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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海石頭減薄機,減薄機
***更新:2021-01-22 05:13:31
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詳細說明
半自動雙軸減薄機配置自動厚度測量和補償系統(tǒng),產(chǎn)品粗磨后移動至精磨位置,自動研削至目標值。兩個砂輪軸,上海石頭減薄機,無需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工;全自動減薄機是配有全自動上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備,采用晶圓機械手取片,帶有自動對中、清洗、干燥功能,可實現(xiàn)盒到盒、干進干出的全自動研削加工,上海石頭減薄機??膳渲脝屋S,上海石頭減薄機、雙軸研削單元;全自動上下片,干進干出的全自動研削系統(tǒng);臥式減薄機是一款性價比比較高的小型高精度研削設(shè)備,采用砂輪軸橫臥的安裝方式,手動裝片,通過砂輪進給控制研削量。全自動減薄機可配置單軸、雙軸研削單元;上海石頭減薄機
在LED芯片的制作流程中,將厚片減薄是關(guān)系到成品極終良率的關(guān)鍵,所謂厚片,是指經(jīng)過前道工序但未經(jīng)過厚度減薄處理的晶圓片。減薄工藝主要是利用自動減薄機將晶圓片的藍寶石襯底部分減薄。自動減薄機通常包括:工作臺和砂輪,其中,工作臺上先放置陶瓷盤,再將厚片通過蠟粘貼在陶瓷盤上,砂輪用于磨削厚片,砂輪與工作臺反向旋轉(zhuǎn)。為了保證減薄后晶圓片的厚度及粗糙度達到要求,減薄過程通常分段進行,每段設(shè)置不同的工藝參數(shù)以及目標厚度,經(jīng)過多段減薄極終達到工藝要求。在這過程中,對于晶圓片厚度的檢測,是在每段減薄完成后自動減薄機停下來進行測量的。上海石頭減薄機橫向減薄機可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會破碎。
立式減薄機平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。減薄效率高,LED藍寶石襯底每分鐘磨削速度極高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度極高可減薄250微米。其應(yīng)用于IC封裝晶圓背減工藝,化合物材料、紅外材料及其他硬脆或復(fù)合材料的薄化工藝;適用于陶瓷、玻璃等基板類產(chǎn)品的超薄平坦化加工;使用Grinding工藝可在大部分產(chǎn)品上彌補Lapping工藝無法實現(xiàn)的100mm及以下超薄加工的需要;可以優(yōu)化Lapping工藝的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化鋁、碲鋅鎘、鈮酸鋰、藍寶石、砷化鎵和碳化硅等。藍寶石減薄機砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速。
多工位減薄機工件軸包括負壓吸盤、負壓吸盤驅(qū)動軸和固定連接驅(qū)動軸上的工件軸齒輪,負壓吸盤底部設(shè)置有氣管旋轉(zhuǎn)接頭。對接驅(qū)動機構(gòu)包括固定座、支撐塊、工件軸驅(qū)動電機、齒輪軸、擺齒齒輪座、驅(qū)動主齒輪和驅(qū)動從齒輪,其中,工件軸驅(qū)動電機安裝在固定座上,齒輪軸與工件軸驅(qū)動電機的輸出軸連接,驅(qū)動主齒輪固定在齒輪軸上,擺齒齒輪座安裝在齒輪軸上,且擺齒齒輪座可繞齒輪軸自由擺動,驅(qū)動從齒輪安裝在擺齒齒輪座上且可自由轉(zhuǎn)動,驅(qū)動從齒輪與驅(qū)動主齒輪嚙合連接,擺齒齒輪座在遠離驅(qū)動從齒輪的一端和支撐塊之間連接有彈簧,支撐塊上安裝有用于對擺齒齒輪座擺動時位置進行限定的限位裝置。立式藍寶石減薄機在目前LED藍寶石生產(chǎn)線上,被公認為目前國內(nèi)極好的減薄機。
一種藍寶石減薄機,其特征在于該減薄機包括磨輪、真空吸附頭,磨輪連接于磨輪主軸上,被磨輪主軸帶動旋轉(zhuǎn),磨輪主軸則固定在磨輪控制機構(gòu)上,并連接于磨輪電機;真空吸附頭連接于真空盤主軸,真空盤主軸固定工作臺上,并連接于真空盤電機;磨輪、真空吸附頭設(shè)置于工作臺上,一工作室設(shè)置于工作臺中部,磨輪、真空吸附頭位置偏心對應(yīng),且橫向設(shè)置,均位于工作室中。其特征在于該減薄機還包括有修磨頭,所述修磨頭和真空吸附頭并列排列,共同對應(yīng)于磨輪。玻璃減薄機大全藍寶石減薄機由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿進給組件等組成。半自動雙軸減薄機配置采用手動裝片方式,自動厚度測量和補償系統(tǒng)。上海石頭減薄機
清洗滾筒在定位板上等間距設(shè)置有三組,且清洗滾筒上對稱設(shè)置有兩個連接軸。上海石頭減薄機
設(shè)計合理、結(jié)構(gòu)簡單、操作靈活、成本低、效率高、不易產(chǎn)生粉塵的機場跑道中線除線減薄機。在機架后端設(shè)置有后輪安裝架和小電機,小電機固定在電機罩上,后輪安裝架下部安裝有后輪,小電機的輸出軸與小刀盤相連接,機架中部設(shè)置有電機固定架,電機固定架上左右對稱安裝有大電機,大電機的輸出軸與大刀盤相連接,電機固定架外側(cè)設(shè)置有沿著安裝在機架上的軌道滑行的滾輪,電機固定架的左右兩側(cè)設(shè)置有吊架,機架的前端設(shè)置有前輪安裝架,前輪安裝架下部安裝有前導向輪,機架下部設(shè)置有除渣罩,除渣罩內(nèi)安裝有貫穿機架的真空接管。全自動減薄機是配有全自動上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備。上海石頭減薄機
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2955570.html
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