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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:江蘇不銹鋼管減薄機(jī),減薄機(jī)
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硅片酸洗減薄機(jī)通過旋轉(zhuǎn)提籃帶動(dòng)硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)減薄,江蘇不銹鋼管減薄機(jī),對(duì)于原始硅片有效的控制了單片均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性,提高了極終成品率;旋轉(zhuǎn)提籃的圓柱狀圍籠對(duì)硅片具有盛裝并固定位置的作用,防止由于硅片在圍籠內(nèi)晃動(dòng)導(dǎo)致碎片,安全可靠;由于圓柱狀圍籠底部沿其長度方向均勻設(shè)有多個(gè)隔棱,則可實(shí)現(xiàn)大量硅片的同時(shí)裝夾,江蘇不銹鋼管減薄機(jī),實(shí)現(xiàn)硅片減薄的批量生產(chǎn),江蘇不銹鋼管減薄機(jī),明顯提高了工作效率,同時(shí)也方便了對(duì)硅片的夾裝工作,一致性好;伺服電機(jī)可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)提籃在一定周期內(nèi)交替正、反轉(zhuǎn),明顯增強(qiáng)硅片表面的減薄均勻性;在集成電路制造中,半導(dǎo)體硅材料由于其資源豐富,制造成本低,工藝性好,是集成電路重要的基體材料。江蘇不銹鋼管減薄機(jī)
立式減薄機(jī)平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。減薄效率高,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘磨削速度極高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度極高可減薄250微米。其應(yīng)用于IC封裝晶圓背減工藝,化合物材料、紅外材料及其他硬脆或復(fù)合材料的薄化工藝;適用于陶瓷、玻璃等基板類產(chǎn)品的超薄平坦化加工;使用Grinding工藝可在大部分產(chǎn)品上彌補(bǔ)Lapping工藝無法實(shí)現(xiàn)的100mm及以下超薄加工的需要;可以優(yōu)化Lapping工藝的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化鋁、碲鋅鎘、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、砷化鎵和碳化硅等。江蘇不銹鋼管減薄機(jī)藍(lán)寶石減薄機(jī)砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速。
吸盤式晶元硅片減薄機(jī)阻隔板在設(shè)備機(jī)箱內(nèi)關(guān)于清洗滾筒對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè),且阻隔板的長度大于等于安裝板的長度。導(dǎo)流板為傾斜角度設(shè)計(jì),且導(dǎo)流板的長度等于阻隔板之間的距離。進(jìn)液管為“L”型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),且進(jìn)液管上等間距設(shè)置有三個(gè)分流管。固定槽為向內(nèi)凹陷的圓形結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),且固定槽和安裝卡塊相互配適,并且固定槽和安裝卡塊相會(huì)對(duì)應(yīng)設(shè)置有兩組。清洗滾筒在定位板上等間距設(shè)置有三組,且清洗滾筒上對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)連接軸。設(shè)備機(jī)箱的右側(cè)下端活動(dòng)安裝有控制閥,控制閥的下端開設(shè)有廢液出口。減薄機(jī)研磨墊圖形大體的功能是研磨墊之孔隙度可以協(xié)助研磨液于研磨過程輸送到不同的一些區(qū)域。
液晶玻璃減薄機(jī)操作臺(tái)的右端設(shè)有電動(dòng)推桿,電動(dòng)推桿活塞桿的端部與連接板的右側(cè)面固定連接。利用電動(dòng)推桿推動(dòng)連接板,從而推動(dòng)首先滑塊頂部的夾具,對(duì)夾具上夾裝的液晶玻璃進(jìn)行工位的轉(zhuǎn)移,轉(zhuǎn)移至左側(cè)立板的底部,對(duì)液晶玻璃進(jìn)行刻蝕液的刻蝕,轉(zhuǎn)移至右側(cè)立板的底部,對(duì)液晶玻璃進(jìn)行刻蝕后的清洗。支桿設(shè)有四個(gè),且四個(gè)支桿均與直角梯形支座斜面相垂直。夾具包括固定設(shè)于支桿上的回字形框以及設(shè)于回字形框四個(gè)邊角內(nèi)側(cè)的通過彈簧連接的直角夾板。利用直角夾板對(duì)液晶玻璃的四個(gè)角進(jìn)行夾緊。立板頂部固定氣缸的活塞桿的端部與第二滑塊的頂部固定連接。利用氣缸推動(dòng)第二滑塊下移,使得噴嘴以及導(dǎo)流板移至液晶玻璃右側(cè)頂部,對(duì)液晶玻璃進(jìn)行刻蝕以及清洗工藝處理。減薄機(jī)減薄時(shí)如果研磨或者拋光的過程中有明顯的細(xì)微劃痕,我們就要清洗陶瓷盤/環(huán)。
臥式減薄機(jī)是一款性價(jià)比比較高的小型高精度研削設(shè)備,采用砂輪軸橫臥的安裝方式,手動(dòng)裝片,通過砂輪進(jìn)給控制研削量。設(shè)備工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化,應(yīng)用普遍。產(chǎn)品特點(diǎn):1、功能周全:具有多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求。2、操作簡便:PC工控機(jī)系統(tǒng),觸摸屏操控,除手動(dòng)上、下片外一鍵式自動(dòng)完成減薄加工。3、兼容性好:可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺(tái),滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝。4、性價(jià)比高:保證加工成本合理優(yōu)化。全自動(dòng)減薄機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):兼容性好。江蘇不銹鋼管減薄機(jī)
伺服電機(jī)可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)提籃在一定周期內(nèi)交替正、反轉(zhuǎn),明顯增強(qiáng)硅片表面的減薄均勻性。江蘇不銹鋼管減薄機(jī)
硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理:當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計(jì)。為了實(shí)現(xiàn)晶圓的延性域磨削,提高減薄質(zhì)量,通過減小砂輪軸向進(jìn)給速度實(shí)現(xiàn)微小磨削深度,因此,要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min。另外,為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下,要盡可能實(shí)現(xiàn)高速返回。國內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀:國外硅片超精密磨床制造起步較早,發(fā)展迅速,技術(shù)先進(jìn)其中美國,德國,日本等發(fā)達(dá)國家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平。目前國外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化,自動(dòng)化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。橫向減薄機(jī)平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng),產(chǎn)品粗磨后移動(dòng)至精磨位置,自動(dòng)研削至目標(biāo)值。兩個(gè)砂輪軸,無需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工;全自動(dòng)減薄機(jī)是配有全自動(dòng)上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備,采用晶圓機(jī)械手取片,帶有自動(dòng)對(duì)中、清洗、干燥功能,可實(shí)現(xiàn)盒到盒、干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削加工。江蘇不銹鋼管減薄機(jī)
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3136714.html
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