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產(chǎn)品關鍵詞:深圳真空管式爐零售價格,爐
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詳細說明
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學氣相沉積過程施加影響的技術,深圳真空管式爐零售價格。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進反應活性基團的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達到表面鈍化和體鈍化的目的,深圳真空管式爐零售價格。 電爐對溫度的調(diào)節(jié)不需過快,深圳真空管式爐零售價格,應逐檔調(diào)節(jié),以免電流過大燒壞碳棒及其它電氣器件。深圳真空管式爐零售價格
多溫區(qū)管式爐的保養(yǎng):一、爐子使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。二、爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質,各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快(≤5℃),嚴禁在爐管100℃以上取送物料。有利于爐管的熱應力的均勻釋放,以延長爐管的使用壽命。爐膛若采用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是石英管的一個固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。三、管式爐在氣氛條件下使用,氣體在高溫下會膨脹,導致管內(nèi)壓力變大,使用者應及時開啟針閥,排出氣體。 北京立式爐批發(fā)價真空管式爐在使用離心機之前,將其放置在穩(wěn)固,堅固的地面上。
箱式爐的安全操作:1、清理爐內(nèi)鐵屑,清掃爐底板,以免鐵屑落于電阻絲上造成短路損壞。2、入箱式爐的工件應不超過爐底板.大載荷量,裝卸工件時應確保電源斷開的情況下進行。3、汪意檢查熱電偶安裝位置。熱電偶插入爐內(nèi)后,應保證不與工件相碰。4、根據(jù)工件的圖紙要求,試驗箱式爐,確定合理的工藝范圍。按時升溫,保證出爐操作,經(jīng)常檢查儀表溫度并進行校準,防止誤操作。5、為保證爐溫,不能隨便打開箱式爐爐門,檢查爐內(nèi)情況應從爐門孔中觀察。6、冷卻劑應放置于就近方便的位置,減少工件出爐后降溫。7、出爐時應工位正確,夾持穩(wěn)固,防止熾熱工件傷害人體。8、箱式爐檢修后,必須按規(guī)定進行烘烤,并檢查爐堂及頂部保溫粉是否填滿,接地是否與爐殼緊固。
多溫區(qū)管式爐注意事項:1.多溫區(qū)管式爐操作注意事項爐子初次使用或長時間不用后,要在120度左右烘爐1小時,在300度左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。2.禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保護顱內(nèi)清潔。3.爐體若采用硅鉬棒做加熱元件,依據(jù)硅鉬棒的物理特性,常溫下脆性很大,因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動爐體,4.冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不宜過快,各種溫度段的升溫速率差別不宜太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質,以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛,5.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是良好,應特別注意加熱元件的各連接是否緊固。6.硅鉬棒作為加熱元件時不宜在400-700度溫度段長時間運行,否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。7.硅鉬棒做加熱元件時,長時間運行,阻值會逐漸增大,這種現(xiàn)象叫“老化”。 箱式氣氛爐節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層外殼結構,具有升降溫速度快,能耗低。
深圳市迪斯普設備有限公司多溫區(qū)管式爐簡介多溫區(qū)管式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和40段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,雙(多)溫區(qū)管式爐爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,雙(多)溫區(qū)管式爐雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),能快速升降溫,采用99高純剛玉管、兩端用不銹鋼法蘭密封,用浮子流量計控制進氣流量、該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。真空箱式爐可設置多條時間曲線,曲線總段數(shù)多達20段。北京立式爐批發(fā)價
箱式氣氛爐爐門采用循環(huán)式水冷。設有進出水接頭。深圳真空管式爐零售價格
pecvd管式爐煙囪和煙道:其作用是將爐膛的煙氣排入大氣中,cvd管式爐,內(nèi)部均用耐火和保溫材料襯里。為調(diào)節(jié)煙氣排除速度,還裝有可活動擋板。煙氣流動為上抽式的加熱爐煙囪安裝在對流室上部;煙氣流動為下行式的加熱爐,煙囪安裝在爐側,并設有煙道。吹灰器:其主要作用是防止積灰,管式爐膛,盡量保持爐管表面始終干凈,pecvd管式爐,用以強化對流管的對流傳熱,管式爐,提高爐的熱效率。煉廠應用的吹灰器有自動伸縮式和固定旋轉式兩種。 深圳真空管式爐零售價格
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3132375.html
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