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詳細(xì)說明
pecvd管式爐煙囪和煙道:其作用是將爐膛的煙氣排入大氣中,cvd管式爐,內(nèi)部均用耐火和保溫材料襯里。為調(diào)節(jié)煙氣排除速度,還裝有可活動(dòng)擋板。煙氣流動(dòng)為上抽式的加熱爐煙囪安裝在對(duì)流室上部;煙氣流動(dòng)為下行式的加熱爐,煙囪安裝在爐側(cè),廣州立式爐高校**,并設(shè)有煙道。吹灰器:其主要作用是防止積灰,管式爐膛,盡量保持爐管表面始終干凈,廣州立式爐高校**,pecvd管式爐,廣州立式爐高校**,用以強(qiáng)化對(duì)流管的對(duì)流傳熱,管式爐,提高爐的熱效率。煉廠應(yīng)用的吹灰器有自動(dòng)伸縮式和固定旋轉(zhuǎn)式兩種。馬弗爐按加熱元件區(qū)分有:電爐絲馬弗爐、硅碳棒馬弗爐、硅鉬棒馬弗爐。廣州立式爐高校**
PECVD工作原理是什么?PECVD技術(shù)是在低氣壓下,利用低bai溫等離子體在工藝腔體的陰極du上(即zhi樣品放置的托盤)產(chǎn)生輝光放電,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),較終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。在反應(yīng)過程中,反應(yīng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入爐腔,逐漸擴(kuò)散至樣品表面,在射頻源激發(fā)的電場(chǎng)作用下,反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團(tuán)等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物,這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長(zhǎng)成島狀物,島狀物繼續(xù)生長(zhǎng)成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長(zhǎng)過程中,各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。 廣州立式爐高校**真空箱式爐系列陶瓷纖維爐襯熱處理爐引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)、秉承歐洲工業(yè)爐高性能、自動(dòng)化程度高。
真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,真空電阻爐普遍應(yīng)用于金屬材料在低真空、還原性、保護(hù)性氣氛下的熱處理;也可以用于特殊材料的熱處理。二、設(shè)備特點(diǎn)1、設(shè)計(jì)理念本系列陶瓷纖維爐襯熱處理爐引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)、秉承歐洲工業(yè)爐高性能、自動(dòng)化程度高、操作界面簡(jiǎn)單易學(xué)的特點(diǎn);2、自動(dòng)化控制1.控溫方式:控溫?zé)犭娕己椭悄軘?shù)顯溫控儀表、可控硅模塊和移相觸發(fā)系統(tǒng)、電加熱元件組成閉環(huán)控制系統(tǒng),自動(dòng)控制爐內(nèi)各區(qū)的溫度,并保持全爐膛內(nèi)溫度均勻一致;2.負(fù)載恒流、恒壓、恒功控制技術(shù),根據(jù)不同負(fù)載特性,有效的保護(hù)斷電引起損壞負(fù)載問題;3.可設(shè)置多條時(shí)間曲線,曲線總段數(shù)多達(dá)20段;4.具有“給定值+時(shí)間值”和“升溫段+恒溫段”兩種程序設(shè)置模式可選;5.所有參數(shù)可按鍵設(shè)定,數(shù)據(jù)自動(dòng)保存不丟失;3、一體化結(jié)構(gòu)電控系統(tǒng)與爐體一體化結(jié)構(gòu)、操作簡(jiǎn)單,減少占位。
真空管式爐均系周期作業(yè)式。供實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)、科研單位作元素分析測(cè)定和般小型鋼件的淬火、退火、回火和電子陶瓷等新材料的加熱用。其特點(diǎn)是安全可靠、節(jié)能、升降溫度速度快、耗能低、使用壽命。真空管式爐在初次使用的時(shí)候,為了保證其使用壽命,需要注意以下細(xì)節(jié),起來看看吧! 1、爐子初次使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。 爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。 2、產(chǎn)生失透缺陷屬于正常現(xiàn)象 爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。 3、冷爐使用時(shí),低溫段升溫速率不易過快 冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。電爐對(duì)溫度的調(diào)節(jié)不需過快,應(yīng)逐檔調(diào)節(jié),以免電流過大燒壞碳棒及其它電氣器件。
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司真空箱式爐操作特別提示:(1)配上真空泵,抽取爐內(nèi)的空氣,較大不超過四格指針刻度,當(dāng)真空表指針下降接近四格時(shí)停頓抽氣,充入隋性氣體,使指針歸0位或稍大于0位,再抽氣,充氣,往復(fù)3-5次,確保爐腔內(nèi)的保護(hù)氣體有一定的濃度;(2)如無真空泵需氣氛保護(hù)時(shí),接上進(jìn)氣管,充入惰性氣體,稍稍放開前面的出氣閥,當(dāng)充入氣體大于爐膛容積約1.5倍時(shí)關(guān)閉出氣口閥門,觀測(cè)壓力表大于“0”小于一格;(3)在完成以上內(nèi)容后再在操作面板上設(shè)置好需要溫度程序(升溫速度較高不得超過10℃/min)(4)實(shí)驗(yàn)結(jié)束提取試樣前需確保爐內(nèi)溫爐降在安全范圍內(nèi),打開氣閥后方可打開爐門。爐子初次使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在 120℃左右烘烤 1 小時(shí),在 300℃左右烘烤 2 小時(shí)后使用。深圳箱式爐批發(fā)價(jià)
多溫區(qū)管式爐爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì),各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快(≤5℃)。廣州立式爐高校**
CVD管式爐使用注意事項(xiàng):1.冷爐使用時(shí),由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。2.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。4.爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。 廣州立式爐高校**
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