鋼管減薄機(jī)公司。支撐架由圈狀的彈線圈和經(jīng)線垂直交叉形成的圈筒,彈線圈和經(jīng)線材料本身具有一定地彈性。立式藍(lán)寶石減薄機(jī)加工直徑在300-500mm的工件。上海不銹鋼管減薄機(jī)公司
新型的減薄機(jī)吸盤裝置,包括砂輪主軸及通過螺釘安裝在砂輪主軸下方的砂輪,其砂輪主軸上端連接有動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置;其特征在于:的砂輪主軸通過螺釘與砂輪組成一體式結(jié)構(gòu)的磨削裝置,其的磨削裝置下方設(shè)有磨削工作臺(tái),的磨削工作臺(tái)包括真空裝置及通過螺釘安裝在真空裝置上方的吸盤,由于真空裝置的腔體與吸盤形成了一體式的真空吸盤,且吸盤上通過真空吸附有上設(shè)有簇狀吸附孔的散熱工作臺(tái),且散熱工作臺(tái)由鋁或不銹鋼或鋁箔制成,其使吸盤的真空吸附通過簇狀吸附孔將磨削工件吸附在散熱工作臺(tái)上。上海自動(dòng)金相減薄機(jī)生產(chǎn)廠家減薄機(jī)減薄后的襯底背后還存在表面損害層,從而影響成品率。
晶圓加工減薄機(jī),其結(jié)構(gòu)包括遮蓋、研磨頭、開合器、吸盤結(jié)構(gòu)、機(jī)體、控制面板,機(jī)體前端面上設(shè)有控制面板,機(jī)體頂端一側(cè)活動(dòng)安裝有遮蓋,遮蓋和機(jī)體之間開安裝有開合器,遮蓋內(nèi)壁正中間安裝有研磨頭,和研磨頭相對(duì)應(yīng)的機(jī)體頂端面上安裝有吸盤結(jié)構(gòu),吸盤結(jié)構(gòu)和研磨頭相互配合。吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)有輸氣器、吸盤、氣管,吸盤位于輸氣器正上方,輸氣器和吸盤活動(dòng)卡合,吸盤上設(shè)有兩個(gè)以上的氣管,氣管和吸盤活動(dòng)卡合。吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)有堵頭,堵頭和吸盤活動(dòng)配合。輸氣器由抽氣管、底盤、通氣腔組成,底盤內(nèi)部設(shè)有通氣腔,通氣腔另一端貫穿底盤另一端,底盤另一端正中間設(shè)有抽氣管,抽氣管和底盤互相垂直,抽氣管和通氣腔貫通,通氣腔靠近抽氣管的那端比另一端要窄。
一種藍(lán)寶石減薄機(jī),其特征在于該減薄機(jī)包括磨輪、真空吸附頭,磨輪連接于磨輪主軸上,被磨輪主軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn),磨輪主軸則固定在磨輪控制機(jī)構(gòu)上,并連接于磨輪電機(jī);真空吸附頭連接于真空盤主軸,真空盤主軸固定工作臺(tái)上,并連接于真空盤電機(jī);磨輪、真空吸附頭設(shè)置于工作臺(tái)上,一工作室設(shè)置于工作臺(tái)中部,磨輪、真空吸附頭位置偏心對(duì)應(yīng),且橫向設(shè)置,均位于工作室中。其特征在于該減薄機(jī)還包括有修磨頭,所述修磨頭和真空吸附頭并列排列,共同對(duì)應(yīng)于磨輪。減薄機(jī)可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺(tái),滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝;
立式減薄機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動(dòng)方式是伺服驅(qū)動(dòng),可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速,也就是砂輪的進(jìn)刀速度,速度0.001-5mm/min可調(diào),控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測(cè)。采用先進(jìn)的中國(guó)臺(tái)灣品牌PLC和觸摸屏,自動(dòng)化程度高,實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話,操作簡(jiǎn)單一目了然。設(shè)備可檢測(cè)磨削扭力、自動(dòng)調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損,自動(dòng)補(bǔ)償砂輪磨損厚度尺寸,可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會(huì)破碎。減薄機(jī)研磨墊的機(jī)械性質(zhì)影響到薄膜表面的平坦度以及均勻度,所以控制結(jié)構(gòu)及機(jī)械性質(zhì)是非常重要的。上海不銹鋼管減薄機(jī)公司
藍(lán)寶石減薄機(jī)絲桿進(jìn)給組件采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動(dòng)方式為伺服驅(qū)動(dòng)。上海不銹鋼管減薄機(jī)公司
多工位減薄機(jī)限位裝置為螺栓,螺栓與支撐塊之間通過螺紋連接,螺栓的末端正對(duì)擺齒齒輪座的側(cè)面。毛刷組件包括立柱,立柱上設(shè)置有縱向?qū)к?,縱向?qū)к壣习惭b有升降座,升降座上安裝有打磨電機(jī),打磨電機(jī)的輸出軸連接打磨主軸,打磨主軸底部連接磨盤,升降座與升降機(jī)構(gòu)連接。升降機(jī)構(gòu)包括升降電機(jī)、與升降電機(jī)輸出軸連接的首先滾珠絲桿,首先滾珠絲桿上的螺帽與升降座上的支塊固定連接。它還包括基座,基座的上端設(shè)置有橫向?qū)к墸瑱M向?qū)к壣习惭b有滑塊,立柱固定在滑塊上。上海不銹鋼管減薄機(jī)公司
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2808680.html
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