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產品關鍵詞:東莞PECVD管式爐廠家,爐
***更新:2021-02-03 13:23:50
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詳細說明
箱式爐采用多晶陶瓷纖維精制爐膛,爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層,有效提高加熱效率,延長使用壽命;以含鉬電阻絲為加熱元件,.高溫度可達1200℃;雙層殼體結構,先進的真空隔熱技術,箱式爐爐膛,較大降低箱體表面溫度;K型熱電偶配以PID智能30段溫控系統(tǒng),箱式爐,并配有過溫、斷偶、過流保護等功能該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。主要供合金鋼制品、各種金屬機件正火,東莞PECVD管式爐廠家、淬火、退火等熱處理之用,或金剛石等切割刀片進行高溫燒結用途。普遍用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發(fā),東莞PECVD管式爐廠家,東莞PECVD管式爐廠家、特種材料、建材等領域的生產及實驗。 蒸汽鍋爐的水位表是直觀表現鍋爐內水位位置的裝置,高于或低于水位表正常水位都是嚴重的操作錯誤。東莞PECVD管式爐廠家
真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,真空電阻爐普遍應用于金屬材料在低真空、還原性、保護性氣氛下的熱處理;也可以用于特殊材料的熱處理。二、設備特點1、設計理念本系列陶瓷纖維爐襯熱處理爐引進國外先進技術、秉承歐洲工業(yè)爐高性能、自動化程度高、操作界面簡單易學的特點;2、自動化控制1.控溫方式:控溫熱電偶和智能數顯溫控儀表、可控硅模塊和移相觸發(fā)系統(tǒng)、電加熱元件組成閉環(huán)控制系統(tǒng),自動控制爐內各區(qū)的溫度,并保持全爐膛內溫度均勻一致;2.負載恒流、恒壓、恒功控制技術,根據不同負載特性,有效的保護斷電引起損壞負載問題;3.可設置多條時間曲線,曲線總段數多達20段;4.具有“給定值+時間值”和“升溫段+恒溫段”兩種程序設置模式可選;5.所有參數可按鍵設定,數據自動保存不丟失;3、一體化結構電控系統(tǒng)與爐體一體化結構、操作簡單,減少占位。 茂名真空管式爐生產廠家PECVD管式爐進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
立式管式爐的詳細使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應的電氣設備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機的儀表說明書。用戶開關板是給電爐送電的,這個之后程序表就有了電,然后根據溫度儀表說明書來設定儀表,根據工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達到6千瓦。2、程序設定的溫度不能高于電爐的參數溫度;立式管式爐在工作的時候,不能打開爐門,在取出產品的時候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內的清潔。冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質,以免出現噴料現象,污染爐膛。
PECVD工作原理是什么?PECVD技術是在低氣壓下,利用低bai溫等離子體在工藝腔體的陰極du上(即zhi樣品放置的托盤)產生輝光放電,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經一系列化學反應和等離子體反應,較終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。在反應過程中,反應氣體從進氣口進入爐腔,逐漸擴散至樣品表面,在射頻源激發(fā)的電場作用下,反應氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發(fā)生化學反應,生成形成膜的初始成分和副反應物,這些生成物以化學鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。 爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。
箱式爐的安全操作:1、清理爐內鐵屑,清掃爐底板,以免鐵屑落于電阻絲上造成短路損壞。2、入箱式爐的工件應不超過爐底板.大載荷量,裝卸工件時應確保電源斷開的情況下進行。3、汪意檢查熱電偶安裝位置。熱電偶插入爐內后,應保證不與工件相碰。4、根據工件的圖紙要求,試驗箱式爐,確定合理的工藝范圍。按時升溫,保證出爐操作,經常檢查儀表溫度并進行校準,防止誤操作。5、為保證爐溫,不能隨便打開箱式爐爐門,檢查爐內情況應從爐門孔中觀察。6、冷卻劑應放置于就近方便的位置,減少工件出爐后降溫。7、出爐時應工位正確,夾持穩(wěn)固,防止熾熱工件傷害人體。8、箱式爐檢修后,必須按規(guī)定進行烘烤,并檢查爐堂及頂部保溫粉是否填滿,接地是否與爐殼緊固。 真空箱式爐可設置多條時間曲線,曲線總段數多達20段。東莞PECVD管式爐廠家
箱式氣氛爐設有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。東莞PECVD管式爐廠家
PECVD管式爐的主要特點:1.氣體預熱——增加前端氣體預熱區(qū),沉積速度更快,成膜效果更好;2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調節(jié)和操控,協(xié)調控制——科探AIO控制系統(tǒng);3.管內壓力自動平衡——管內壓力實時監(jiān)測,自動平衡管內壓力。4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷,省時省力;5.射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間,自動運行;6.爐膛移動速度可調——根據實驗要求,用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離;7.整機結構融為一體——移動方便,避免分散組裝的困擾。東莞PECVD管式爐廠家
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3144587.html
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