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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái),減薄機(jī)
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詳細(xì)說明
晶圓減薄機(jī),是在制作集成電路中的晶圓體減小尺寸,為了制作更復(fù)雜的集成電路。集成電路制造技術(shù)的進(jìn)步首先來源于市場(chǎng)需求的要求,其次是競(jìng)爭(zhēng)的要求。在集成電路制造中,浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái),半導(dǎo)體硅材料由于其資源豐富,制造成本低,工藝性好,是集成電路重要的基體材料。從集成電路斷面結(jié)構(gòu)來看,大部分集成電路是在硅基體材料的淺表面層上制造。由于制造工藝的要求,對(duì)晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出比較高要求,浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái)。因此在幾百道工藝流程中,浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái),不可采用較薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工藝過程中傳遞、流片。減薄機(jī)減薄時(shí)如果研磨或者拋光的過程中有明顯的細(xì)微劃痕,我們就要清洗陶瓷盤/環(huán)。浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
設(shè)計(jì)合理、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作靈活、成本低、效率高、不易產(chǎn)生粉塵的機(jī)場(chǎng)跑道中線除線減薄機(jī)。在機(jī)架后端設(shè)置有后輪安裝架和小電機(jī),小電機(jī)固定在電機(jī)罩上,后輪安裝架下部安裝有后輪,小電機(jī)的輸出軸與小刀盤相連接,機(jī)架中部設(shè)置有電機(jī)固定架,電機(jī)固定架上左右對(duì)稱安裝有大電機(jī),大電機(jī)的輸出軸與大刀盤相連接,電機(jī)固定架外側(cè)設(shè)置有沿著安裝在機(jī)架上的軌道滑行的滾輪,電機(jī)固定架的左右兩側(cè)設(shè)置有吊架,機(jī)架的前端設(shè)置有前輪安裝架,前輪安裝架下部安裝有前導(dǎo)向輪,機(jī)架下部設(shè)置有除渣罩,除渣罩內(nèi)安裝有貫穿機(jī)架的真空接管。浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái)吸盤可分為電磁吸盤和真空吸盤,其直徑大小一般為320-600mm。
一種測(cè)量裝置和自動(dòng)減薄機(jī),其中,測(cè)量裝置包括:基準(zhǔn)臺(tái)、彈性臂和測(cè)量頭,彈性臂的一端與基準(zhǔn)臺(tái)連接,彈性臂的另一端與測(cè)量頭連接,彈性臂用于按照預(yù)設(shè)頻率帶動(dòng)測(cè)量頭上下移動(dòng),測(cè)量頭上設(shè)置有與測(cè)量頭電連接的顯示屏,測(cè)量頭用于測(cè)量晶圓片的厚度,顯示屏用于顯示測(cè)量數(shù)據(jù)。本實(shí)用新型提供的測(cè)量裝置,通過測(cè)量頭可以在每段自動(dòng)減薄過程中實(shí)時(shí)測(cè)量晶圓片的厚度,而不是*在每段自動(dòng)減薄過程完成后才進(jìn)行晶圓片厚度的測(cè)量,可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)自動(dòng)減薄過程中的問題并及時(shí)處理,極大提高了晶圓片的減薄良率。
多工位減薄機(jī)對(duì)接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、支撐塊、工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)、齒輪軸、擺齒齒輪座、驅(qū)動(dòng)主齒輪和驅(qū)動(dòng)從齒輪,其中,工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在固定座上,齒輪軸與工件軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接,驅(qū)動(dòng)主齒輪固定在齒輪軸上,擺齒齒輪座安裝在齒輪軸上,且擺齒齒輪座可繞齒輪軸自由擺動(dòng),驅(qū)動(dòng)從齒輪安裝在擺齒齒輪座上且可自由轉(zhuǎn)動(dòng),驅(qū)動(dòng)從齒輪與驅(qū)動(dòng)主齒輪嚙合連接,擺齒齒輪座在遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)從齒輪的一端和支撐塊之間連接有彈簧,支撐塊上安裝有用于對(duì)擺齒齒輪座擺動(dòng)時(shí)位置進(jìn)行限定的限位裝置。全自動(dòng)減薄機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):兼容性好。
硅片酸洗減薄機(jī)箱體內(nèi)支撐有旋轉(zhuǎn)提籃,旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及提手組成,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱,箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī),伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸相連,箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有循環(huán)水管。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、操作方便,實(shí)現(xiàn)硅片單面化學(xué)減薄,不*生產(chǎn)批量大,而且提高了成品率,節(jié)省資源,降低生產(chǎn)成本。研磨墊的機(jī)械性質(zhì)影響到薄膜表面的平坦度以及均勻度,所以控制結(jié)構(gòu)及機(jī)械性質(zhì)是非常重要的。浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
減薄機(jī)具有自動(dòng)測(cè)厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求;浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
全自動(dòng)減薄機(jī)是配有全自動(dòng)上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備,采用晶圓機(jī)械手取片,帶有自動(dòng)對(duì)中、清洗、干燥功能,可實(shí)現(xiàn)盒到盒、干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削加工。產(chǎn)品特點(diǎn):1、功能周全:具有自動(dòng)測(cè)厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求。2、配置豐富:可配置單軸、雙軸研削單元。3、全自動(dòng)系統(tǒng):全自動(dòng)上下片,干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削系統(tǒng)。4、兼容性好:可根據(jù)客戶需求定制各類工作臺(tái),滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝。浙江玻璃減薄機(jī)多少錢一臺(tái)
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2969283.html
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