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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海減薄機(jī)種類,減薄機(jī)
***更新:2021-02-02 11:17:47
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晶圓加工減薄機(jī),其結(jié)構(gòu)包括遮蓋、研磨頭、開合器、吸盤結(jié)構(gòu)、機(jī)體、控制面板,機(jī)體前端面上設(shè)有控制面板,機(jī)體頂端一側(cè)活動安裝有遮蓋,遮蓋和機(jī)體之間開安裝有開合器,遮蓋內(nèi)壁正中間安裝有研磨頭,和研磨頭相對應(yīng)的機(jī)體頂端面上安裝有吸盤結(jié)構(gòu),吸盤結(jié)構(gòu)和研磨頭相互配合。吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)有輸氣器、吸盤、氣管,吸盤位于輸氣器正上方,輸氣器和吸盤活動卡合,吸盤上設(shè)有兩個以上的氣管,氣管和吸盤活動卡合。吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)有堵頭,上海減薄機(jī)種類,堵頭和吸盤活動配合。輸氣器由抽氣管,上海減薄機(jī)種類、底盤,上海減薄機(jī)種類、通氣腔組成,底盤內(nèi)部設(shè)有通氣腔,通氣腔另一端貫穿底盤另一端,底盤另一端正中間設(shè)有抽氣管,抽氣管和底盤互相垂直,抽氣管和通氣腔貫通,通氣腔靠近抽氣管的那端比另一端要窄。多工位減薄機(jī)限位裝置為螺栓,螺栓與支撐塊之間通過螺紋連接,螺栓的末端正對擺齒齒輪座的側(cè)面。上海減薄機(jī)種類
硅片酸洗減薄機(jī),傳動機(jī)構(gòu)由固定于伺服電機(jī)的電機(jī)軸端部的小錐齒輪和固定于旋轉(zhuǎn)提籃的其中一側(cè)轉(zhuǎn)軸端部的大錐齒輪組成。支架由兩個對稱布置于旋轉(zhuǎn)提籃兩側(cè)的立板組成,立板上設(shè)有對應(yīng)旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸的U形槽,轉(zhuǎn)軸位于U形槽的槽底,以方便放置、取出旋轉(zhuǎn)提籃。鎖扣由設(shè)于圍籠本體上的旋轉(zhuǎn)扭和設(shè)于半圓狀籠蓋上的鎖孔組成,旋轉(zhuǎn)扭穿過鎖孔后旋轉(zhuǎn)90度到達(dá)鎖緊位置。圓柱狀圍籠由柔性耐腐蝕材料編制而成,以具有徑向伸展空間。支座的水平板面上另設(shè)有配重,以平衡掉伺服電機(jī)的重量?;郎狭碓O(shè)有對應(yīng)支座的定位機(jī)構(gòu),以保證傳動機(jī)構(gòu)連接可靠。箱體內(nèi)中部和下部均設(shè)有溫度傳感器。箱體的外側(cè)設(shè)有保溫層。上海雙面減薄機(jī)售價(jià)半自動雙軸減薄機(jī)是一款安裝兩個砂輪軸的高精度研削設(shè)備,采用手動裝片方式。
減薄機(jī)采用真空吸盤,硅片等脆性材料要求減薄厚度在微米之間,比較容易損壞,甚至可能在磨削過程中已經(jīng)損壞,比較難磨削達(dá)到要求。并且硅片、蘭寶石在磨削過程中產(chǎn)生熱量比較小,它們本身自帶散熱性,而陶瓷片等不具有散熱性或散熱性比較小,片子磨削較薄,在磨削產(chǎn)生熱量和冷卻過程中,由于表面和內(nèi)部產(chǎn)生溫差,膨脹程度不同而形成過大的內(nèi)應(yīng)力,將會引起片子的變形和損壞,減薄的片子本身材料脆,厚度薄,比較難確保在厚度達(dá)標(biāo)的情況下保證片子完好無損。減薄機(jī)采用手動裝片方式,配置自動厚度測量和補(bǔ)償系統(tǒng),可自動研削至目標(biāo)值。
多工位減薄機(jī)滑塊通過手搖機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)在橫向?qū)к壣系奈恢茫謸u機(jī)構(gòu)包括絲桿和手柄,絲桿與滑塊底部的凸塊之間通過螺紋連接?;瑝K與電動機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)在橫向?qū)к壣系奈恢?,電動機(jī)構(gòu)包括調(diào)節(jié)電機(jī)、與調(diào)節(jié)電機(jī)輸出軸連接的絲桿,絲桿與滑塊底部的凸塊之間通過螺紋連接。多工位減薄機(jī)提高了生產(chǎn)效率和打磨效果,對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)能夠和工件軸完成自動對接,同時(shí)驅(qū)動工件軸自動旋轉(zhuǎn),提高了打磨過程在工位切換的流暢性。磨盤在打磨過程中的上下高度可以通過升降機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)。通過調(diào)節(jié)磨盤的上下位置可以實(shí)現(xiàn)打磨量可調(diào),進(jìn)而提高了打磨效果。減薄機(jī)減薄時(shí)如果研磨或者拋光的過程中有明顯的細(xì)微劃痕,我們就要清洗陶瓷盤/環(huán);
磨床是利用磨具對工件表面進(jìn)行磨削加工的機(jī)床。隨著高精度、高硬度機(jī)械零件數(shù)量的增加,以及精密鑄造和精密鍛造工藝的發(fā)展,磨床的性能、品種和產(chǎn)量都在不斷的提高和增長。大多數(shù)的磨床是使用高速旋轉(zhuǎn)的砂輪進(jìn)行磨削加工,少數(shù)的是使用油石、砂輪等其他磨具和游離磨料進(jìn)行加工。磨床能加工硬度較高的材料,如淬硬鋼、硬質(zhì)合金等;也能加工脆性材料,如花崗石、玻璃。但是,目前市場上對平面玻璃產(chǎn)品進(jìn)行磨削加工的磨床,磨削速度慢,生產(chǎn)效率和產(chǎn)能低。減薄機(jī),旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中磨床磨削速度慢,生產(chǎn)效率和產(chǎn)能低的問題。半自動雙軸減薄機(jī)配置采用手動裝片方式,自動厚度測量和補(bǔ)償系統(tǒng)。上海減薄機(jī)種類
減薄機(jī)通過機(jī)械加工和化學(xué)反應(yīng)的方法對樣品進(jìn)行一系列減薄研磨拋光。上海減薄機(jī)種類
硅片酸洗減薄機(jī)通過旋轉(zhuǎn)提籃帶動硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)減薄,對于原始硅片有效的控制了單片均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性,提高了極終成品率;旋轉(zhuǎn)提籃的圓柱狀圍籠對硅片具有盛裝并固定位置的作用,防止由于硅片在圍籠內(nèi)晃動導(dǎo)致碎片,安全可靠;由于圓柱狀圍籠底部沿其長度方向均勻設(shè)有多個隔棱,則可實(shí)現(xiàn)大量硅片的同時(shí)裝夾,實(shí)現(xiàn)硅片減薄的批量生產(chǎn),明顯提高了工作效率,同時(shí)也方便了對硅片的夾裝工作,一致性好;伺服電機(jī)可帶動旋轉(zhuǎn)提籃在一定周期內(nèi)交替正、反轉(zhuǎn),明顯增強(qiáng)硅片表面的減薄均勻性;當(dāng)減薄機(jī)研磨拋光后厚度均勻性較差時(shí),我們要用平面度測量規(guī)測量盤面,用小塊的砝碼重力修正。上海減薄機(jī)種類
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3127408.html
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