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產(chǎn)品關鍵詞:廣州PECVD管式爐參考價格,爐
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詳細說明
立式管式爐的詳細使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應的電氣設備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機的儀表說明書。用戶開關板是給電爐送電的,這個之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達到6千瓦。2、程序設定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時候,廣州PECVD管式爐參考價格,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時,廣州PECVD管式爐參考價格,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,廣州PECVD管式爐參考價格,設置升溫速率時應充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。 馬弗爐使用時爐膛溫度不得超過較高爐溫,也不得在額定溫度下長時間工作。廣州PECVD管式爐參考價格
儀表的內(nèi)部參數(shù)不要亂改,以防電爐不能正常運行。爐門輕關輕拉。1、爐子初次使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。2、禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。3、爐體若采用硅鉬棒做加熱元件,依據(jù)硅鉬棒的物理特性,常溫下脆性很大,因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動爐體。4、冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。5、定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。6、硅鉬棒作為加熱元件時不宜在400-700℃溫度段長時間運行,否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。 茂名CVD管式爐特價CVD管式爐使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時。
真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,真空電阻爐普遍應用于金屬材料在低真空、還原性、保護性氣氛下的熱處理;也可以用于特殊材料的熱處理。二、設備特點1、設計理念本系列陶瓷纖維爐襯熱處理爐引進國外先進技術、秉承歐洲工業(yè)爐高性能、自動化程度高、操作界面簡單易學的特點;2、自動化控制1.控溫方式:控溫熱電偶和智能數(shù)顯溫控儀表、可控硅模塊和移相觸發(fā)系統(tǒng)、電加熱元件組成閉環(huán)控制系統(tǒng),自動控制爐內(nèi)各區(qū)的溫度,并保持全爐膛內(nèi)溫度均勻一致;2.負載恒流、恒壓、恒功控制技術,根據(jù)不同負載特性,有效的保護斷電引起損壞負載問題;3.可設置多條時間曲線,曲線總段數(shù)多達20段;4.具有“給定值+時間值”和“升溫段+恒溫段”兩種程序設置模式可選;5.所有參數(shù)可按鍵設定,數(shù)據(jù)自動保存不丟失;3、一體化結(jié)構(gòu)電控系統(tǒng)與爐體一體化結(jié)構(gòu)、操作簡單,減少占位。
PECVD工作原理是什么?PECVD技術是在低氣壓下,利用低bai溫等離子體在工藝腔體的陰極du上(即zhi樣品放置的托盤)產(chǎn)生輝光放電,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經(jīng)一系列化學反應和等離子體反應,較終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。在反應過程中,反應氣體從進氣口進入爐腔,逐漸擴散至樣品表面,在射頻源激發(fā)的電場作用下,反應氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發(fā)生化學反應,生成形成膜的初始成分和副反應物,這些生成物以化學鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。 爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。
立式管式爐的詳細使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應的電氣設備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機的儀表說明書。用戶開關板是給電爐送電的,這個之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達到6千瓦。2、程序設定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。 PECVD管式爐進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。廣東立式爐廠家**
爐子初次使用或長時間不用后,要在 120℃左右烘烤 1 小時,在 300℃左右烘烤 2 小時后使用。廣州PECVD管式爐參考價格
pecvd管式爐煙囪和煙道:其作用是將爐膛的煙氣排入大氣中,cvd管式爐,內(nèi)部均用耐火和保溫材料襯里。為調(diào)節(jié)煙氣排除速度,還裝有可活動擋板。煙氣流動為上抽式的加熱爐煙囪安裝在對流室上部;煙氣流動為下行式的加熱爐,煙囪安裝在爐側(cè),并設有煙道。吹灰器:其主要作用是防止積灰,管式爐膛,盡量保持爐管表面始終干凈,pecvd管式爐,用以強化對流管的對流傳熱,管式爐,提高爐的熱效率。煉廠應用的吹灰器有自動伸縮式和固定旋轉(zhuǎn)式兩種。廣州PECVD管式爐參考價格
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3127066.html
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