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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海磁力減薄機(jī)設(shè)備,減薄機(jī)
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一種藍(lán)寶石減薄機(jī),其特征在于該減薄機(jī)包括磨輪、真空吸附頭,磨輪連接于磨輪主軸上,被磨輪主軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn),磨輪主軸則固定在磨輪控制機(jī)構(gòu)上,并連接于磨輪電機(jī);真空吸附頭連接于真空盤主軸,真空盤主軸固定工作臺(tái)上,并連接于真空盤電機(jī);磨輪、真空吸附頭設(shè)置于工作臺(tái)上,上海磁力減薄機(jī)設(shè)備,一工作室設(shè)置于工作臺(tái)中部,磨輪、真空吸附頭位置偏心對(duì)應(yīng),且橫向設(shè)置,均位于工作室中。其特征在于該減薄機(jī)還包括有修磨頭,上海磁力減薄機(jī)設(shè)備,所述修磨頭和真空吸附頭并列排列,上海磁力減薄機(jī)設(shè)備,共同對(duì)應(yīng)于磨輪。藍(lán)寶石減薄機(jī)具有非常高精密的加工能力及雙面平行度控制能力。上海磁力減薄機(jī)設(shè)備
硅片酸洗減薄機(jī)通過(guò)旋轉(zhuǎn)提籃帶動(dòng)硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)減薄,對(duì)于原始硅片有效的控制了單片均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性,提高了極終成品率;旋轉(zhuǎn)提籃的圓柱狀圍籠對(duì)硅片具有盛裝并固定位置的作用,防止由于硅片在圍籠內(nèi)晃動(dòng)導(dǎo)致碎片,安全可靠;由于圓柱狀圍籠底部沿其長(zhǎng)度方向均勻設(shè)有多個(gè)隔棱,則可實(shí)現(xiàn)大量硅片的同時(shí)裝夾,實(shí)現(xiàn)硅片減薄的批量生產(chǎn),明顯提高了工作效率,同時(shí)也方便了對(duì)硅片的夾裝工作,一致性好;伺服電機(jī)可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)提籃在一定周期內(nèi)交替正、反轉(zhuǎn),明顯增強(qiáng)硅片表面的減薄均勻性;減薄機(jī)減薄后厚度均勻性需要對(duì)砂輪進(jìn)行修平,校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。上海磁力減薄機(jī)設(shè)備減薄機(jī)減薄到一定的厚度有利于后期封裝工藝。
單晶硅片是由純度極高的單晶硅制成,是一種具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體,單晶硅圓片也成為晶元,是生產(chǎn)集成電路所用的載體,在集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用。在晶元硅片的使用過(guò)程中,有時(shí)需要對(duì)晶元表面進(jìn)行減薄處理。然而,現(xiàn)有市場(chǎng)上的晶元減薄機(jī)一般是直接將單晶硅片放進(jìn)清洗設(shè)備的內(nèi)部,通過(guò)直接對(duì)設(shè)備內(nèi)部加注進(jìn)行輔助加工的酸性溶液進(jìn)行工作,但是直接的擺放硅片可能會(huì)在進(jìn)行加工的過(guò)程中對(duì)其造成損傷,并且飛濺的碎屑也會(huì)對(duì)其他的硅片造成損傷,無(wú)法保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量和加工效率,浪費(fèi)資源增加了運(yùn)營(yíng)的成本。
減薄機(jī)的首先驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)置在機(jī)架上的水平導(dǎo)軌和與水平導(dǎo)軌的滑塊固定連接的滑板。首先驅(qū)動(dòng)組件還包括用于驅(qū)動(dòng)滑板移動(dòng)的首先氣缸,首先氣缸的缸體與機(jī)架固定連接,首先氣缸的伸縮桿與滑板固定連接。第二驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)置在滑板上的豎直導(dǎo)軌和與豎直導(dǎo)軌的滑塊固定連接的連接架,磨頭位于連接架下方且與連接架轉(zhuǎn)動(dòng)連接,滑板設(shè)有可供磨頭穿過(guò)的孔。第二驅(qū)動(dòng)組件還包括用于驅(qū)動(dòng)連接架上下運(yùn)行的第二氣缸,豎直導(dǎo)軌一端與滑板固定連接,另一端固定有安裝板,第二氣缸的缸體與安裝板固定連接,第二氣缸的伸縮桿與連接架固定連接。第三驅(qū)動(dòng)組件包括安裝在連接架上、用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的首先電機(jī),首先電機(jī)的輸出端和轉(zhuǎn)軸均設(shè)有齒輪且通過(guò)同步帶連接。在減薄機(jī)使用前我們應(yīng)該檢查真空壓力值,砂輪環(huán)使用一段時(shí)間后應(yīng)該及時(shí)做修銳工作。減薄機(jī)PC工控機(jī)系統(tǒng),觸摸屏控制,除手動(dòng)上、下片外一鍵式自動(dòng)完成研削加工。
磨床是利用磨具對(duì)工件表面進(jìn)行磨削加工的機(jī)床。隨著高精度、高硬度機(jī)械零件數(shù)量的增加,以及精密鑄造和精密鍛造工藝的發(fā)展,磨床的性能、品種和產(chǎn)量都在不斷的提高和增長(zhǎng)。大多數(shù)的磨床是使用高速旋轉(zhuǎn)的砂輪進(jìn)行磨削加工,少數(shù)的是使用油石、砂輪等其他磨具和游離磨料進(jìn)行加工。磨床能加工硬度較高的材料,如淬硬鋼、硬質(zhì)合金等;也能加工脆性材料,如花崗石、玻璃。但是,目前市場(chǎng)上對(duì)平面玻璃產(chǎn)品進(jìn)行磨削加工的磨床,磨削速度慢,生產(chǎn)效率和產(chǎn)能低。減薄機(jī),旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中磨床磨削速度慢,生產(chǎn)效率和產(chǎn)能低的問(wèn)題。減薄機(jī)可讓樣品表面到達(dá)所需要的厚度,平整度,粗糙度。上海磁力減薄機(jī)設(shè)備
橫向減薄機(jī)平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。上海磁力減薄機(jī)設(shè)備
吸盤式晶元硅片減薄機(jī)阻隔板在設(shè)備機(jī)箱內(nèi)關(guān)于清洗滾筒對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè),且阻隔板的長(zhǎng)度大于等于安裝板的長(zhǎng)度。導(dǎo)流板為傾斜角度設(shè)計(jì),且導(dǎo)流板的長(zhǎng)度等于阻隔板之間的距離。進(jìn)液管為“L”型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),且進(jìn)液管上等間距設(shè)置有三個(gè)分流管。固定槽為向內(nèi)凹陷的圓形結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),且固定槽和安裝卡塊相互配適,并且固定槽和安裝卡塊相會(huì)對(duì)應(yīng)設(shè)置有兩組。清洗滾筒在定位板上等間距設(shè)置有三組,且清洗滾筒上對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)連接軸。設(shè)備機(jī)箱的右側(cè)下端活動(dòng)安裝有控制閥,控制閥的下端開設(shè)有廢液出口。上海磁力減薄機(jī)設(shè)備
文章來(lái)源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3037982.html
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