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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:深圳多溫區(qū)管式爐用途,爐
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PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜,深圳多溫區(qū)管式爐用途,深圳多溫區(qū)管式爐用途。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的,深圳多溫區(qū)管式爐用途。 箱式爐為保證爐溫,不能隨便打開箱式爐爐門,檢查爐內(nèi)情況應(yīng)從爐門孔中觀察。深圳多溫區(qū)管式爐用途
立式管式爐的詳細(xì)使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應(yīng)的電氣設(shè)備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機(jī)的儀表說明書。用戶開關(guān)板是給電爐送電的,這個之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設(shè)定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達(dá)到6千瓦。2、程序設(shè)定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。 東莞立式爐研究所**真空管式爐使用后,速度調(diào)節(jié)旋鈕應(yīng)旋轉(zhuǎn)回“0”,然后停止。
PECVD管式爐的使用注意事項(xiàng):爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議選購減壓閥,使用時會更加安全。當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。石英管的長時間使用溫度<1100℃。對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生。
PECVD管式爐的主要特點(diǎn):1.氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū),沉積速度更快,成膜效果更好;2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控,協(xié)調(diào)控制——科探AIO控制系統(tǒng);3.管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時監(jiān)測,自動平衡管內(nèi)壓力。4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷,省時省力;5.射頻功率和開關(guān)定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間,自動運(yùn)行;6.爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離;7.整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便,避免分散組裝的困擾。箱式爐采用多晶陶瓷纖維精制爐膛,爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層,有效提高加熱效率。
多溫區(qū)管式爐的保養(yǎng):一、爐子使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。二、爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì),各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快(≤5℃),嚴(yán)禁在爐管100℃以上取送物料。有利于爐管的熱應(yīng)力的均勻釋放,以延長爐管的使用壽命。爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是石英管的一個固有缺陷,屬正常現(xiàn)象。三、管式爐在氣氛條件下使用,氣體在高溫下會膨脹,導(dǎo)致管內(nèi)壓力變大,使用者應(yīng)及時開啟針閥,排出氣體。 CVD管式爐要定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好。深圳CVD管式爐廠家**
箱式氣氛爐應(yīng)用于適合各類大專院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)化驗(yàn)室,供化學(xué)分析、物理測定。深圳多溫區(qū)管式爐用途
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司真空箱式爐操作特別提示:(1)配上真空泵,抽取爐內(nèi)的空氣,較大不超過四格指針刻度,當(dāng)真空表指針下降接近四格時停頓抽氣,充入隋性氣體,使指針歸0位或稍大于0位,再抽氣,充氣,往復(fù)3-5次,確保爐腔內(nèi)的保護(hù)氣體有一定的濃度;(2)如無真空泵需氣氛保護(hù)時,接上進(jìn)氣管,充入惰性氣體,稍稍放開前面的出氣閥,當(dāng)充入氣體大于爐膛容積約1.5倍時關(guān)閉出氣口閥門,觀測壓力表大于“0”小于一格;(3)在完成以上內(nèi)容后再在操作面板上設(shè)置好需要溫度程序(升溫速度較高不得超過10℃/min)(4)實(shí)驗(yàn)結(jié)束提取試樣前需確保爐內(nèi)溫爐降在安全范圍內(nèi),打開氣閥后方可打開爐門。深圳多溫區(qū)管式爐用途
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3141892.html
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