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PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對(duì)化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,東莞管式爐參考價(jià),東莞管式爐參考價(jià),促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和,東莞管式爐參考價(jià)、缺陷失去活性,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。箱式氣氛爐爐門采用循環(huán)式水冷。設(shè)有進(jìn)出水接頭。東莞管式爐參考價(jià)
立式管式爐的詳細(xì)使用方法以及在使用的時(shí)候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應(yīng)的電氣設(shè)備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機(jī)的儀表說明書。用戶開關(guān)板是給電爐送電的,這個(gè)之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設(shè)定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達(dá)到6千瓦。2、程序設(shè)定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時(shí)候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時(shí)候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時(shí)候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會(huì)損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長(zhǎng)時(shí)間不用時(shí),要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。 東莞管式爐參考價(jià)馬弗爐按加熱元件區(qū)分有:電爐絲馬弗爐、硅碳棒馬弗爐、硅鉬棒馬弗爐。
CVD管式爐使用注意事項(xiàng):1.冷爐使用時(shí),由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。2.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。4.爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。
pecvd管式爐煙囪和煙道:其作用是將爐膛的煙氣排入大氣中,cvd管式爐,內(nèi)部均用耐火和保溫材料襯里。為調(diào)節(jié)煙氣排除速度,還裝有可活動(dòng)擋板。煙氣流動(dòng)為上抽式的加熱爐煙囪安裝在對(duì)流室上部;煙氣流動(dòng)為下行式的加熱爐,煙囪安裝在爐側(cè),并設(shè)有煙道。吹灰器:其主要作用是防止積灰,管式爐膛,盡量保持爐管表面始終干凈,pecvd管式爐,用以強(qiáng)化對(duì)流管的對(duì)流傳熱,管式爐,提高爐的熱效率。煉廠應(yīng)用的吹灰器有自動(dòng)伸縮式和固定旋轉(zhuǎn)式兩種。PECVD管式爐在使用時(shí)氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū),沉積速度更快,成膜效果更好。
一種管式加熱爐,包括加熱爐本體和余熱回收系統(tǒng),加熱爐本體內(nèi)設(shè)置有煙囪檔板,加熱爐本體于煙囪檔板下方設(shè)置有高溫?zé)煔獬隹?,余熱回收系統(tǒng)包括空氣預(yù)熱器,其特征在于:空氣預(yù)熱器由非冷凝式空氣預(yù)熱器和冷凝式空氣預(yù)熱器兩段組成,非冷凝式空氣預(yù)熱器上設(shè)置有非冷凝式空氣預(yù)熱器煙氣入口、非冷凝式空氣預(yù)熱器空氣出口、非冷凝式空氣預(yù)熱器煙氣出口和非冷凝式空氣預(yù)熱器空氣入口,內(nèi)部設(shè)有非冷凝式空氣預(yù)熱器調(diào)節(jié)檔板,非冷凝式空氣預(yù)熱器煙氣入口通過高溫?zé)煔夤艿琅c加熱爐本體上的高溫?zé)煔獬隹谙噙B,冷凝式空氣預(yù)熱器上設(shè)有冷凝式空氣預(yù)熱器煙氣入口、冷凝式空氣預(yù)熱器空氣出口和冷凝式空氣預(yù)熱器空氣入口,內(nèi)部設(shè)有冷凝式空氣預(yù)熱器調(diào)節(jié)檔板,非冷凝式空氣預(yù)熱器煙氣出口與冷凝式空氣預(yù)熱器煙氣入口之間通過兩預(yù)熱器間煙氣管道相連,非冷凝式空氣預(yù)熱器空氣入口與冷凝式空氣預(yù)熱器空氣進(jìn)口之間通過兩預(yù)熱器間空氣管道相連,余熱回收系統(tǒng)中另設(shè)有冷凝液收集池、引風(fēng)機(jī)和鼓風(fēng)機(jī),冷凝液收集池直接設(shè)在冷凝式空氣預(yù)熱器下方,引風(fēng)機(jī)與冷凝液收集池相連接,鼓風(fēng)機(jī)與冷凝式空氣預(yù)熱器相連。箱式氣氛爐電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu),整個(gè)電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè),結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小。東莞箱式氣氛爐操作規(guī)程
爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu),雙層爐殼之間裝有風(fēng)機(jī),可以快速升降溫,爐殼表面溫度低。東莞管式爐參考價(jià)
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,真空電阻爐普遍應(yīng)用于金屬材料在低真空、還原性、保護(hù)性氣氛下的熱處理;也可以用于特殊材料的熱處理。二、設(shè)備特點(diǎn)1、設(shè)計(jì)理念本系列陶瓷纖維爐襯熱處理爐引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)、秉承歐洲工業(yè)爐高性能、自動(dòng)化程度高、操作界面簡(jiǎn)單易學(xué)的特點(diǎn);2、自動(dòng)化控制1.控溫方式:控溫?zé)犭娕己椭悄軘?shù)顯溫控儀表、可控硅模塊和移相觸發(fā)系統(tǒng)、電加熱元件組成閉環(huán)控制系統(tǒng),自動(dòng)控制爐內(nèi)各區(qū)的溫度,并保持全爐膛內(nèi)溫度均勻一致;2.負(fù)載恒流、恒壓、恒功控制技術(shù),根據(jù)不同負(fù)載特性,有效的保護(hù)斷電引起損壞負(fù)載問題;3.可設(shè)置多條時(shí)間曲線,曲線總段數(shù)多達(dá)20段;4.具有“給定值+時(shí)間值”和“升溫段+恒溫段”兩種程序設(shè)置模式可選;5.所有參數(shù)可按鍵設(shè)定,數(shù)據(jù)自動(dòng)保存不丟失;3、一體化結(jié)構(gòu)電控系統(tǒng)與爐體一體化結(jié)構(gòu)、操作簡(jiǎn)單,減少占位。 東莞管式爐參考價(jià)
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3122844.html
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