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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:廣東CVD管式爐參考價(jià),爐
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多溫區(qū)管式爐注意事項(xiàng):1.多溫區(qū)管式爐操作注意事項(xiàng)爐子初次使用或長時(shí)間不用后,要在120度左右烘爐1小時(shí),在300度左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。2.禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保護(hù)顱內(nèi)清潔。3.爐體若采用硅鉬棒做加熱元件,依據(jù)硅鉬棒的物理特性,常溫下脆性很大,因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動(dòng)爐體,4.冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不宜過快,各種溫度段的升溫速率差別不宜太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛,5.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接是否緊固。6.硅鉬棒作為加熱元件時(shí)不宜在400-700度溫度段長時(shí)間運(yùn)行,否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。7.硅鉬棒做加熱元件時(shí),長時(shí)間運(yùn)行,阻值會(huì)逐漸增大,廣東CVD管式爐參考價(jià),這種現(xiàn)象叫“老化”。 爐子要避免熱處刪產(chǎn)品,廣東CVD管式爐參考價(jià),廣東CVD管式爐參考價(jià),尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與電加熱元件接觸。廣東CVD管式爐參考價(jià)
多溫區(qū)管式爐注意事項(xiàng):1.多溫區(qū)管式爐操作注意事項(xiàng)爐子初次使用或長時(shí)間不用后,要在120度左右烘爐1小時(shí),在300度左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。2.禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保護(hù)顱內(nèi)清潔。3.爐體若采用硅鉬棒做加熱元件,依據(jù)硅鉬棒的物理特性,常溫下脆性很大,因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動(dòng)爐體,4.冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不宜過快,各種溫度段的升溫速率差別不宜太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛,5.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接是否緊固。6.硅鉬棒作為加熱元件時(shí)不宜在400-700度溫度段長時(shí)間運(yùn)行,否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。7.硅鉬棒做加熱元件時(shí),長時(shí)間運(yùn)行,阻值會(huì)逐漸增大,這種現(xiàn)象叫“老化”。 東莞立式爐研究所**箱式氣氛爐電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu),整個(gè)電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè),結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小。
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對(duì)化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。
CVD管式爐1.按溫度高低的來分可分為:RGF1800型,RGF1700型,RGF1600型,RGF1500型,RGF1400型,RGF1300型,RGF1200型,RGF1100型,RGF1000型,RGF900型,RGF800型等。2.按爐型大小來分可分為:RGF大型管式氣氛爐,RGF中型管式氣氛爐,RGF小型管式氣氛爐,RGF微型管式氣氛爐等。3.按控溫精度來分可分為:RGF精細(xì)智能一體式管式氣氛爐,RGF精細(xì)式管式氣氛爐,RGF標(biāo)準(zhǔn)式管式氣氛爐等。4.按管式氣氛爐材質(zhì)分為:RGF氧化鋁管式氣氛爐,RGF剛玉管式氣氛爐,RGF石英管式氣氛爐,RGF氮化硅管式氣氛爐,RGF氮化硼管式氣氛爐等。 爐子經(jīng)過一定時(shí)間后,改變可燃?xì)怏w的成分,使得至少大部分烴類氣體被一種富氫氣體所代替。
立式爐保養(yǎng)編輯在鍋爐長期停用時(shí),應(yīng)十分注意爐體外部的防腐保養(yǎng)問題。首先在鍋爐停爐冷卻后,必須徹底清理受熱面的積灰和爐排上部、爐體下部的灰渣。然后要保持煙道有一定的自然通風(fēng)。一般情況下,為了防潮應(yīng)在爐膛、煙道中放置干燥劑。如以生石灰作為干燥劑,則每立方米爐膛或煙道內(nèi)一般應(yīng)放置3kg左右。放置后應(yīng)嚴(yán)密關(guān)閉所有的通風(fēng)門。生石灰變粉后要更換。如鍋爐房位置低洼,停爐期間地面泛潮嚴(yán)重時(shí),則應(yīng)采用經(jīng)常小火烘烤和放置干燥劑相結(jié)合的辦法。如果鍋爐停爐時(shí)間很長,在徹底清理煙灰后在爐體金屬外表面涂以紅丹油或其它防腐漆。至于爐體內(nèi)部停爐的防腐保養(yǎng)方法,則要按停爐時(shí)間的長短來定。一般情況下,停爐不超過一個(gè)月的可用濕法保養(yǎng),一個(gè)月以上的應(yīng)采取干法保養(yǎng)。 箱式氣氛爐應(yīng)用于適合各類大專院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)化驗(yàn)室,供化學(xué)分析、物理測定。廣東CVD管式爐參考價(jià)
PECVD管式爐進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。廣東CVD管式爐參考價(jià)
立式管式爐的詳細(xì)使用方法以及在使用的時(shí)候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應(yīng)的電氣設(shè)備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機(jī)的儀表說明書。用戶開關(guān)板是給電爐送電的,這個(gè)之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設(shè)定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達(dá)到6千瓦。2、程序設(shè)定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時(shí)候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時(shí)候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時(shí)候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會(huì)損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時(shí)間不用時(shí),要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。 廣東CVD管式爐參考價(jià)
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3141891.html
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